大型腔室台式溅射仪和台式溅射碳涂层仪 – DSCR-300，配备 3 英寸或 4 英寸水冷磁控管阴极，是一款紧凑型涂层系统，同时具备溅射和碳涂层功能。
该系统非常适合对较大尺寸的样品进行镀膜，使用3英寸磁控管时可处理直径达12厘米的样品，使用4英寸磁控管时可处理直径达15厘米的样品。此外，它还可以处理多个直径相近的较小样品。水冷式磁控管的设计旨在延长溅射时间，使其成为根据各种应用需求沉积厚薄涂层的理想选择。
溅射和碳涂层应用
- 适用于扫描电镜（SEM）和场发射扫描电镜（FE-SEM）样品制备的贵金属细晶粒结构沉积
- 导电层的形成
- 操作简便
- 用户友好型软件，支持全自动和半自动控制
- 直观的触摸屏界面，可轻松控制涂层过程并快速输入数据
- 便于样品装卸
- 确保薄膜厚度沉积的可重复性
- 实现精确且可重复的涂层
- 能够制备高分辨率精细镀膜（金的晶粒尺寸可达 2nm 量级）
- 低压溅射
- 掠入射角沉积（GLAD）溅射
- 等离子清洗
- 薄层无需冷却系统
- 闪光和脉冲模式下均可提供碳涂层
- 采用双碳纤维实现更厚的涂层沉积
- 两年质保，让您安心无忧
- 符合CE标准，确保符合安全标准
- 提供全球范围的公众责任险和产品责任险，为因真空涂层系统造成的财产损失或人身伤害提供保障。
样品阶段
这款大型台式溅射碳镀膜机可灵活配置样品台，最大可容纳 15 厘米的样品，具体取决于用户的需求。这些样品台设计有旋转功能、高度调节功能和便捷的互换性，使用更加方便。
扫描电镜样品制备
在扫描电子显微镜 (SEM) 应用中，通常需要在进行 SEM 显微镜观察之前制备非导电或导电性较差的样品。标准的样品制备方法包括溅射沉积和碳蒸发。我们的系统提供全自动化选项，确保即使是初学者也能轻松操作。此外，我们用户友好的软件提供沉积信息的图形化显示，使其更易于操作且经济高效。
碳涂层头
该设备配有一个可互换的碳涂层头。它独特的装载三根直径为0.8毫米的碳纤维的能力，使得在大尺寸样品上沉积碳层成为可能，尤其适用于能量色散X射线光谱（EDX）应用。
带彩色显示屏的触摸屏控制
DSCR-300 配备 7 英寸彩色触摸屏，提供全自动控制和数据输入功能，即使是经验不足的用户也能轻松上手。用户可通过触摸屏便捷地监控真空度、电流读数和沉积信息，这些信息可以以数字数据或图形曲线的形式显示。此外，该系统还能存储最近 300 次涂层的相关数据，用户可通过历史记录页面轻松访问这些数据以供参考。
DSCR-300 型桌面溅射镀膜机可在各种基材上进行多种沉积，使其适用于微电子和纳米电子等领域的薄膜应用，以及 SEM 样品制备。
它能够将贵金属，包括金（Au）、钯（Pd）、铂（Pt）和金/钯（Au/Pd），溅射到非导电或导电性较差的样品上。此外，DSCR-300系统还能够沉积碳膜。
请注意，溅射氧化性金属时需要安装涡轮分子泵，该泵可添加到 DSCT-300 或 DSCT-170 系统中。DSCR 是一款旋转泵式镀膜机，可配置用于直流溅射和碳纤维（螺纹）镀膜，并配备可互换的喷头，所有功能集成于一台仪器中。
- 腔室尺寸：外径 300 毫米 x 直径 150 毫米的派热克斯玻璃圆柱体腔室
- 尺寸：高 58 厘米 x 宽 50 厘米 x 深 63 厘米
- 磁控管阴极选项：3英寸或4英寸
- 运输重量：42 公斤
- 电源：220V-240V，50/60Hz，10A
- 直流电源输出功率：200瓦
- 极限真空：小于 5×10⁻² Torr
- 数据传输：曲线和溅射过程数据可通过USB端口传输到PC。
- 真空泵：两级直驱式，12立方米/小时，旋片泵
- 真空表：热电偶真空表
- 石英晶体厚度监测仪：精度为 1 纳米
- 自动排气阀
- 数据存储：能够保存最近300次涂层的数据
- 真空泵重量：20公斤
选件和配件
- 石英晶体传感器
- 备用玻璃室
- 溅射靶材
- 密封垫片
- 碳棒蒸发头
- 碳棒用大电流电源
- 碳纤维