Evaporatore termico ad alto vuoto - DTE
L'evaporatore termico ad alto vuoto (DTE), o evaporatore termico da tavolo, è un sistema compatto ed economico progettato per depositare sottili strati di materiali su substrati. Viene utilizzato principalmente per scopi di ricerca e indagini tramite microscopia elettronica.
Il DTE è configurato come evaporatore di materiali, il che lo rende adatto per condurre esperimenti che prevedono l'evaporazione del campione. Questo sistema è dotato di una camera di piccole dimensioni e funziona in condizioni di alto vuoto, il che lo rende ideale per la deposizione rapida di metalli nobili e ossidanti.
- Film sottili metallici
- Nano e microelettronica
- Applicazioni delle celle solari
- Sensori a film sottile
- Deposizione strutturale a grana fine per la preparazione dei campioni SEM e FE-SEM
- Evaporazione della fibra di carbonio in modalità Flash per la preparazione del campione SEM
Evaporazione termica
Il DTE è dotato di un alimentatore ad alta corrente e di una piattaforma di evaporazione termica a bassa tensione (resistiva), che lo rende versatile per varie attività di evaporazione termica. Questo sistema consente un controllo preciso del processo di evaporazione termica di un'ampia gamma di materiali sul substrato. Ospita diverse tipologie di fonti di evaporazione termica, tra cui barchette, cestelli e serpentine, che possono essere montate su un unico portasorgente termica.
Il DTE è dotato di un alimentatore CC ad alta corrente da 1.2 kW, che gli consente di depositare uno strato sottile di materiale evaporante su diverse superfici. Questa funzionalità lo rende adatto a diverse applicazioni, inclusa la preparazione dei campioni SEM.
Hardware
- Controllo semiautomatico per l'evaporazione del materiale
- Dotato di un alimentatore CC dedicato ad alta corrente (massimo 12 V, 100 A)
- Camera a vuoto da 170 mm di diametro realizzata in borosilicato-SST
- Raggiunge un elevato livello di vuoto con una pompa turbo incorporata (Leybold 90 litri al secondo)
- Pompa rotativa a due stadi (disponibile pompa a membrana o scroll opzionale)
- Sistema di monitoraggio del cristallo di quarzo per una misurazione precisa dello spessore in tempo reale (precisione di 1 nanometro)
- Include un otturatore elettronico per un migliore controllo
- Dispone di due passanti elettrici ad alta corrente per un facile inserimento delle sorgenti termiche
- Viene fornito con un supporto mobile per la sorgente termica, che consente configurazioni di deposizione sia verso l'alto che verso il basso
- Dotato di valvola di sfiato automatica
- Include un vacuometro a gamma completa
- Dispone di un supporto per campioni S-Clip sul cavo della camera
- Portacampioni rotante opzionale da 2 pollici disponibile sulla piastra di base
- Fornisce rotazione, altezza e inclinazione del campione regolabili (da utilizzare con il portacampioni opzionale da 2 pollici)
- Supportato da una garanzia di due anni
Automazione
- Interfaccia touchscreen intuitiva per un facile controllo del processo del vuoto e della manipolazione del dispositivo.
- Software facile da usare che può essere aggiornato tramite la rete.
- Otturatore elettronico per un controllo preciso.
Vuoto pulito
- Camera a vuoto con un diametro esterno (OD) di 170 mm e un'altezza (H) di 140 mm.
- Il sistema DTE è dotato di una pompa turbomolecolare da 90 L/s montata internamente, opzionalmente supportata da una pompa rotativa a palette a due stadi da 6 m3/h.
Controllo Touch Screen
Il sistema DTE è dotato di un pannello touch-screen a colori da 7 pollici dotato di un software intuitivo per il controllo dei dati del processo di deposizione. Gli utenti possono visualizzare le informazioni sulla sequenza del vuoto e del rivestimento come dati digitali o curve visualizzate sul touch screen. Il sistema conserva anche i record degli ultimi 300 rivestimenti, a cui è possibile accedere dalla pagina della cronologia.

Portacampione
Il sistema di deposizione DTE offre flessibilità nell'evaporazione del metallo con due configurazioni distinte:
1. Deposizione verso l'alto:
- In questa configurazione, il materiale da evaporare viene caricato in una fonte in barca.
- Il campione è fissato saldamente alle clip a S situate sul cavo della camera, facilitando un facile accesso durante il processo di deposizione.
2. Deposizione verso il basso:
- Per la deposizione dal basso una piccola quantità del materiale desiderato viene caricata in un cestello.
- Facoltativamente, per questa configurazione è possibile utilizzare un portacampione rotante sulla piastra base.
Requisiti operativi del DTE
Il sistema di deposizione DTE è caratterizzato da una camera piccola, che offre vantaggi quali compattezza, design leggero, aspirazione rapida e funzionamento economico. Tuttavia, è importante considerare alcune note informative quando si utilizza questo dispositivo:
1. Ideale per rivestimenti a film sottile a breve termine:
- Il sistema DTE è particolarmente adatto per rivestimenti a film sottile a breve termine.
- Per deposizioni estese, a lungo termine o a strati spessi, è consigliabile prestare attenzione, poiché tali condizioni potrebbero potenzialmente avere un impatto sulla camera.
2. Adatto per materiali a bassa temperatura di vaporizzazione:
- Questo dispositivo è più efficace se utilizzato per la deposizione di materiali sorgente con basse temperature di vaporizzazione.
3. Limite massimo del diametro del campione:
- Si prega di notare che il diametro massimo del campione che può essere alloggiato con il supporto del substrato rotante non deve superare i 2 pollici.
Se queste condizioni di rivestimento non sono in linea con le vostre esigenze specifiche, vi consigliamo di esplorare il nostro modello DTT, che presenta una camera più grande da 300 mm di diametro e tre sorgenti termiche.
- Vuoto finale: inferiore a 4×10-6 Torr
- Processo di deposizione di breve durata
- Registra e traccia i parametri visualizzati sul touchscreen
- Trasferisce le curve e i dati del processo di deposizione tramite una porta USB al PC
- Alimentatore ad alta corrente CC 0-12 V, 0-100 A
- Utenze: 220V-110V, 50/60Hz, 6/8A
- Dimensioni dello strumento: 450 larghezza × 450 profondità × 500 altezza mm (senza rack)
- Peso netto: 30 kg (senza pompa di supporto)
Opzioni e accessori
Certamente, ecco le opzioni e gli accessori per il sistema di deposizione DTE:
- Sensore al cristallo di quarzo
- Camera in vetro di ricambio
- Guarnizioni di tenuta
- Barche e cestini



