Центрифуги для нанесения покрытий
Центрифуги для нанесения покрытий
Решения для нанесения тонкопленочных покрытий
Центрифужное нанесение покрытий — один из наиболее широко используемых инструментов в материаловении, исследованиях полупроводников, фотовольтаике и технологии тонких пленок. Процесс центрифужного нанесения покрытий позволяет получать высокооднородные, воспроизводимые тонкие пленки на плоских подложках за счет центробежного растекания, что делает центрифужное нанесение покрытий незаменимым инструментом в лабораториях, университетах и промышленных предприятиях, где требуется контролируемое и повторяемое осаждение тонких пленок.
Серия ToronSC™ — это семейство из пяти сертифицированных по стандарту CE центрифужных установок для нанесения покрытий, предназначенных для охвата всего спектра применений в этой области — от электрических центрифужных установок начального уровня для студенческих лабораторий до программируемых высокоскоростных моделей для передовых исследований в области полупроводников и фотовольтаики, а также крупноформатных вакуумных зажимных устройств для нанесения покрытий на 8-дюймовые пластины. Каждая центрифужная установка ToronSC™ разработана для обеспечения точности, воспроизводимости и практического ежедневного использования в исследовательских и контрольно-качественных средах.
Независимо от того, нужен ли вам базовый центрифужный аппарат для нанесения полимерных пленок, антикоррозионный центрифужный аппарат для нанесения покрытий с использованием агрессивных химических веществ или программируемый многорецептурный прибор для сложных многослойных покрытий, в серии ToronSC™ найдется модель, соответствующая вашим задачам, размеру подложки и технологическим требованиям.
Готовы настроить систему центрифужного нанесения покрытий?
Серия ToronSC™ предоставляет исследовательским лабораториям, университетским кафедрам и промышленным научно-исследовательским центрам полный набор центрифужных установок для нанесения тонких пленок, сертифицированных по стандарту CE. Свяжитесь с компанией Torontech, чтобы обсудить требования к подложке, химический состав процесса, дополнительные аксессуары и цены на центрифужную установку ToronSC™, которая наилучшим образом соответствует вашему рабочему процессу.
Области применения
Серия центрифужных установок ToronSC™ предназначена для нанесения тонких пленок в широком спектре научно-исследовательских и промышленных областей:
Полупроводники и фотолитография
- Нанесение фоторезиста методом центрифугирования на кремниевые пластины для академических и промышленных исследований в области фотолитографии и разработки технологических процессов.
- Нанесение диэлектрических и пассивирующих пленок методом золь-гель центрифугирования для исследований в области изготовления полупроводниковых приборов.
- Нанесение антибликового и защитного слоя на подложки оптических и фотонных устройств.
Исследования в области фотовольтаики и энергетики
- Нанесение поглощающего слоя перовскита методом центрифугирования для исследований солнечных элементов следующего поколения и оптимизации их эффективности.
- Осаждение слоев переноса электронов и дырок из золь-гелевых растворов или растворов наночастиц для многослойных фотоэлектрических устройств.
- Функциональное покрытие электродов батареи — нанесение суспензий активных материалов и защитных покрытий методом центрифугирования на подложки токосъемников.
Исследования в области материаловедения и химии
- Осаждение тонких пленок оксидов металлов из золь-гелевых прекурсоров для применения в катализе, сенсорике и оптоэлектронике.
- Исследования тонкопленочных полимерных покрытий для инкапсуляции, диэлектриков и электроактивных слоев в печатной электронике.
- Центрифужное нанесение суспензии наночастиц для функциональной модификации поверхности и изготовления наноструктурированных тонких пленок.
Специальные покрытия и покрытия для контролируемой атмосферы
- Антикоррозионное центрифужное нанесение покрытий с использованием растворов сильных кислот и щелочей с помощью полипропиленовых камер моделей ToronSC™ 2000C и ToronSC™ 1000P.
- Центрифужное нанесение пленок из чувствительных к воздуху органических, перовскитных и аккумуляторных материалов в перчаточном боксе в инертной атмосфере под аргоном
- Нанесение покрытий на крупноформатные подложки (до 8-дюймовых пластин или панелей 5×5 дюймов) с использованием установки ToronSC™ 350P для передовых исследований в области разработки электронных устройств.
Почему стоит выбрать серию ToronSC™ для нанесения тонкопленочных покрытий?
Выбор центрифужного нанесения покрытия — это решение, влияющее на качество пленки, воспроизводимость процесса, безопасность эксплуатации и долгосрочную производительность лаборатории. Серия центрифужных установок ToronSC™ разработана для решения всех этих задач в рамках широкого спектра применений и бюджетов.
1. Центрифужная установка для нанесения покрытий на любые поверхности и размеры подложек.
Большинство поставщиков центрифужных установок предлагают одну или две модели, оставляя исследователям возможность адаптировать свой процесс к ограничениям прибора. Серия ToronSC™ включает пять специализированных центрифужных установок — от 4-дюймовой электрической центрифужной установки без вакуума до программируемой 8-дюймовой модели с вакуумным зажимом большого формата — поэтому вы можете выбрать прибор, который подходит для вашей подложки, химического состава процесса и требований к программированию, без компромиссов.
2. Антикоррозионная защита от воздействия агрессивных химических веществ.
В стандартных центрифужных установках для нанесения покрытий используются алюминиевые камеры, которые быстро корродируют при воздействии сильных кислот, щелочей и реактивных золь-гелевых прекурсоров. В установках ToronSC™ 2000C и ToronSC™ 1000P используются цельнополипропиленовые камеры, химически инертные к агрессивным растворам для нанесения покрытий, включая сильные кислоты и щелочи, используемые в исследованиях перовскитов, оксидов металлов и тонких пленок электролитов.
3. Совместимость с бардачком и инертной атмосферой.
Несколько моделей серии ToronSC™ предназначены для использования внутри перчаточного бокса в атмосфере аргона или азота, что позволяет наносить покрытия методом центрифугирования на материалы, чувствительные к воздуху и влаге, без воздействия на подложку или раствор окружающей влажности или кислорода. Модель ToronSC™ 1000P также имеет встроенный входной патрубок для газа на крышке, что позволяет контролировать атмосферу без необходимости использования полного перчаточного бокса.
4. Программируемые многоступенчатые рецепты центрифужного нанесения покрытия.
ToronSC™ 1000P предлагает самые передовые возможности программирования в серии: 12 сохраненных программ, каждая из которых содержит до 6 независимых сегментов скорости/времени. Такой уровень хранения рецептов и многоступенчатого управления необходим для воспроизводимого многослойного центрифужного нанесения покрытий, оптимизации профиля фоторезиста и сложных последовательностей золь-гелевых процессов, требующих большего, чем простой двухэтапный протокол дозирования и распределения.
5. Вакуумная фиксация для обеспечения однородности пленки.
Четыре из пяти моделей ToronSC™ используют вакуумную фиксацию подложки в зажимном патроне — подложка надежно удерживается по центру патрона в течение всего цикла центрифугирования. Вакуумная фиксация исключает смещение подложки, уменьшает деформацию подложки, вызванную центробежной силой, и обеспечивает ровное положение подложки во время центрифугирования, что напрямую улучшает равномерность толщины пленки по всей поверхности подложки.
6. Сертификация CE по всей серии.
Каждый центрифужный полировальный аппарат ToronSC™ имеет сертификат CE, подтверждающий соответствие европейским требованиям безопасности, электромагнитной совместимости и защиты окружающей среды. Сертификация CE позволяет использовать аппарат в регулируемых лабораторных и промышленных условиях в Северной Америке, Европе и за рубежом, а также гарантирует качество продукции и соответствие стандартам проектирования.
7. Полностью готовые к использованию пакеты
Каждая центрифужная установка для нанесения покрытий ToronSC™ поставляется в полной комплектации: безмасляный вакуумный насос, соответствующие вакуумные зажимы, шприц объемом 20 мл, фильтр для сточных вод и все необходимые соединения — готовая к немедленному использованию без необходимости приобретения дополнительных принадлежностей. Дополнительные аксессуары, такие как нагревательные кожухи, зажимы других размеров и центрирующие инструменты, расширяют возможности прибора по мере роста требований вашего применения.
Сравнение продуктов
В таблице ниже представлено сравнение всех пяти моделей центрифужных машин для нанесения покрытий ToronSC™. Используйте столбец «Лучше всего подходит для», чтобы подобрать подходящую центрифужную машину для ваших задач.
| Модель | Наименование | Макс. субстрат | Диапазон скоростей | Программы | камера | Для каких задач | CE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ToronSC™ 100 | Электрический центрифужный аппликатор | 4 "(100 мм) | 500–8,000 об / мин | регулируемый | Алюминиевый/полипропиленовый диск | Начальный уровень; без вакуума; использование в перчаточном боксе для аргоноплазменной обработки. | ✓ |
| ToronSC™ 350 | Вакуумный центрифугирующий напылитель | 4 "(100 мм) | 500–8,000 об / мин | Сегменты 2 | Литой алюминиевый / полипропиленовый диск | Стандартное лабораторное вакуумное центрифужное нанесение покрытий; золь-гель и фоторезист | ✔ |
| ToronSC™ 350P | Программируемый вакуумный центрифужный аппликатор | 8" (200 мм) / 5"×5" | 500–6,000 об / мин | Сегменты 2 | Полипропилен (ПП / PP): | Нанесение покрытий на большие пластины и панели; золь-гель метод; опциональный нагрев | ✔ |
| ToronSC™ 1000P | Программируемый высокоскоростной центрифужный распылитель | 5 "(127 мм) | 500–10,000 об / мин | 12 программ × 6 сегментов | Полипропилен (ПП / PP): | Сложные многоступенчатые рецептуры; исследования в области полупроводников и фотоэлектрических элементов. | ✔ |
| ToronSC™ 2000C | Антикоррозионный центрифужный напылитель | 6 "(152 мм) | 500–8,000 об / мин | Сегменты 2 | Полипропилен (ПП / PP): | Коррозионные кислотно-щелочные покрытия; использование аргона в перчаточном боксе. | ✔ |
Выберите подходящий центрифужный покрыватель ToronSC™
Воспользуйтесь приведенным ниже кратким руководством по выбору, чтобы подобрать подходящую центрифужную установку для ваших задач:
ToronSC™ 100 — Электрический центрифужный лакировочный аппарат начального уровня
- Выберите эту модель, если вам нужна простая и недорогая машина для центрифужного нанесения покрытий, не требующая вакуумной инфраструктуры.
- Идеально подходит для: студенческих лабораторий, начинающих пользователей центрифужного нанесения покрытий и использования в перчаточных боксах для нанесения покрытий в инертной атмосфере.
ToronSC™ 350 — машина для нанесения вакуумного центрифугирования
- Выберите эту модель для стандартного золь-гель и центрифужного нанесения фоторезиста на подложки размером 4 дюйма и меньше с использованием вакуумного зажима.
- Идеально подходит для: научно-исследовательских лабораторий общего назначения, университетских групп и стандартных процессов нанесения тонких пленок.
ToronSC™ 350P — программируемая машина для нанесения вакуумного центрифугирования
- Выберите эту модель для крупноформатного центрифужного нанесения покрытий на 8-дюймовые пластины или панели размером 5×5 дюймов с использованием золь-гелевых и функциональных растворов.
- Идеально подходит для: крупномасштабных исследований тонких пленок, оценки опытно-промышленных испытаний и нанесения покрытий на большие подложки с возможностью нагрева на месте.
ToronSC™ 1000P — Программируемый высокоскоростной центрифужный напылитель
- Выбирайте эту модель, если ваш производственный процесс требует многоступенчатого программирования, скорости вращения до 10 000 об/мин или использования агрессивных химических составов для нанесения покрытий.
- Идеально подходит для: передовых исследований в области полупроводников, создания поглощающих слоев для фотоэлектрических элементов и многослойного центрифужного нанесения покрытий по сложным рецептам.
ToronSC™ 2000C — антикоррозионная машина для центрифугирования
- Выбирайте эту модель, если растворы для нанесения покрытий имеют сильно кислую или щелочную среду, или если требуется использование перчаточного бокса с аргоновой атмосферой.
- Идеально подходит для: исследований перовскитов, золь-гелевого синтеза оксидов металлов, нанесения покрытий на электроды батарей и других применений в коррозионно-активной химии.
