DST1-170型高真空单磁控管靶台式溅射镀膜机是一款专为扫描电子显微镜（SEM）样品制备而设计的台式溅射镀膜机。DST1-170用途广泛，能够沉积多种材料，包括金（Au）、铂钯合金（Pt/Pd）、银（Ag）、铬（Cr）、钨（W）、铱（Ir）等。
DST1-170 擅长制备晶粒尺寸细小、均匀的高质量薄膜。这些薄膜非常适合需要高分辨率和高质量表征的样品，例如场发射扫描电子显微镜 (FE-SEM)、能量色散X射线光谱/波长色散X射线光谱 (EDS/WDS)、透射电子显微镜 (TEM) 和电子背散射衍射 (EBSD) 应用。DST1-170 配备 2 英寸磁控管阴极和 80 瓦开关直流电源，适用于各种研究和薄膜应用。
- 实现用于扫描电镜（SEM）和场发射扫描电镜（FE-SEM）样品制备的细晶粒结构沉积
- 纳米和微电子应用
- 太阳能电池制造
- 光学元件镀膜
- 薄膜传感器开发
- 容量为 90 L/s 的高真空涡轮分子泵（莱宝）
- 两级旋片式真空泵用作辅助泵
- 全量程真空计（莱宝）
- ISO-KF 63蝶阀
- 额定功率为 80 瓦的直流电源
- 精度为1纳米、分辨率为1埃的石英晶体厚度监测仪
- 直观的触摸屏界面，便于涂层过程控制和快速数据输入。
- 易于使用的软件，具备网络更新功能
- 控制功能可调节涂层速率，以获得更细小的晶粒结构
- 提供手动和自动定时及厚度溅射选项
- GLAD（掠入射角沉积）溅射能力
- 等离子清洗功能
- 能够记录和绘制涂层参数图
- 配备电子快门
- 易于互换的样品台，标配旋转台。
- 提供两年保修
- Vac Coat 产品在全球范围内均享有公共责任险和产品责任险，确保在因 Vac Coat 系统造成财产损失或人身伤害时获得保障。
清洁桌面溅射镀膜机
真空室采用圆柱形派热克斯玻璃制成。DST1-170 配备一台内置的 90 L/s 涡轮分子泵，并由一台 4 m³/h 的两级旋片泵辅助抽气。这种配置确保了洁净的真空环境，避免了传统扩散泵常见的油污污染。
触屏操作
DST1-170 配备 7 英寸彩色触摸屏界面，具有全自动控制和便捷的数据输入功能，即使是经验不足的用户也能轻松上手。用户可通过触摸屏轻松操作系统，真空度、电流和沉积信息可以以数字数据或曲线图的形式显示。此外，系统还能存储最近 300 次涂层的信息，用户可在历史记录页面查看并进行参考。
- 极限真空：小于 7 x 10^-7 Torr
- 精确控制溅射速率以获得更细晶粒结构
- 独立控制溅射功率，不受压力影响
- 氩气电子泄漏阀
- 具备记录和绘制涂层参数图的功能
- 通过USB端口方便地将曲线和沉积过程数据传输到PC。
- 电源要求：220V-240V，50/60Hz，16A
- 运输重量：36公斤
可选配件：
- 石英晶体
- 行星样本旋转
- 备用玻璃室
- 溅射靶材
- 密封垫片
