台式溅射碳涂层机 - DSCR

桌面溅射碳涂层仪(DSCR)是一款紧凑型涂层系统,集溅射和碳涂层功能于一体。这款多功能系统可将金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)以及金/钯(Au/Pd)等贵金属溅射到非导电或导电性较差的样品上,也可在样品上沉积碳膜。   

DSCR型台式溅射镀膜仪专为扫描电子显微镜(SEM)样品制备而设计。它配备旋转泵,可实现低于50 mTorr的真空度。该真空范围非常适合贵金属溅射镀膜和碳纤维蒸发镀膜。

对于涉及氧化金属的溅射沉积、场发射扫描电子显微镜 (FE-SEM)、带能量色散 X 射线光谱的扫描电子显微镜 (SEM EDX) 以及与透射电子显微镜 (TEM) 相关的应用,我们建议考虑其他型号,例如 DST1、DSCT 和 DCT,这些型号更适合这些特定用途。

 桌面溅射镀膜机

  • 操作简便
  • 直观的触摸屏可实现对涂层过程的无缝控制和快速数据输入。
  • 用户友好型软件,可实现全自动和半自动控制。
  • 轻松装卸样品
  • 为了保证可重复性,需要保持薄膜厚度沉积的一致性。
  • 精确且可重复的涂层
  • 能够实现高分辨率精细镀膜(金颗粒的分辨率约为 2nm)
  • 低压溅射
  • 掠入射角沉积(GLAD)溅射
  • 等离子清洗
  • 无需冷却系统
  • 闪光和脉冲模式下均可提供碳涂层
  • 双碳纤维用于更厚的涂层沉积
  • 享有两年质保,让您安心无忧
  • CE认证确保符合安全标准
  • 提供全球范围的公众责任险和产品责任险,为因真空涂层系统造成的财产损失或人身伤害提供保障。

脉冲碳纤维蒸发

这款台式真空溅射碳镀膜机的小型腔室能够进行脉冲式碳纤维蒸发。该方法采用短脉冲实现更精确、更可控的沉积,有效减少了传统碳沉积工艺中常见的碎屑产生。

碳涂层头

DSCR 配备一个可互换的碳涂层头。其独特的装载两根直径均为 0.8 毫米的碳纤维的能力,使其能够在必要时或根据特定应用的需求沉积更厚的碳膜。 

桌面溅射镀膜机

带彩色显示屏的触摸屏控制

DSCR,也称为桌面式扫描电镜镀膜机,配备7英寸彩色触摸屏,提供全自动控制和数据输入功能。该用户界面友好,即使是经验有限的用户也能轻松操作。用户可以便捷地监控真空度、电流读数和沉积信息,这些信息可以直接在触摸屏上以数字数据或图形曲线的形式显示。此外,该系统还能存储最近300次镀膜的相关信息,方便用户通过历史记录页面轻松查阅。

 桌面溅射镀膜机

样品阶段

DSCR 提供多种样品台配置,以满足不同用户的需求。这些样品台可旋转,高度可调,并且可以轻松互换。值得注意的是,旋转行星式样品台是实现均匀涂层的理想选择,尤其适用于处理多孔样品。

桌面溅射镀膜机

桌面溅射镀膜机

桌面溅射镀膜机

桌面溅射镀膜机

台式溅射碳涂层仪配备旋转泵,可通过可互换的喷头配置直流溅射和碳纤维涂层(丝状),所有功能均集成于一台仪器中。DSCR 是一款用途广泛的设备,专为制备扫描电子显微镜 (SEM) 样品而设计。

为了能够使用扫描电子显微镜观察非导电或导电性差的样品,需要在进行扫描电镜观察之前的样品制备阶段提高其表面导电性。

溅射沉积和碳蒸发都是电子显微镜样品制备的标准方法。全自动化选项使系统易于使用,即使是经验不足的操作人员也能轻松上手。用户友好的图形界面软件简化了沉积信息的解读,提高了系统的整体易用性。

  • 两级直驱式旋片泵,泵送能力为4立方米/小时
  • 真空腔体由派热克斯玻璃制成,尺寸为外径 170 毫米 x 内径 140 毫米
  • 整体尺寸:45厘米(高)x 50厘米(宽)x 37厘米(深)
  • 配备2英寸磁控管阴极
  • 极限真空:小于 50 毫托
  • 具有行星旋转能力的样品台
  • 包括热电偶真空计
  • 精度为1纳米的石英晶体厚度监测仪
  • 用于精确控制涂层过程的电动控制快门
  • 自动排气阀,操作便捷
  • 能够保存最近300次涂装的数据
  • 电源要求:220V-240V,50/60Hz,10A
  • 80瓦直流开关电源
  • 通过 USB 端口向电脑传输数据
  • 运输重量:42公斤

可选配件:

  • 碳棒蒸发头
  • 专为碳棒设计的大电流电源
  • 石英晶体传感器
  • 行星样本自转能力
  • 备用玻璃真空室
  • 溅射靶材
  • 用于涂层的碳纤维
  • 密封垫片

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