溅射镀膜机/真空镀膜系统

产品分类

Torontech 提供种类齐全的台式溅射镀膜机和真空镀膜系统。这些系统涵盖了从低真空到高真空的溅射镀膜机,例如常用于电子显微镜成像样品制备的 DSR1 和 DST1,以及高真空溅射镀膜机和热蒸发系统,例如 DST2-TG 或 DST3-T。这些系统配备多种可选功能,包括主要用于科研薄膜沉积的等离子清洗机。

我们的工程团队设计和制造的溅射镀膜机和真空镀膜系统组件均符合高标准质量要求。众多知名大学和研究中心都是我们尊贵的客户,他们都对我们先进的溅射镀膜机和真空镀膜系统系列产品表示满意。

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可用产品

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旋涂机

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旋涂仪薄膜涂层解决方案旋涂仪是材料科学、半导体研究等领域应用最广泛的仪器之一……
磁控溅射系统ToronSP-400

磁控溅射系统

ToronSP-400磁控溅射系统是一种箱式物理气相沉积(PVD)系统,采用棱柱形或圆柱形真空腔设计。
台式溅射镀膜机-DSR1

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桌面溅射镀膜机DSR1是一款紧凑型镀膜系统,能够镀覆金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)等贵金属薄膜。
PLD脉冲激光沉积系统

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可调节脉冲激光沉积系统和热蒸发系统——PLD-T 是一款先进的高真空薄膜沉积系统,它……
台式溅射和碳涂层机

台式溅射碳涂层机 – DSCR-300

大型腔室台式溅射仪和台式溅射碳涂层仪(DSCR-300)配备3英寸或4英寸水冷磁控管阴极,用作……
高真空双磁控管靶溅射镀膜机/热蒸发器-DST2-TG

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高真空双磁控管靶溅射镀膜机/热蒸发器-DST2-TG,或双靶涡轮泵溅射镀膜机和热蒸发器……
PECVD管式炉

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PECVD管式炉 - ToronTF™ PECVD等离子体增强化学气相沉积(PECVD)管式炉系统ToronTF™ PECVD是一种PECVD管式炉……
反应离子刻蚀(RIE)系统

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反应离子刻蚀 (RIE) 系统 - ToronRIE™ 300 反应离子刻蚀 (RIE) 系统是一种用于半导体的平行板等离子干法刻蚀平台……
涡轮泵碳涂层机和热蒸发器 – DCT-T-300

涡轮泵碳涂层机和热蒸发器 – DCT-T-300

DCT-T-300 型涡轮泵碳涂层机和热蒸发机配备大容量腔室,非常适合制备用于场发射扫描电镜 (FE-SEM) 的样品……
先进反应离子刻蚀(RIE)系统

先进反应离子刻蚀(RIE)系统

先进反应离子刻蚀 (RIE) 系统 - ToronRIE™ 400 ToronRIE™ 400 是一款先进的反应离子刻蚀系统,支持 3 英寸和 4 英寸晶圆……
桌面碳涂层机 - DCR

桌面碳涂层机 - DCR

桌面碳纤维涂层机 (DCR) 是一款紧凑型碳纤维涂层系统,专为扫描电子显微镜 (SEM) 样品制备而设计……
大型台式涡轮泵碳涂层机 – DCT-300

大型台式涡轮泵碳涂层机 – DCT-300

大型台式涡轮泵碳涂层机 – DCT-300 系统拥有宽敞的腔室,非常适合制备用于 FE-SEM、EDS/WDS、TEM、EBSD 等分析的样品。
混合式PVD沉积系统

混合式PVD沉积系统

混合式PVD沉积系统 - ToronPVD™ DS热蒸发与磁控溅射组合系统ToronPVD™ DS是一种混合式PVD沉积系统……
热蒸发系统

热蒸发系统

热蒸发系统 - ToronTES™ 1000 ToronTES™ 1000 是一款全自动热蒸发系统,采用 2×2 通道共蒸发设计……
高真空单磁控管靶台式溅射镀膜机

高真空单磁控管靶台式溅射镀膜机 DST1-170

DST1-170 高真空单磁控管靶台式溅射镀膜机配置为台式溅射镀膜机,专为扫描应用而设计……
配备 Load-Lock 装置的涂层系统 ToronTS-450

配备装载锁定装置的涂层系统

配备 Load-Lock 装载室的 ToronTS-450 涂层系统可提供更快的处理速度和更优异的涂层质量。样品装载和…
真空退火炉

真空退火炉

真空退火炉 - ToronVF™ 退火炉 ToronVF™ 退火炉是一款高真空退火炉,适用于热退火、烘烤、淬火和加热等工艺。
单磁控管靶台式溅射镀膜机

高真空单磁控管靶台式溅射镀膜机 DST1-300

DST1-300型高真空单磁控管靶台式溅射镀膜机是一款多功能镀膜系统,能够对半导体进行镀膜……
涡轮泵桌面碳涂层

涡轮泵桌面碳涂层机-DCT

涡轮泵式桌面碳涂层机(DCT)是一款专为多种应用而设计的涡轮泵式碳涂层机,包括场发射扫描电镜(FE-SEM)、能谱/波谱分析(EDS/WDS)、透射电镜(TEM)、电子背散射衍射(EBSD)等。
钟罩式热蒸发系统

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ToronEva™ 钟罩式热蒸发系统 - ToronEva™ 钟罩式热蒸发系统是一款全自动的薄膜热蒸发系统……
台式溅射和碳涂层机

台式溅射碳涂层机 - DSCR

桌面溅射碳涂层机 (DSCR) 是一款紧凑型涂层系统,集溅射和碳涂层功能于一体。这款多功能设备……
钟罩式热蒸发和溅射系统

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ToronEva™ BJT 是一款全自动的钟罩式热蒸发和溅射系统……
电子束蒸发系统

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电子束蒸发系统 - ToronEva™ EB ToronEva™ EB 是一种用于金属薄膜沉积的高真空电子束蒸发系统,……
高真空台式溅射和碳涂层机

高真空台式溅射及碳镀膜机 - DSCT

高真空台式溅射碳镀膜仪(DSCT)是一款集溅射镀膜和碳纤维镀膜于一体的多功能仪器……
手套箱集成式PVD系统

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ToronPVD™ GV 是一款集成于手套箱内的 PVD ​​系统,适用于有机和无机薄膜沉积,并经过改进……
高真空溅射镀膜机和碳/热蒸发器

高真空溅射镀膜机和碳/热蒸发器 – DSCT-T

高真空溅射镀膜仪和碳/热蒸发仪——DSCT-T 是一款专为扫描电子显微镜 (SEM) 设计的多功能仪器……
HiPIMS系统

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HiPIMS系统 - ToronHiPIMS™ 1000高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)系统HiPIMS系统是一款全自动高功率脉冲磁控溅射系统……
高真空热蒸发器

高真空热蒸发器-DTE

高真空热蒸发器(DTE),或称台式热蒸发器,是一种结构紧凑、经济高效的系统,设计用于沉积薄层材料……
装载锁定磁控溅射系统

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ToronSputter™ SD 磁控溅射系统 - 装载锁定式磁控溅射系统 – 溅射下降 ToronSputter™ SD 是一款装载锁定式磁控溅射系统……
桌面热蒸发器

桌面式热蒸发器-DTT

Desk Thermal Evaporator-DTT 是一款紧凑型桌面式热蒸发器,专为真空沉积薄膜而设计。该系统提供三重…
装载锁定溅射上沉积系统

装载锁定溅射上沉积系统

装载锁定式溅射沉积系统 - ToronSputter™ SU装载锁定式磁控溅射系统 – 溅射式装载锁定式溅射沉积系统…
三磁控管靶台式溅射镀膜机

高真空三磁控管靶台式溅射镀膜机-DST3-A/S

高真空三靶磁控溅射镀膜机DST3-A/S是一款多功能多靶真空镀膜系统,具有涡轮分子溅射功能……
磁控溅射系统 - ToronSputter™ Mag

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磁控溅射系统 - ToronSputter™ Mag ToronSputter™ Mag 是一款全自动磁控溅射系统,适用于薄膜的研发和生产……
三磁控管靶台式溅射镀膜机

高真空三磁控管靶台式溅射镀膜机,带热蒸发器-DST3-TA/S

高真空三靶磁控管台式溅射镀膜机(带热蒸发器)-DST3-TA/S,三靶涡轮泵溅射镀膜机,是一款……
射频/直流磁控溅射系统

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射频/直流磁控溅射系统 - ToronSputter™ RFDC ToronSputter™ RFDC 是一款用于多靶薄膜的射频/直流磁控溅射系统……