Camera per prove a vuoto termico
Camera di prova termica sottovuoto - ToronTVT™ 600
ToronTVT™ 600 è una camera di prova termica sottovuoto multifunzione che combina il condizionamento termico sottovuoto con la deposizione integrata di film sottili PVD in un armadio compatto con porta scorrevole in acciaio inox SS304. La camera, disponibile nelle versioni da 30, 40 o 50 cm, presenta superfici interne ed esterne elettrolucidate a sfioramento, con passanti in KF25, CF40 e da 1 pollice con O-ring in Viton resistenti a 200 °C. Pompe turbomolecolari e meccaniche raggiungono una pressione di base di 10⁻⁸ Torr, con un sistema di misurazione del vuoto Inficon ad ampio raggio che copre l'intervallo da 1000 a 10⁻⁸ Torr. Un ciclo di 1.5 ore a 10⁻⁷ Torr consente di eseguire più esperimenti al giorno.
Quattro sorgenti termiche di evaporazione inorganica e da due a sei celle di effusione organica controllate da PID (da 25 a 600 °C, ±1 °C) offrono capacità di deposizione insieme ad applicazioni di fascio di elettroni, sputtering e forno a vuoto nella stessa camera. Un controllore di spessore a doppio canale da 0.1 Å/s monitora la velocità di deposizione e lo spessore cumulativo del film attraverso le sorgenti attive. La rotazione del campione da 2 a 30 giri/minuto con un riscaldatore rotante del substrato da 100 a 600 °C favorisce l'uniformità del film durante la deposizione. Una finestra frontale da 100 mm con blocco UV e otturatore di protezione ruotabile consente il monitoraggio visivo del processo.
Il controllo computerizzato completamente automatico con pannello touch screen gestisce tutte le funzioni del sistema; l'alimentazione monofase a 220 V CA, 16 A semplifica l'installazione. Il raffreddamento automatico a circuito chiuso ad acqua protegge tutte le sorgenti e i componenti al plasma durante il funzionamento. La configurazione con connettori KF25, CF40 e passante da 1 pollice con O-ring in Viton da 200 °C supporta le connessioni di misurazione e di processo sia per i test TVAC che per i flussi di lavoro di deposizione. I test sottovuoto termico e la deposizione di film sottili possono essere eseguiti nello stesso ciclo di pompaggio, riducendo i tempi di processo e mantenendo l'integrità del vuoto.
Camera di prova termica sottovuoto - Applicazioni ToronTVT™ 600
Il ToronTVT™ 600 è ideale per i laboratori che necessitano sia di test ambientali sottovuoto termico che di deposizione di film sottili PVD, senza la necessità di strumenti dedicati separati per ciascuna funzione. Il suo formato a armadio, la capacità di combinare i processi e il controllo automatizzato lo rendono adatto a programmi che richiedono condizionamento termico e rivestimento con film sottili nello stesso flusso di lavoro.
- Test ambientali sottovuoto termico: cicli termici sotto vuoto di componenti elettronici, sensori e piccoli assemblaggi in condizioni di temperatura e vuoto controllate per la verifica delle prestazioni e l'analisi dei guasti
- Ricerca su OLED e dispositivi elettronici organici: condizionamento termico sottovuoto di stack di dispositivi organici combinato con deposizione in situ di strati organici di emettitore, trasporto e contatto metallico senza interrompere il vuoto
- Ricerca sulle celle solari a perovskite e ibride: condizionamento sottovuoto combinato e deposizione di film sottili di strati assorbitori, di trasporto di carica e di contatto di perovskite per programmi di ricerca su dispositivi fotovoltaici
- Test e rivestimento di componenti a semiconduttore: test termico sotto vuoto di componenti semiconduttori seguito da deposizione in situ di contatti metallici o film di passivazione nello stesso ambiente sotto vuoto
- Ricerca sul degassamento dei materiali e sui rivestimenti superficiali: condizionamento termico sottovuoto dei materiali candidati per la caratterizzazione del degassamento, con possibilità integrata di modifica superficiale o di rivestimento con film sottili.
- University e programmi TVAC del laboratorio di ricerca: piattaforma compatta automatizzata per il vuoto termico, ideale per programmi accademici che richiedono sia test ambientali che rivestimenti a film sottile, senza la necessità di investimenti in attrezzature separate.
Camera di prova termica sottovuoto - Caratteristiche principali della ToronTVT™ 600
Il ToronTVT™ 600 integra condizionamento termico sottovuoto, deposizione PVD organica e inorganica, monitoraggio a 10 canali tramite termocoppie e misurazione del vuoto Inficon in un armadio compatto con porta scorrevole in acciaio inox SS304 e controllo automatizzato tramite touch screen.
- Camera prismatica in acciaio inox SS304 (30/40/50 cm) con porte scorrevoli: formato compatto dell'armadio con sportelli scorrevoli ad accesso diretto per un caricamento ergonomico del campione, la configurazione della sorgente e il trasferimento del substrato
- Superfici interne ed esterne elettrolucidate, vellutate al tatto.: le superfici pulite della camera riducono il degassamento e la contaminazione da particolato sia nei test sottovuoto termico che nei processi di deposizione
- Monitoraggio della temperatura tramite termocoppie a 10 canali: fino a 10 canali termocoppia indipendenti forniscono una mappatura termica spaziale completa degli articoli di prova e delle superfici della camera durante i test termici sottovuoto
- 4 fonti di evaporazione termica inorganica e da 2 a 6 fonti di evaporazione organica: l'accesso simultaneo a sorgenti termiche inorganiche e celle di effusione organiche consente la deposizione in situ di film sottili all'interno dello stesso ciclo di vuoto termico
- Celle di effusione controllate da PID (da 25 a 600 °C, ±1 °C)Celle di effusione Knudsen per un'evaporazione precisa di materiale organico con la stabilità termica necessaria per la deposizione di semiconduttori organici ed emettitori OLED.
- Capacità di deposizione multimodaleApplicazioni di evaporazione termica, fascio di elettroni, sputtering e forno a vuoto in un'unica camera per configurazioni di processo flessibili.
- Gruppo di pompe turbomolecolari e meccaniche, pressione di base 10⁻⁸ Torr: la combinazione di pompe fornisce il vuoto di base necessario sia per i test termici sottovuoto che per la deposizione di film sottili ad alta purezza
- Misurazione del vuoto ad ampio raggio Inficon (da 1000 a 10⁻⁸ Torr): Misurazione del vuoto Inficon dal vuoto atmosferico al vuoto di base, che copre tutte le modalità operative TVAC e di deposizione.
- Valvole automatiche di sfiato, regolazione e isolamento.: controllo completo delle valvole per tutte le transizioni di pressione; la valvola di isolamento mantiene il vuoto nella camera tra gli esperimenti
- Misurazione di spessore e velocità di taglio di precisione a doppio canale con velocità di 0.1 Å/s: monitoraggio simultaneo dello spessore e del tasso di deposizione attraverso due canali di sorgente di deposizione indipendenti
- Rotazione del campione da 2 a 30 giri/minuto con riscaldatore del substrato da 100 a 600 °C.: combinazione di rotazione e controllo della temperatura del substrato per una deposizione uniforme e condizioni di processo a temperatura controllata
- Finestra di osservazione frontale da 100 mm con protezione UV e otturatore di protezione orientabileAccesso visivo di grande formato durante i test e la deposizione sottovuoto termico senza rischio di esposizione ai raggi UV.
- Passaggi KF25, CF40 e da 1 pollice con O-ring in Viton resistenti a 200 °C: configurazione passante ad alta temperatura che supporta connessioni simultanee di misurazione e processo in tutte le modalità operative
- Controllo computerizzato completamente automatico con pannello touch screen: tutte le operazioni TVAC e di deposizione sono gestite automaticamente tramite un'interfaccia touch screen
- Raffreddamento automatico a circuito chiuso dell'acqua: gestione termica automatizzata delle sorgenti di deposizione e dei componenti del plasma durante l'intero processo
- Ciclo sperimentale di 1.5 ore a 10⁻⁷ Torr: rapido svuotamento e esecuzione del processo per molteplici test sottovuoto termico o cicli di deposizione al giorno
- Alimentazione monofase 220 V CA, 16 A: collegamento elettrico monofase standard per una semplice installazione in laboratorio
- Garanzia completa su materiali, design e manodopera.: copertura completa per componenti di sistema, qualità della progettazione e produzione
Teoria e metodo
Il ToronTVT™ 600 combina il condizionamento termico sottovuoto e la deposizione di film sottili PVD in un unico armadio a vuoto, soddisfacendo due esigenze di laboratorio in un unico ciclo di svuotamento. I flussi di lavoro convenzionali utilizzano apparecchiature separate per il condizionamento termico sottovuoto e la deposizione, richiedendo l'esposizione all'atmosfera tra le fasi. L'ambiente sottovuoto condiviso del ToronTVT™ 600 consente di eseguire il condizionamento termico e la deposizione del film in sequenza senza necessità di ventilazione, preservando la pulizia del campione. Il design dell'armadio con porta scorrevole offre un accesso ergonomico per il caricamento del campione e la configurazione della sorgente in entrambe le modalità di processo.
I test termici sottovuoto sottopongono i campioni a combinazioni controllate di vuoto e temperatura per verificarne le prestazioni in condizioni ambientali simulate. Il sistema a termocoppie supporta fino a 10 canali indipendenti, fornendo una mappa spaziale completa della temperatura durante il test. Le temperature del piano e del mantello vengono monitorate indipendentemente tramite l'interfaccia basata su LabVIEW, che registra i dati relativi al livello di vuoto e alla temperatura per ogni ciclo. La valvola di isolamento mantiene il vuoto nella camera tra un test e l'altro, riducendo i tempi di svuotamento tra cicli consecutivi.
Il sistema di deposizione comprende l'evaporazione termica per film metallici e organici, le celle di effusione di Knudsen per semiconduttori organici e materiali OLED, e configurazioni opzionali di deposizione a fascio di elettroni e sputtering. Quattro sorgenti termiche inorganiche e da due a sei celle di effusione organiche controllate da PID operano all'interno dello stesso volume della camera. Il controllo della temperatura delle celle di effusione tramite PID, con un intervallo da 25 a 600 °C e una precisione di ±1 °C, garantisce la stabilità del flusso necessaria per i materiali organici. Un controller QCM a doppio canale con velocità di scansione di 0.1 Å/s e rotazione del substrato da 2 a 30 giri/min completa il sistema di controllo del processo di deposizione.
Camera di prova termica sottovuoto - Specifiche tecniche ToronTVT™ 600
| Parametro | Specificazione |
|---|---|
| camera Materiale | SS304 (prismatico) |
| Dimensioni della camera | 30, 40 o 50 cm |
| Accesso alla camera | Porte scorrevoli |
| Superficie della camera | Superficie elettrolucidata a effetto piuma (interni ed esterni) |
| Pressione di base | 10⁻⁸ Torr (sistema completamente caricato) |
| Vuoto di lavoro (tempo di ciclo) | 10⁻⁷ Torr; circa 1.5 ore per esperimento |
| Intervallo di misurazione del vuoto | Da 1000 a 10⁻⁸ Torr (sistema Inficon) |
| Configurazione della pompa | Turbomolecolare + Meccanica |
| Configurazione della valvola | Valvole automatiche di sfiato, strozzamento e isolamento |
| Controllo della temperatura | Fino a 10 canali per termocoppie |
| Fonti termiche inorganiche | 4 |
| Fonti di evaporazione organica | Da 2 a 6 cellule di versamento (tipo Knudsen) |
| Temperatura della cella di effusione | Da 25 a 600 °C (PID, ±1 °C) |
| Modalità di deposizione | evaporazione termica, fascio di elettroni, sputtering, forno a vuoto |
| Monitoraggio dello spessore | Doppio canale; precisione di 0.1 Å/s |
| Velocità di rotazione del campione | Da 2 a 30 rpm |
| Riscaldatore del substrato | Da 100 a 600 °C (in rotazione) |
| Porte passanti | KF25, CF40, 1 pollice; O-ring in Viton resistenti a 200 °C |
| Finestra di osservazione | Finestra frontale da 100 mm; protezione dai raggi UV; otturatore di protezione girevole |
| Sistema di raffreddamento | Raffreddamento automatico dell'acqua a circuito chiuso |
| Sistema di controllo | Controllo computerizzato completamente automatico; pannello touch screen |
| Tensione | Monofase, 220 V CA, 16 A (disponibile anche 110 V) |
| Garanzia | Completo (materiali, design e lavorazione) |