Vakum Tinggi, Meja Sputter Meja Target Magnetron Tunggal DST1-170
Vacuum Tinggi, Single Magnetron Target Desk Sputter Coater DST1-170 dikonfigurasikan sebagai Desk Sputter Coater, yang dirancang khusus untuk persiapan sampel Scanning Electron Microscope (SEM). DST1-170 serbaguna, mampu menyimpan berbagai macam material, termasuk emas (Au), paduan platinum/paladium (Pt/Pd), perak (Ag), kromium (Cr), tungsten (W), iridium (Ir) , dan banyak lagi.
DST1-170 unggul dalam menghasilkan film seragam berkualitas tinggi dengan ukuran butiran halus. Film-film ini ideal untuk spesimen yang memerlukan karakterisasi resolusi tinggi dan berkualitas tinggi, seperti aplikasi FE-SEM, EDS/WDS, TEM, dan EBSD. Dilengkapi dengan katoda magnetron 2 inci dan catu daya DC switching 80 watt, DST1-170 cocok untuk berbagai penelitian dan aplikasi film tipis.
- Mencapai deposisi struktural butiran halus untuk persiapan sampel SEM dan FE-SEM
- Aplikasi nano dan mikroelektronik
- Pembuatan sel surya
- Pelapisan komponen optik
- Pengembangan sensor film tipis
- Pompa turbomolekuler vakum tinggi dengan kapasitas 90 L/S (Leybold)
- Pompa vakum baling-baling putar dua tahap berfungsi sebagai pompa pendukung
- Pengukur vakum jangkauan penuh (Leybold)
- Katup kupu-kupu ISO-KF 63
- Catu daya DC diberi nilai 80 watt
- Monitor ketebalan kristal kuarsa dengan presisi 1 nanometer dan resolusi 1 Ångström
- Antarmuka layar sentuh yang intuitif untuk kontrol proses pelapisan yang mudah dan input data yang cepat
- Perangkat lunak yang mudah digunakan dengan kemampuan pembaruan jaringan
- Kontrol fungsionalitas untuk menyesuaikan laju pelapisan guna mencapai struktur butiran yang lebih halus
- Menawarkan opsi sputtering waktu dan ketebalan manual dan otomatis
- GLAD (Glancing Angle Deposition) Kemampuan sputtering
- Fungsionalitas Pembersihan Plasma
- Kemampuan untuk merekam dan memplot grafik parameter pelapisan
- Dilengkapi dengan rana elektronik
- Tahapan spesimen yang mudah dipertukarkan, dengan tahap rotasi disertakan sebagai standar
- Didukung oleh garansi dua tahun
- Produk Vac Coat secara global dilindungi oleh asuransi publik dan pertanggungjawaban produk, memastikan perlindungan jika terjadi kerusakan properti atau cedera pribadi yang disebabkan oleh sistem Vac Coat.
Bersihkan Vakum dari Desk Sputter Coater
Ruang vakum terbuat dari silinder Pyrex. DST1-170 dilengkapi dengan pompa turbomolekuler 90 L/s yang dipasang secara internal, didukung oleh pompa baling-baling putar dua tahap 4m³/jam. Konfigurasi ini memastikan lingkungan vakum yang bersih, bebas dari kontaminasi oli yang biasanya dikaitkan dengan pompa difusi standar.

Layar Sentuh Kontrol
DST1-170 dilengkapi antarmuka layar sentuh berwarna 7 inci dengan kontrol otomatis penuh dan input data yang mudah digunakan, membuatnya dapat diakses bahkan oleh pengguna yang belum berpengalaman. Pengguna dapat dengan mudah mengoperasikan sistem melalui layar sentuh, di mana informasi tingkat vakum, arus, dan pengendapan dapat dilihat sebagai data digital atau ditampilkan sebagai kurva. Selain itu, sistem dapat menyimpan informasi tentang 300 pelapisan terakhir, yang dapat diakses di halaman riwayat untuk referensi.
- Vakum Tertinggi: Kurang dari 7 x 10^-7 Torr
- Kontrol laju sputtering yang tepat untuk mencapai struktur butiran yang lebih halus
- Kontrol daya independen terhadap sputtering, berapa pun tekanannya
- Katup kebocoran elektronik untuk gas Argon
- Kemampuan untuk merekam dan memplot grafik parameter pelapisan
- Transfer data yang nyaman dari kurva dan proses deposisi data melalui port USB ke PC
- Persyaratan daya: 220V-240V, 50/60Hz, 16A
- Berat Pengiriman: 36 kilogram
Pilihan dan Aksesori:
- Kristal kuarsa
- Rotasi sampel planet
- Ruang kaca cadangan
- Sputtering target
- Penyegelan gasket