高真空双磁控管靶溅射镀膜机/热蒸发仪-DST2-TG（或称双靶涡轮泵溅射镀膜机和热蒸发仪）是一款尖端镀膜系统，它将热蒸发镀膜和溅射镀膜无缝集成于一台紧凑的桌面设备中。这项多功能技术可通过便捷的Wi-Fi连接实现远程系统控制，用户可通过友好的触摸屏或电脑轻松管理操作。
DST2-TG是一款先进的磁控溅射镀膜机，配备宽敞的腔室（直径300毫米）和两个直径2英寸的水冷阴极，非常适合长时间沉积。这款多功能系统可作为溅射、碳纤维沉积和金属蒸发的一体化平台。
这款专为手套箱环境设计的台式溅射镀膜机，可高效溅射半导体、介电材料和金属靶材。用户可以灵活地交替或同时安装溅射阴极和热蒸发舟，从而获得总共三种沉积源。
此外，利用碳纤维可以实现碳沉积，从而扩大了可用沉积材料的范围。
这款高精度真空镀膜系统采用半自动/全自动设计，配备7英寸彩色触摸屏，操作简便，用于控制和调节镀膜过程数据。直观的软件界面简化了操作。用户还可以通过Wi-Fi连接，在电脑上访问控制面板。
该系统能够监测真空度和涂覆顺序信息，并将这些信息以数字数据或曲线的形式显示在触摸屏上。此外，系统还会保存最近300次涂覆记录，并可在历史记录页面中查看。
产品：DST2-TG 触摸屏真空镀膜机 该溅射镀膜机和热蒸发机适用于手套箱应用，并可通过选配功能进行增强，包括：
- 射频电源配备自动调节匹配盒，可最大限度地减少射频溅射过程中的反射功率。
- 等离子清洗机用于在薄膜沉积前有效去除基材表面的有机物。
- 专为手套箱安装而设计的溅射镀膜机和热蒸发机的融合体
- 配备内置涡轮分子泵，可实现高效真空性能
- 宽敞的房间，直径30厘米，高度20-25厘米。
- 靶子安装简便快捷；无需靶架
- 带背板的目标物可增强热传导。
- 设计用于旋转的样品架，有助于实现均匀涂覆
- 手套箱上安装有 KF40 馈通，用于电源（直流、射频、大电流）、真空泵软管、水冷装置、氩气/反应气体连接和电气连接。
- 通过质量流量控制器（MFC）实现精确的气体注入控制
- 内置两个高精度石英晶体厚度传感器，用于精确监测薄膜厚度。
- Vac Coat 产品在全球范围内均享有全面的公众责任险和产品责任险，可确保因使用 Vac Coat 系统而造成的财产损失或人身伤害。
自动化特点：
- 半全自动涂层工艺（可选）： 该系统提供自动化或半自动化涂装工艺的灵活性，使用户能够根据自身需求选择自动化程度。
- 高效的数据录入和存储： 快速录入沉积工艺参数数据，提高工作流程效率。安全存储沉积工艺数据，便于检索和参考。
- 远程过程控制： 沉积过程可以通过 Wi-Fi 连接在 PC 上进行远程控制和监控，既方便又灵活。
- 涂层配方储存： 能够存储涂层配方，从而可以复制特定的沉积工艺，获得一致且可重复的结果。
- 电子快门： 采用电子快门来精确控制涂层过程，并管理沉积过程中基材的暴露情况。
- 自动阴极选择： 根据材料要求，自动选择阴极，简化流程，确保最佳沉积条件。
可选设施：
- 射频溅射沉积非导电靶材（可选）： 集成射频溅射功能，以促进非导电靶材的沉积，从而扩大可涂覆材料的范围。
- 等离子清洗机（可选）： 可选择加入等离子清洗机，以便在薄膜沉积之前有效去除基材表面的有机物，确保基材清洁，从而获得优异的涂层质量。
该系统专为高真空环境设计，可沉积多种材料，是各种涂层应用的理想之选。双磁控靶台式溅射镀膜机可灵活地在蒸发和溅射沉积之间无缝切换，从而便于制备复杂的多层涂层。
DST2-TG 是一款一体化解决方案，可在手套箱环境中彻底改变涂层工艺，为您带来效率和精度的极致体验。
手套箱系统为精密材料创造了一个安全的环境，防止其暴露于空气、水分和不必要的相互作用中。DST2-TG 高真空镀膜系统与手套箱集成，确保在惰性气体氛围下，于沉积过程前后对基材进行安全洁净的处理。该装置提供了一个精确控制的腔室环境，能够在高真空条件下精确沉积超纯薄层。
