Программируемый высокоскоростной центрифужный распылитель
Программируемый высокоскоростной центрифужный распылитель – ToronSC™ 1000P
ToronSC™ 1000P — это программируемый высокоскоростной вакуумный центрифужный напылитель, разработанный для точного нанесения тонких пленок на подложки диаметром до 5 дюймов (127 мм) со скоростью до 10 000 об/мин. Разработанный как усовершенствованная версия базовых двухсегментных центрифужных напылителей, ToronSC™ 1000P хранит до 12 полных программ нанесения покрытий, каждая из которых состоит из до 6 независимо программируемых сегментов скорости, обеспечивая гибкость многоэтапного процесса, необходимую для сложных последовательностей нанесения многослойных покрытий методом центрифугирования, оптимизации профиля фоторезиста и протоколов золь-гель осаждения исследовательского класса.
Благодаря прецизионному бесщеточному серводвигателю постоянного тока 24 В, ToronSC™ 1000P обеспечивает быстрое и стабильное ускорение до заданной скорости с низким уровнем шума и вибрации — что крайне важно для поддержания однородности пленки по всей поверхности подложки во время высокоскоростного центрифужного нанесения покрытия. Сертифицированная по стандарту CE конструкция и ЖК-интерфейс управления делают этот прибор надежным выбором для исследований в области полупроводников, разработки фотоэлектрических тонких пленок, университетских лабораторий и промышленных научно-исследовательских сред. В стандартную комплектацию входят два размера вакуумных зажимов, а для большей гибкости при работе с различными подложками доступны дополнительные размеры зажимов.
Программируемый высокоскоростной центрифужный распылитель – ToronSC™ 1000P. Области применения.
Программируемый высокоскоростной центрифужный напылитель ToronSC™ 1000P предназначен для нанесения покрытий методом центрифугирования в химически агрессивных растворах:
- Исследования в области полупроводниковых технологий: центрифужное нанесение фоторезиста и осаждение диэлектрической пленки золь-гелем на подложки размером до 5 дюймов со скоростью до 10 000 об/мин.
- Исследования тонкопленочных фотоэлектрических материалов: осаждение поглощающих слоев на основе перовскитов, органических и неорганических материалов для исследований и разработок солнечных элементов.
- Оптическое покрытие: нанесение антиотражающих, фильтрующих и функциональных оптических тонких пленок с многоступенчатым контролем толщины.
- Нанесение многослойных пленок: сложные многоступенчатые последовательности центрифужного нанесения, хранящиеся в виде именованных программ для воспроизводимого послойного нанесения.
- Органическая электроника: активный слой, транспортный слой и инкапсулирующий слой, нанесенные методом центрифугирования, для исследований в области OLED и органической фотовольтаики.
- Нанесение покрытий на керамические и стеклянные подложки: золь-гель и наночастичные суспензионные покрытия на некремниевые подложки для применения в качестве функциональных пленок.
- Промышленные научно-исследовательские лаборатории и университетские лаборатории: универсальный программируемый центрифужный аппарат для нанесения тонких пленок из различных материалов и с использованием различных технологических процессов.
Программируемый высокоскоростной центрифужный распылитель – ToronSC™ 1000P: основные характеристики.
1. 12 программ × 6 сегментов — Расширенное хранение рецептов
Система хранит до 12 полных программ центрифужного нанесения покрытий, каждая из которых содержит до 6 независимо программируемых этапов (скорость, время и ускорение на сегмент). Это позволяет сохранять, вызывать и многократно выполнять сложные многоэтапные протоколы центрифужного нанесения покрытий разными операторами без перепрограммирования.
2. Высокоскоростной бесщеточный серводвигатель постоянного тока со скоростью вращения 10 000 об/мин
Бесщеточный серводвигатель постоянного тока 24 В обеспечивает быстрое, стабильное и точное ускорение до скорости 10 000 об/мин с высокой надежностью, низким уровнем шума и минимальной вибрацией. Стабильная работа на протяжении всего процесса ускорения и на заданной скорости гарантирует однородность пленки по всей поверхности подложки.
3. ЖК-дисплей с удобным пользовательским интерфейсом
ЖК-дисплей с подсветкой отображает в реальном времени скорость вращения, прошедшее время, текущий шаг программы и параметры программы. Клавиатурный интерфейс обеспечивает интуитивно понятный ввод, изменение и выбор программы.
4. Антикоррозионная полипропиленовая камера
Камера для центрифужного нанесения покрытия изготовлена из полипропилена (ПП), что обеспечивает химическую стойкость и позволяет использовать ее с кислотными, щелочными и органическими растворителями без деградации камеры.
5. Входной патрубок для инертного газа для регулирования атмосферы.
Один из входных газовых патрубков на крышке позволяет подавать инертный газ (азот или аргон) во время нанесения покрытия, обеспечивая контроль атмосферных условий для процессов центрифужного нанесения покрытий, чувствительных к влаге или кислороду, без необходимости использования полного перчаточного бокса.
6. Инструмент для центрирования и позиционирования образца
В комплект входит центрирующий позиционирующий инструмент, обеспечивающий точное размещение подложки на патроне перед каждым циклом обработки, что снижает вибрацию и риск вылетевания, вызванные смещением подложек при высоких скоростях вращения.
7. Патроны разных размеров — простая замена.
В стандартную комплектацию входят два типоразмера вакуумных зажимных патронов для немедленного использования с материалами различного размера. Дополнительные типоразмеры патронов доступны, а замена патрона осуществляется легко и быстро без использования инструментов.
8. Конструкция сертифицирована по стандарту CE.
Центрифужная установка для нанесения покрытий ToronSC™ 1000P имеет сертификат CE, подтверждающий соответствие европейским требованиям безопасности, охраны здоровья и защиты окружающей среды.
Теория и метод
Установка ToronSC™ 1000P работает по принципу центробежного центрифужного нанесения покрытий, используя запрограммированные многоступенчатые профили центрифугирования для нанесения точных и воспроизводимых тонких пленок. Подложка крепится к вакуумному зажиму с помощью вакуумного отсоса, создаваемого входящим в комплект безмасляным вакуумным насосом. Раствор для нанесения покрытия подается в центр подложки, и бесщеточный двигатель постоянного тока выполняет запрограммированную последовательность скоростей — обычно это этап нанесения покрытия на низкой скорости, за которым следует один или несколько этапов истончения на высокой скорости, и, при необходимости, медленное снижение скорости.
12-программная 6-сегментная архитектура позволяет оператору разрабатывать и сохранять полные рецепты центрифужного нанесения покрытий для различных материалов, подложек и целевой толщины пленки. В каждой программе каждый из 6 сегментов независимо управляет скоростью вращения (об/мин), временем вращения (в секундах) и коэффициентом ускорения. ЖК-дисплей обеспечивает обратную связь в реальном времени о текущей скорости вращения, прошедшем времени и активном этапе программы. Полипропиленовая (ПП) камера обеспечивает химическую стойкость к коррозионным растворам для нанесения покрытий, а входное отверстие для инертного газа на крышке позволяет проводить нанесение покрытия в инертной атмосфере.
Программируемый высокоскоростной центрифужный распылитель – ToronSC™ 1000P: технические характеристики.
| Параметр | Параметр |
|---|---|
| Модель | ToronSC™ 1000P |
| Максимальный размер субстрата | Диаметр 5 дюйма (127 мм) |
| Диапазон скорости вращения | 500 - 10,000 об / мин |
| Тип двигателя | Бесщеточный сервомотор постоянного тока 24 В |
| Программы | 12 программ, по 6 сегментов в каждой программе |
| Дисплей | ЖК-дисплей с интерфейсом клавиатуры |
| Камерный Материал | Полипропилен (ПП) — антикоррозионный материал |
| Контроль атмосферы | Входное отверстие для инертного газа на крышке (совместимо с N₂/Ar) |
| Фиксация подложки | Вакуумный патрон |
| Вакуумные зажимы входят в комплект. | 2 размера (стандартные) |
| Центрирующий инструмент | Есть |
| Вакуумный насос | Безмасляный вакуумный насос (в комплекте) |
| Напряжение | 110/220 В переменного тока, 50/60 Гц |
| Сертификаты | CE |