Антикоррозионный центрифужный напылитель
Антикоррозионное центрифугирующее устройство – ToronSC™ 2000C
ToronSC™ 2000C — это антикоррозионная центрифужная установка, предназначенная для нанесения покрытий с использованием агрессивных химических растворов, включая сильные кислоты, сильные щелочи и другие коррозионно-активные жидкие или золь-гелевые покрытия. Вся камера изготовлена из химически стойкого полипропилена (ПП), что делает эту центрифужную установку совместимой с реактивными растворами для нанесения покрытий, которые могут повредить алюминиевые или нержавеющие стальные камеры, используемые в стандартных центрифужных установках. ToronSC™ 2000C также разработана для работы в перчаточном боксе в атмосфере аргона, что делает ее идеальным решением для процессов центрифужного нанесения покрытий, чувствительных к влаге и кислороду.
Оснащенная цифровым пультом дистанционного управления, центрифужная установка ToronSC™ 2000C позволяет оператору контролировать скорость вращения и программу обработки вне перчаточного бокса или вытяжного шкафа — это важнейшая функция безопасности и удобства при работе с агрессивными средами или инертной атмосферой. В комплект входят четыре вакуумных зажима для подложек диаметром от 10 мм до 6 дюймов, безмасляный вакуумный насос и шприц объемом 20 мл для немедленного использования.
Антикоррозионная центрифугирующая машина – ToronSC™ 2000C
Антикоррозионная центрифужная установка ToronSC™ 2000C предназначена для нанесения покрытий методом центрифугирования в химически агрессивных растворах:
- Кислотно-щелочное золь-гелевое нанесение покрытий: осаждение оксидных и функциональных пленок из сильнокислотных или сильнощелочных растворов прекурсоров на полупроводниковые пластины и стеклянные подложки.
- Центрифужное нанесение фоторезиста: нанесение фоторезистов, требующих кислотной или щелочной обработки, на полупроводниковые пластины диаметром до 6 дюймов.
- Коррозионное электролитное покрытие: осаждение тонких пленок электролита или электрокатализатора из реактивных водных растворов.
- Центрифужное нанесение покрытий в перчаточном боксе: процессы нанесения покрытий на чувствительные к влаге и кислороду, проводимые в атмосфере аргона внутри герметичного перчаточного бокса.
- Изготовление перовскитных солнечных элементов: нанесение коррозионно-активного раствора прекурсора на поглощающие слои перовскита в фотоэлектрических исследованиях.
- Покрытие электродов батареи: нанесение функциональных покрытий из реактивных суспензий на подложки токосъемников.
- Нанесение защитных и функциональных пленок: коррозионностойкие или функциональные оксидные покрытия из агрессивных химических веществ.
Антикоррозионная центрифугирующая машина – ToronSC™ 2000C Основные характеристики
Антикоррозионная центрифужная установка ToronSC™ 2000C разработана с учетом специфических требований к химически агрессивным средам для нанесения тонких пленок:
1. Полностью полипропиленовая антикоррозионная камера
Вся вращающаяся камера изготовлена из химически стойкого полипропилена, что позволяет использовать ее с сильнокислотными и щелочными растворами для нанесения покрытий, которые могут повредить стандартные алюминиевые или стальные камеры центрифужных установок. Полипропиленовый диск и чаша устойчивы к химическому воздействию и позволяют тщательно промывать их растворителем.
2. Совместимость с перчаточным боксом, работающим в атмосфере аргона.
Центрифужная установка для нанесения покрытий ToronSC™ 2000C предназначена для использования внутри герметичного перчаточного бокса в атмосфере аргона или другого инертного газа, что позволяет проводить процессы центрифужного нанесения покрытий, чувствительные к кислороду и влаге, без контакта раствора с окружающим воздухом.
3. Дистанционно-отделенный цифровой блок управления
Цифровой блок управления физически отделен от корпуса центрифуги, что позволяет оператору устанавливать скорость вращения, программировать сегменты и запускать цикл нанесения покрытия вне перчаточного бокса или вытяжного шкафа, повышая как безопасность, так и удобство работы оператора в агрессивных средах или инертной атмосфере.
4. Два программируемых скоростных сегмента
Центрифужное нанесение покрытия поддерживает два независимо программируемых сегмента скорости (скорость и время), что позволяет выполнять этап дозирования на низкой скорости с последующим этапом нанесения на высокой скорости в рамках одной автоматизированной последовательности — стандартный двухэтапный протокол центрифужного нанесения покрытия.
5. Регулируемая скорость вращения 500–8,000 об/мин.
Плавная регулировка скорости вращения от 500 до 8,000 об/мин, охватывающая диапазон, необходимый для большинства применений золь-гелевых и фоторезистных центрифужных покрытий при стандартной толщине пленки.
6. Четыре вакуумных зажима (для подложек толщиной от 10 мм до 6 дюймов)
В комплект входят четыре вакуумных зажима разных размеров, подходящих для материалов диаметром от 10 мм до 6 дюймов (152 мм). Вакуумное всасывание обеспечивает надежную фиксацию материала на протяжении всего цикла отжима.
7. В комплект входят безмасляный вакуумный насос и шприц объемом 20 мл.
Полный комплект, включающий безмасляный вакуумный насос для чистого, безмасляного всасывания и шприц объемом 20 мл для точного дозирования раствора для покрытия — готов к немедленному использованию сразу после установки.
Теория и метод
Центробежная установка ToronSC™ 2000C использует центробежную силу для равномерного распределения жидких растворов для нанесения покрытий по плоской поверхности подложки. Подложка крепится к вакуумному зажиму с помощью вакуумного присоса, который надежно удерживает ее во время высокоскоростного вращения. Дозированный объем раствора для нанесения покрытия (доставляется с помощью прилагаемого шприца) наносится в центр подложки. По мере того, как центробежная установка разгоняется до запрограммированной скорости, центробежная сила выталкивает жидкость из центра по поверхности подложки, а избыток раствора вытесняется с краев в окружающую камеру.
Конечная толщина пленки определяется вязкостью раствора, его концентрацией, а также запрограммированной скоростью и продолжительностью центрифугирования. Конструкция полипропиленовой камеры химически инертна к сильным кислотам, щелочам и большинству органических растворителей, что защищает прибор от коррозии и позволяет проводить полную промывку между циклами. Вакуумный насос поддерживает разрежение на зажимном устройстве на протяжении всего цикла центрифугирования, предотвращая проскальзывание подложки даже на максимальной скорости.
Технические характеристики антикоррозионной центрифужной установки для нанесения покрытий – ToronSC™ 2000C
| Параметр | Параметр |
|---|---|
| Модель | ToronSC™ 2000C |
| Камерный Материал | Полипропилен (ПП) — антикоррозионный, кислото- и щелочестойкий материал. |
| Максимальный размер субстрата | Диаметр 6 дюйма (152 мм) |
| Диапазон скорости вращения | 500 - 8,000 об / мин |
| Программируемые сегменты | 2 сегмента (скорость + время в каждом) |
| Вакуумные зажимы входят в комплект. | 4 патрона (для субстрата толщиной от 10 мм до 6 дюймов) |
| Блок управления | Отдельный цифровой блок дистанционного управления |
| Совместимость с атмосферой | Аргон (совместим с бардачком) |
| Вакуумный насос | Безмасляный вакуумный насос (в комплекте) |
| спринцовка | Шприц объемом 20 мл (в комплекте) |
| Напряжение | 110/220 В переменного тока, 50/60 Гц |
| Сертификаты | CE |