旋涂机
薄膜涂层解决方案
旋涂仪是材料科学、半导体研究、光伏和薄膜技术领域应用最广泛的仪器之一。旋涂工艺通过离心扩散在平面基底上沉积高度均匀、可重复的薄膜，使其成为实验室、大学和工业设施中不可或缺的工具，尤其适用于需要可控、可重复薄膜沉积的场合。
ToronSC™系列旋涂机包含五款通过CE认证的旋涂机，旨在涵盖旋涂应用的各个方面——从面向学生实验室的入门级电动旋涂机，到用于先进半导体和光伏研究的可编程高速旋涂机，再到用于8英寸晶圆涂覆的大型真空吸盘旋涂机。每台ToronSC™旋涂机都经过精心设计，确保在研究和质量控制环境中实现高精度、高重复性和实用性。
无论您需要用于聚合物薄膜沉积的基本旋涂机、用于腐蚀性化学前体的防腐蚀旋涂机，还是用于复杂多层涂覆序列的可编程多配方仪器，ToronSC™ 系列都有一款型号可满足您的应用、基材尺寸和工艺要求。
准备好配置您的旋涂解决方案了吗？
ToronSC™系列旋涂机为科研实验室、大学院系和工业研发机构提供了一套完整的、通过CE认证的旋涂设备，适用于各种薄膜涂覆应用。请联系Torontech，讨论基材要求、工艺化学、可选配件以及最适合您工作流程的ToronSC™旋涂机的价格。
应用
ToronSC™旋涂机系列产品广泛应用于各种研究和工业领域的薄膜沉积应用：
半导体与光刻
- 用于学术界和工业界光刻研究和工艺开发的硅片光刻胶旋涂
- 采用溶胶-凝胶旋涂法沉积介电层和钝化膜用于半导体器件制造研究
- 在光学和光子器件基板上应用抗反射和保护层
光伏与能源研究
- 用于下一代太阳能电池研究和效率优化的钙钛矿吸收层旋涂
- 利用溶胶-凝胶或纳米颗粒溶液沉积电子和空穴传输层，用于光伏器件堆叠
- 电池电极功能涂层——将活性材料浆料和保护涂层旋涂到集流体基材上
材料科学与化学研究
- 利用溶胶-凝胶前驱体沉积金属氧化物薄膜，用于催化、传感和光电子应用
- 用于印刷电子封装、介电层和电活性层研究的聚合物薄膜涂层
- 用于功能性表面改性和纳米结构薄膜制备的纳米颗粒悬浮液旋涂法
特种及可控气氛涂层
- 使用 PP 腔室 ToronSC™ 2000C 和 ToronSC™ 1000P 型号，采用强酸和强碱溶液进行防腐蚀旋涂。
- 在氩气气氛下，于惰性气氛手套箱中进行旋涂，用于沉积对空气敏感的有机材料、钙钛矿材料和电池材料薄膜。
- 使用 ToronSC™ 350P 进行大尺寸基板涂层（最大可达 8 英寸晶圆或 5 英寸×5 英寸面板），适用于先进器件研究
为什么选择 ToronSC™ 系列薄膜涂层？
选择旋涂机是一项影响薄膜质量、工艺可重复性、操作安全性和实验室长期生产力的重要决策。ToronSC™系列旋涂机旨在满足各种应用需求和预算水平，并兼顾所有这些因素。
1. 适用于各种应用和基材尺寸的旋涂机
大多数旋涂机供应商仅提供一两种型号，研究人员只能自行调整工艺以适应仪器的局限性。ToronSC™ 系列涵盖五款专用旋涂机——从 4 英寸无真空电动旋涂机到可编程 8 英寸大尺寸真空吸盘旋涂机——因此您可以根据基材、工艺化学和编程要求选择合适的仪器，而无需做出任何妥协。
2. 针对腐蚀性化学物质的防腐蚀设计
标准的旋涂机使用铝制腔室，在接触强酸、强碱和活性溶胶-凝胶前驱体时会迅速腐蚀。ToronSC™ 2000C 和 ToronSC™ 1000P 采用全聚丙烯腔室，对腐蚀性涂层溶液（包括钙钛矿、金属氧化物和电解质薄膜研究中使用的强酸和强碱前驱体）具有化学惰性。
3. 手套箱和惰性气体环境的兼容性
ToronSC™ 系列的多款型号专为在氩气或氮气气氛的手套箱内使用而设计，可在不使基材或溶液暴露于环境湿度或氧气的情况下，对空气敏感和湿度敏感的材料进行旋涂。ToronSC™ 1000P 的顶盖上还设有内置气体入口，无需使用完整的手套箱即可控制气氛。
4. 可编程多步旋涂工艺配方
ToronSC™ 1000P 拥有该系列中最先进的编程功能：可存储 12 个程序，每个程序最多可包含 6 个独立的转速/时间段。这种级别的配方存储和多步骤控制对于可重复的多层旋涂、光刻胶轮廓优化以及复杂的溶胶-凝胶工艺流程至关重要，这些流程需要比简单的两步点胶-涂布工艺更复杂的步骤。
5. 真空吸盘固定法实现薄膜均匀性
五款 ToronSC™ 型号中有四款采用真空吸盘式基板固定方式——在整个旋涂过程中将基板牢牢固定在吸盘中心。真空固定可消除基板移动，减少离心力引起的基板翘曲，并确保基板在旋涂过程中保持水平，所有这些都直接提高了基板上薄膜厚度的均匀性。
6. 全系列产品均获得CE认证
每台 ToronSC™ 旋涂机均通过 CE 认证，符合欧洲的安全、电磁兼容性和环境保护要求。CE 认证支持其在北美、欧洲及其他国际受监管的实验室和工业环境中使用，并确保产品质量和设计符合标准。
7. 完整的即用型包装
每台 ToronSC™ 旋涂机均以完整套装形式发货：包含无油真空泵、合适的真空吸盘、20 mL 注射器、废水过滤器以及所有连接件——无需额外采购配件即可立即投入使用。可选配件包括加热罩、其他尺寸的吸盘和定心工具，可根据您的应用需求扩展仪器的功能。
产品比较
下表对五款 ToronSC™ 旋涂机进行了并排比较。请使用“最佳用途”列，根据您的应用选择合适的旋涂机。
| 型号 | 产品名称 | 最大底物 | 速度范围 | 课程 | 房间 | 最适合 | CE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ToronSC™ 100 | 电动旋涂机 | 4“（100毫米） | 500–8,000 转/分 | 可调整 | 铝/PP圆盘 | 入门级；无真空；手套箱氩气用途 | ✓ |
| ToronSC™ 350 | 真空旋涂机 | 4“（100毫米） | 500–8,000 转/分 | 2段 | 铝铸/PP盘 | 标准实验室真空旋涂；溶胶-凝胶法和光刻胶 | ✔ |
| ToronSC™ 350P | 可编程真空旋涂机 | 8英寸（200毫米）/ 5英寸×5英寸 | 500–6,000 转/分 | 2段 | 聚丙烯（PP） | 大尺寸晶圆和面板涂层；溶胶-凝胶法；可选加热 | ✔ |
| ToronSC™ 1000P | 可编程高速旋涂机 | 5“（127毫米） | 500–10,000 转/分 | 12 个节目 × 6 个片段 | 聚丙烯（PP） | 复杂的多步骤配方；半导体和光伏研究 | ✔ |
| ToronSC™ 2000C | 防腐蚀旋涂机 | 6“（152毫米） | 500–8,000 转/分 | 2段 | 聚丙烯（PP） | 腐蚀性酸/碱涂层；手套箱氩气用途 | ✔ |
选择合适的 ToronSC™ 旋涂机
请使用以下快速选型指南，为您的应用选择合适的旋涂机：
ToronSC™ 100 — 入门级电动旋涂机
- 如果您需要一台简单、经济实惠且无需真空基础设施的旋涂机，请选择此型号。
- 适用于：学生实验室、初次使用旋涂技术的用户以及在惰性气氛涂层中使用手套箱。
ToronSC™ 350 — 真空旋涂机
- 选择此型号，即可在 4 英寸及更小的基材上进行标准溶胶-凝胶和光刻胶旋涂，并具备真空吸盘精度。
- 适用于：通用研究实验室、大学研究团队和常规薄膜沉积工作流程
ToronSC™ 350P — 可编程真空旋涂机
- 选择此型号，即可在 8 英寸晶圆或 5 英寸×5 英寸面板上进行大尺寸旋涂，并可使用溶胶-凝胶和功能性涂层解决方案。
- 适用于：大规模薄膜研究、中试生产评估以及大尺寸基材涂覆（可选配原位加热功能）
ToronSC™ 1000P — 可编程高速旋涂机
- 如果您的工艺需要多步骤编程、高达 10,000 rpm 的转速或腐蚀性涂层化学，请选择此型号。
- 适用于：先进半导体研究、光伏吸收层以及复杂配方的多层旋涂工艺
ToronSC™ 2000C — 防腐旋涂机
- 当涂料溶液呈强酸性、强碱性或需要在氩气气氛手套箱中使用时，请选择此型号。
- 适用于：钙钛矿研究、金属氧化物溶胶-凝胶法、电池电极涂层以及其他腐蚀性化学应用
