Sistema di sputtering magnetron
Sistema di sputtering magnetron ToronSP-400 è un sistema di deposizione fisica da vapore (PVD) di tipo box progettato con camere a vuoto prismatiche o cilindriche. È dotato di 1-4 sorgenti di sputtering DC/RF, che consentono la deposizione di film sottili multistrato utilizzando fino a quattro materiali diversi.
Il sistema ToronVak Sputter può essere personalizzato per soddisfare i requisiti dell'utente, consentendo la produzione di pellicole metalliche, di ossido, di carburo o di nitruro multistrato su scala nanometrica. I materiali compatibili includono Ni, Fe, Au, Zr, Ti, Si, SiO₂, ZnO, TiO₂, Si₃N₄, SiC e altro ancora.
Semiconduttori e microelettronica - Deposizione di film sottili multistrato per circuiti integrati, sensori e dispositivi optoelettronici, garantendo elevata precisione e uniformità su scala nanometrica.
Scienza dei materiali e nanotecnologie - Sviluppo di rivestimenti avanzati come pellicole metalliche, di ossido, di carburo e di nitruro per la ricerca, la prototipazione e l'innovazione dei materiali funzionali.
Ottica e fotonica - Fabbricazione di rivestimenti antiriflesso, conduttivi e dielettrici su componenti ottici, laser e dispositivi fotonici per migliorarne le prestazioni.
Energia e tecnologie rinnovabili - Produzione di rivestimenti a film sottile per celle solari, celle a combustibile e dispositivi di accumulo di energia, migliorando l'efficienza e la durata.
Ingegneria aerospaziale e automobilistica - Applicazione di rivestimenti resistenti all'usura, alla corrosione e con barriera termica ai componenti critici per una maggiore affidabilità in condizioni estreme.
Servizi di ingegneria e rivestimento delle superfici - Deposizione di precisione di film sottili su misura su vari substrati per applicazioni industriali, prototipazione e progetti di rivestimento specializzati su commissione.
Ricerca & Sviluppo - Piattaforma versatile per università, laboratori e centri di ricerca e sviluppo aziendali per esplorare nuovi materiali, tecniche di deposizione e processi di rivestimento multistrato.
- Controllo touchscreen completamente automatizzato – Display LCD in tempo reale per un funzionamento senza interruzioni
- Camera a vuoto di alta qualità – Camera prismatica o cilindrica in acciaio inox 304 con superfici elettrolucidate; disponibile nelle misure 30, 40, 50 e 60 cm
- Visibilità e accesso migliorati – Finestra di visualizzazione frontale e persiana girevole
- Connettività versatile – Porte standard da 1", QF, CF e ISO
- Sistemi interni ottimizzati – Sistema di illuminazione e cottura integrato (fino a 120°C)
- Opzioni di alimentazione – RF: 13.6 MHz, 300-1200 W | CC: 0-1000 V, 2000 W
- Elevate prestazioni di vuoto – Pressione di base: 10⁻⁸ Torr | Raggiunge 2x10⁻⁶ Torr in 20 minuti
- Sistema di pompaggio avanzato – Pompa turbomolecolare + meccanica; disponibile pompa criogenica e a secco
- Controllo del vuoto ad ampio raggio – Monitoraggio della precisione 1000 - 10⁻⁹ Torr
- Elaborazione campione personalizzabile – Riscaldamento controllato da PID (50-700°C) e rotazione del campione regolabile (2-30 rpm)
- Unità di pulizia al plasma – Pulizia del plasma RF tramite polarizzazione RF
- Sistema di raffreddamento efficiente – Avvio e arresto automatici, raffreddamento ad acqua a circuito chiuso
- Controllo di precisione del rivestimento – Misurazione della velocità di spessore a doppio canale (0,1Å/s) con 1-4 QCM
- Opzioni di sputtering flessibili – 1-4 sorgenti di sputtering magnetron DC/RF (1”, 2”, 3”, 4”)
- Gestione del flusso di gas – Ingressi controllati dal misuratore di portata di massa (Ar, N₂, O₂, He, CH₄, H₂) con controllo in tempo reale a 3 canali
- Regolazione della pressione – Valvole di strozzamento, sfiato e isolamento per una regolazione precisa della pressione (1 - 100 mTorr)
- Ciclo di esperimento ottimizzato – Tempo di ciclo di 1.5 ore
- Mantenimento del vuoto – Rimane sotto vuoto con valvola di isolamento quando non è in uso
- Controllo intelligente del PC – Automazione basata su LabVIEW per rivestimenti multistrato
- Monitoraggio di precisione aggiuntivo – Manometro capacitivo per una misurazione accurata della pressione del plasma
- Design compatto e mobile – Ingombro 75x120 cm con ruote bloccabili, passa attraverso porte standard
- Costruzione affidabile – Garanzia di un anno che copre design, materiali e lavorazione