Sistema di deposizione laser pulsato PLD
Sistema di deposizione laser pulsato PLD adattabile e sistema di evaporazione termica – PLD-T è un sistema avanzato di deposizione di film sottile ad alto vuoto che consente la deposizione di vari materiali utilizzando sia tecniche di deposizione laser pulsata che di evaporazione termica. Questo sistema è in grado di depositare materiali complessi e strutture cristalline su substrati con una configurazione minima richiesta.
La tecnica di deposizione laser pulsata facilita un'efficiente ablazione non termica, preservando la stechiometria dei materiali target. Utilizzando questo metodo, è possibile depositare materiali come nitruri, ossidi, superreticoli, polimeri e compositi.
Deposizione laser pulsata (PLD) – Consente il trasferimento preciso e stechiometrico di materiali complessi come ossidi, nitruri, polimeri e compositi.
Film sottili cristallini – Facilitano la deposizione di superreticoli e strutture cristalline avanzate per applicazioni nel settore dei semiconduttori e dell'optoelettronica.
Evaporazione termica – Supporta la deposizione di film sottili di metalli e dielettrici utilizzando sorgenti di evaporazione a barchetta, cestello o serpentina.
Preparazione dei campioni per microscopia elettronica a scansione (SEM) e microscopia elettronica a trasmissione (TEM) : produce rivestimenti di alta qualità per campioni non conduttivi e griglie di supporto.
Studi spettroscopici e strutturali – Fornisce film sottili uniformi adatti per EDS/WDS, EBSD e caratterizzazione ottica.
Ricerca e sviluppo nel campo dei film sottili : utili per la microelettronica, la nanotecnologia, i superconduttori e le indagini sulle celle solari.
Pulizia al plasma e preparazione del substrato : garantisce superfici prive di contaminazioni per una crescita di film sottili accurata e riproducibile.
Laboratori accademici e di ricerca : una piattaforma flessibile per la didattica, la formazione avanzata e i progetti di ricerca multidisciplinari.
- Manipolatore del bersaglio: Velocità di rotazione regolabile per un posizionamento preciso.
- Sorgenti termali: Tre sorgenti termiche con passante speciale per una maggiore funzionalità.
- Misurazione dello spessore in tempo reale: Sistema di monitoraggio del cristallo di quarzo con precisione di 1 nm per misurazioni accurate.
- Interfaccia intuitiva: Touch screen intuitivo per un facile controllo del processo di rivestimento e un rapido inserimento dei dati.
- Pulizia al plasma: Impianto per la pulizia al plasma per garantire una preparazione ottimale del substrato.
- Software aggiornabile: Software intuitivo che può essere aggiornato tramite la rete per migliorare le prestazioni.
- Gestione dei campioni: Dotato di portacampioni rotante e otturatore elettronico per una gestione efficiente dei campioni.
- Selezione Barca a Motore: Capacità di selezionare e movimentare i materiali dell'imbarcazione con funzionalità motorizzata.
- Riscaldamento del substrato: Riscaldatore del substrato a 500 °C per facilitare i processi di deposizione controllata.
- Garanzia e assicurazione: Garanzia di due anni sul sistema e copertura mondiale da parte di un'assicurazione di responsabilità pubblica e di prodotto per una maggiore protezione contro danni materiali o lesioni personali causati dai sistemi Vac Coat.
Sorgenti di evaporazione termica (barca/cestello/bobina):
Il sistema di deposizione laser pulsato è adattabile a tre fonti di evaporazione termica indipendenti e resistenti al calore, che possono essere sotto forma di barchette, cestelli o bobine. Queste fonti sono progettate per un'evaporazione efficiente del materiale senza causare il trasferimento di contaminazione ad altri materiali. La lunghezza dei supporti della sorgente è regolabile nell'intervallo da 5 a 10 cm, soddisfacendo le esigenze specifiche del cliente.
Manipolatore del bersaglio:
Il sistema PLD è dotato di un manipolatore multi-bersaglio attrezzato per gestire tre bersagli, ciascuno con un diametro di 2 cm. I target sono di dimensioni standard e tutti i manipolatori dei target sono motorizzati, consentendo la rotazione e il posizionamento precisi del target durante il processo di deposizione.
Controllo touch screen intuitivo con display vivace:
Il sistema di deposizione laser pulsato PLD-T è progettato con un touch screen a colori da 7 pollici di facile utilizzo, che fornisce un'interfaccia intuitiva per un facile controllo e monitoraggio. Il touch screen consente un controllo completamente automatico e un facile inserimento dei dati, rendendolo accessibile anche agli utenti con esperienza limitata.
Gli utenti possono comodamente osservare i livelli di vuoto, lo stato attuale e le informazioni sulla deposizione visualizzate sia in formato digitale che in curve grafiche direttamente sul touchscreen. Inoltre, il sistema include una pagina di cronologia in cui è possibile salvare e rivedere i dati degli ultimi 300 rivestimenti per riferimento e analisi. Questa funzionalità migliora l'efficienza e facilita un'esperienza utente fluida durante tutto il processo di rivestimento.
Queste specifiche delineano i componenti e le caratteristiche chiave del sistema di deposizione laser pulsata ed evaporatore termico, evidenziandone le capacità nel funzionamento con vuoto, nell'alimentazione, nel controllo del flusso di gas, nell'analisi dei dati e nella facilità d'uso.
Opzioni e accessori per PLD-T:
Fonti di evaporazione termica:
- Disponibile nelle configurazioni a barca, a cestello o a bobina per soddisfare le diverse esigenze di deposizione.
Riscaldatore del substrato:
- In grado di riscaldarsi fino a 500°C per facilitare il controllo preciso della temperatura del substrato durante la deposizione.
Materiali per fonti di evaporazione:
- Vari materiali compatibili con fonti di evaporazione termica, che consentono un'ampia gamma di scelte di materiali per la deposizione.
Sensori al cristallo di quarzo:
- Essenziale per il monitoraggio dello spessore in tempo reale con alta precisione utilizzando sensori a cristalli di quarzo.
Guarnizioni di tenuta:
- Guarnizioni progettate per una tenuta efficace, garantendo condizioni di ermeticità durante il processo di deposizione.
Queste opzioni e accessori migliorano la versatilità e la funzionalità del sistema PLD-T, consentendo processi di deposizione di film sottile su misura ed efficienti mantenendo al contempo precisione e controllo elevati.
Specifiche del sistema di deposizione laser pulsata e evaporatore termico:
Sistema di vuoto:
- Pompa turbomolecolare ad alto vuoto per un efficiente funzionamento del vuoto.
- Pompa di supporto a membrana per supportare il sistema del vuoto.
Misurazione del vuoto: manometro per la misurazione del vuoto con gamma completa per misurare con precisione i livelli di vuoto.
Misurazione dello spessore in tempo reale: sistema di monitoraggio con cristallo di quarzo con precisione di 1 nm per misurazioni accurate.
Alimentazione: Alimentatore ad alta corrente da 5 kW per un funzionamento efficiente.
Controllo del flusso di gas: misuratore di portata massica di precisione (MFC) per il controllo preciso dei flussi di gas.
Registrazione e analisi dei dati: possibilità di registrare e tracciare grafici dei parametri di rivestimento per un'analisi dettagliata.
Trasferimento dati: possibilità di trasferire curve e dati relativi al processo di deposizione a un PC tramite porta USB per ulteriori analisi e documentazione.
Utenze: Requisiti di alimentazione: 220V-240V, 50/60Hz, 16A.
Dimensioni: Dimensioni della scatola: 50 cm H x 60 cm L x 47 cm P.
Peso: Peso di spedizione: 70 kg.
