Sputterizzatore/Evaporatore termico con target a doppio magnetron, ad alto vuoto, DST2-TG
Il rivestimento Sputter con target a doppio magnetron ad alto vuoto/ ThermalEvaporator-DST2-TG o il rivestimento Sputter con pompa Turbo a doppio target ed evaporatore termico, è un sistema di rivestimento all'avanguardia che unisce perfettamente l'evaporazione termica e il rivestimento Sputter in un'unica unità desktop compatta . Questa tecnologia versatile offre il controllo remoto del sistema tramite una comoda connessione Wi-Fi, consentendo agli utenti di gestire le operazioni senza sforzo tramite un touch screen intuitivo o il proprio PC.
Il DST2-TG, un sistema di rivestimento a sputtering magnetron da tavolo all'avanguardia, è dotato di una camera spaziosa (diametro di 300 mm) e due catodi raffreddati ad acqua da 2" di diametro, che lo rendono ideale per periodi di deposizione prolungati. Questo sistema versatile funge da piattaforma unica per lo sputtering, la deposizione di fibre di carbonio e l'evaporazione dei metalli.
Specificamente progettato per l'uso in glove box, il sistema di sputtering da tavolo può efficacemente polverizzare semiconduttori, dielettrici e target metallici. Gli utenti hanno la flessibilità di installare catodi di sputtering e navicelle di evaporazione termica in modo intercambiabile o simultaneo, consentendo l'accesso a un totale di tre sorgenti di deposizione.
Inoltre, la deposizione del carbonio è realizzabile mediante l'utilizzo di fibra di carbonio, ampliando la gamma di materiali di deposizione disponibili.
Questo sistema di rivestimento sotto vuoto ad alta precisione è progettato per essere semi-/completamente automatizzato, ed è dotato di un pannello touch-screen a colori da 7" di facile utilizzo per il controllo e la regolazione dei dati del processo di deposizione. L'interfaccia software intuitiva semplifica l'utilizzo. Gli utenti possono anche accedere alla finestra del pannello di controllo sul proprio PC tramite una connessione Wi-Fi.
Il sistema consente di monitorare i livelli di vuoto e le informazioni sulla sequenza di rivestimento, che possono essere visualizzate come dati digitali o curve sul touchscreen. Inoltre, gli ultimi 300 rivestimenti vengono salvati e accessibili nella pagina cronologica del sistema.
Prodotto: DST2-TG Touch Screen Vacuum Coater Il dispositivo di rivestimento a sputtering e l'evaporatore termico per applicazioni in glove box possono essere potenziati con funzionalità opzionali, tra cui:
- Alimentatore RF con scatola di adattamento autoregolabile per ridurre al minimo la potenza riflessa nel processo di sputtering RF.
- Pulitore al plasma per rimuovere efficacemente la materia organica dalla superficie del substrato prima della deposizione del film sottile.
- Fusione di un dispositivo di verniciatura a spruzzo e di un evaporatore termico progettati per il montaggio nel vano portaoggetti
- Dotato di una pompa turbomolecolare incorporata per prestazioni di vuoto efficienti
- Camera spaziosa con un diametro di 30 cm e un'altezza di 20-25 cm
- L'installazione del target è stata resa semplice e rapida; non è richiesto alcun supporto per il target
- Conduzione del calore migliorata facilitata dai bersagli con piastre di supporto
- Portacampioni progettato per la rotazione, favorendo un rivestimento uniforme
- Passanti KF40 montati sul vano portaoggetti per alimentatori (CC, RF, corrente elevata), tubo flessibile della pompa per vuoto, raffreddamento ad acqua, collegamenti argon/gas reattivo e collegamenti elettrici
- Controllo preciso dell'iniezione di gas tramite controllori di flusso di massa (MFC)
- Incorpora due sensori di spessore del cristallo di quarzo ad alta precisione per un monitoraggio accurato dello spessore del film
- I prodotti Vac Coat sono coperti a livello globale da un'assicurazione completa di responsabilità pubblica e di prodotto, che fornisce assicurazione contro danni materiali o lesioni personali derivanti dall'uso dei sistemi Vac Coat.
Funzionalità di automazione:
- Processo di rivestimento semi-completamente automatico (opzionale): Il sistema offre la flessibilità dei processi di rivestimento automatizzati o semiautomatici, consentendo agli utenti di scegliere il livello di automazione in base alle proprie esigenze.
- Immissione e archiviazione efficienti dei dati: Immissione rapida dei dati per i parametri del processo di deposizione, migliorando l'efficienza del flusso di lavoro. Archiviazione sicura dei dati del processo di deposizione per un facile recupero e consultazione.
- Controllo remoto del processo: Il processo di deposizione può essere controllato e monitorato da remoto tramite un PC tramite una connessione Wi-Fi, offrendo comodità e flessibilità.
- Conservazione delle ricette di rivestimento: Capacità di memorizzare ricette di rivestimento, consentendo la replica di processi di deposizione specifici per risultati coerenti e ripetibili.
- Otturatori elettronici: Incorporazione di otturatori elettronici per un controllo preciso del processo di rivestimento e per gestire l'esposizione del substrato durante la deposizione.
- Selezione automatizzata del catodo: Selezione automatizzata dei catodi, semplificando il processo e garantendo condizioni di deposizione ottimali in base ai requisiti del materiale.
Servizi opzionali:
- Sputtering RF per la deposizione di bersagli non conduttori (opzionale): Integrazione della capacità di sputtering RF per facilitare la deposizione di target non conduttori, ampliando la gamma di materiali che possono essere rivestiti.
- Pulitore al plasma (opzionale): Opzione per includere un pulitore al plasma per un'efficace rimozione della materia organica dalla superficie del substrato prima della deposizione del film sottile, garantendo un substrato pulito per una qualità di rivestimento superiore.
Progettato per funzionare in un ambiente ad alto vuoto, questo sistema è predisposto per depositare un'ampia gamma di materiali, rendendolo la scelta ideale per diverse applicazioni di rivestimento. Il rivestimento sputtering da tavolo con target a doppio magnetron offre la flessibilità di passare senza soluzione di continuità tra evaporazione e deposizione sputtering, facilitando la creazione di complessi rivestimenti multistrato.
Scopri l'eccellenza dell'efficienza e della precisione con DST2-TG, una soluzione all-in-one che rivoluziona i processi di rivestimento all'interno di un vano portaoggetti.
I sistemi di scatole a guanti creano un ambiente sicuro per materiali delicati, prevenendo l'esposizione all'aria, all'umidità e alle interazioni indesiderate. Il sistema di rivestimento ad alto vuoto DST2-TG integrato con un vano portaoggetti garantisce una manipolazione sicura e pulita dei substrati prima o dopo il processo di deposizione, il tutto all'interno di un'atmosfera di gas inerte. Questa configurazione fornisce un ambiente della camera controllato con precisione, consentendo la deposizione precisa di strati sottili ultra puri in condizioni di alto vuoto.
