Sputter Coater da tavolo con target a magnetrone singolo, ad alto vuoto, DST1-300
Il rivestimento Sputter da scrivania con target a magnetrone singolo e alto vuoto DST1-300 è un sistema di rivestimento versatile in grado di applicare rivestimenti su semiconduttori, dielettrici e metalli sia ossidanti che non ossidanti. Eccelle nella produzione di film sottili uniformi con dimensioni di grana fine in un tempo di ciclo breve.
Desk Carbon Coater DCR è un sistema di rivestimento compatto in fibra di carbonio adatto alla preparazione dei campioni per l'uso nel microscopio elettronico a scansione (SEM), nel microscopio elettronico a trasmissione (TEM) e nell'analisi a raggi X (EDX).
Questo dispositivo è disponibile in due formati:
- DCR è un rivestimento in carbonio con pompa rotativa adatto per la preparazione di campioni SEM, EDS/WDS e applicazioni a film sottile.
- DCT è un rivestimento in carbonio con pompa turbo ideale per applicazioni FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD e film sottile. Questo dispositivo di rivestimento ad alto vuoto offre pellicole di carbonio uniformi di alta qualità con granulometrie fini, adatte per campioni che richiedono un'alta risoluzione e una caratterizzazione di alta qualità.
- Pompa turbomolecolare per alto vuoto
Velocità di pompaggio | 90 l / s | 350 l / s |
Massima pressione | 7 x10-6 Torr | 7×10-7 Torr |
- Pompa rotativa a palette a due stadi come pompa di prevuoto
- Vacuometro a scala completa (Leybold)
- Misuratore di spessore del cristallo di quarzo ad alta precisione
- Alimentatore CC da 600 W
- Interfaccia touchscreen intuitiva per un facile controllo del processo di rivestimento e un rapido inserimento dei dati
- Software intuitivo con funzionalità di aggiornamento di rete
- Funzionalità di controllo per regolare la velocità di rivestimento per ottenere strutture a grana più fine
- Offre opzioni di sputtering sia manuale che automatico, temporizzato e a spessore
- Capacità di sputtering GLAD (Glancing Angle Deposition).
- Funzionalità di pulizia al plasma
- Possibilità di registrare e tracciare grafici dei parametri di rivestimento
- Dotato di otturatore elettronico
- Tavolini portacampione facilmente intercambiabili, con tavolino rotante incluso di serie
- Supportato da una garanzia di due anni
- I prodotti Vac Coat sono coperti a livello globale da un'assicurazione di responsabilità civile e di prodotto, garantendo protezione in caso di danni materiali o lesioni personali causati dai sistemi Vac Coat.
Controllo touch screen con display colorato
Il DST1-300 è dotato di un'interfaccia touchscreen a colori da 7 pollici intuitiva con controllo completamente automatico e funzionalità di immissione dati, rendendolo accessibile anche agli utenti meno esperti. Attraverso questo touchscreen, gli utenti possono utilizzare facilmente il sistema e visualizzare i livelli di vuoto, i valori correnti e le informazioni sulla deposizione, sia in formato digitale che in forma di curve grafiche.
Inoltre, il sistema è in grado di memorizzare informazioni relative agli ultimi 300 rivestimenti, a cui è possibile accedere facilmente nella pagina della cronologia per riferimento.
Vuoto pulito
La camera a vuoto è realizzata in Pyrex cilindrico e ha dimensioni di 300 mm di diametro esterno (OD) e 200 mm di altezza (H). Il DST1-300 è dotato di una pompa turbomolecolare da 90 l/s montata internamente, supportata da una pompa rotativa a due stadi. Questa configurazione garantisce un ambiente di vuoto pulito, esente dalla contaminazione dell'olio comunemente associata alle normali pompe a diffusione.
La spaziosa camera del DST1-300, disponibile con magnetron da 2, 3 o 4 pollici e catodo raffreddato ad acqua, è adatta per rivestire campioni di grandi dimensioni con diametro fino a 15 cm o più campioni più piccoli con diametri simili. Il suo tempo di sputtering illimitato lo rende ideale per la deposizione di strati spessi.
Dotato di un alimentatore CC da 600 W e di un alimentatore RF opzionale da 300 W con una scatola di abbinamento automatico, questo dispositivo di rivestimento a target singolo offre flessibilità. Il sistema ad alto vuoto consente la deposizione di un'ampia gamma di materiali su varie superfici, soddisfacendo le applicazioni su film sottile, tra cui la micro e nanoelettronica e la preparazione dei campioni SEM.
Il Magnetron Sputter Coater modello DST1-300 è un sistema di rivestimento versatile in grado di applicare rivestimenti a semiconduttori, dielettrici e metalli sia ossidanti che non ossidanti. Eccelle nella produzione rapida di film sottili uniformi con dimensioni a grana fine.
La spaziosa camera DST1-300, disponibile con opzioni magnetron da 2, 3 o 4 pollici e un catodo raffreddato ad acqua, è ideale per rivestire campioni di grandi dimensioni con diametro fino a 15 cm o più campioni più piccoli di dimensioni simili.
Con un tempo di sputtering illimitato, è particolarmente adatto per depositare strati spessi. Il dispositivo di rivestimento a target singolo è dotato di un alimentatore CC da 600 W e offre un alimentatore RF opzionale da 300 W con una scatola di abbinamento automatico per una maggiore flessibilità.
Il sistema ad alto vuoto può depositare un'ampia gamma di materiali su diverse superfici, rendendolo adatto per applicazioni a film sottile come la micro e nanoelettronica, nonché per la preparazione dei campioni SEM.
Questo sistema è adatto a varie applicazioni, tra cui:
- Deposizione di film metallici, semiconduttori e dielettrici
- Applicazioni nano e microelettroniche
- Produzione di celle solari
- Rivestimento di componenti ottici
- Sviluppo di sensori a film sottile
- Produzione di dispositivi magnetici a film sottile
- Applicazioni nella memoria del computer
- Ottenimento di deposizione strutturale a grana fine per la preparazione dei campioni SEM e FE-SEM
Offre versatilità in una vasta gamma di settori e aree di ricerca.
Opzioni e accessori
- Tensione di polarizzazione del substrato
- Generatore RF e scatola di abbinamento automatico
- Riscaldatore del substrato (fino a 500°C)
- Sensore al cristallo di quarzo
- Camera di vetro cilindrica a vuoto di ricambio
- Sistema di evaporazione termica con una fonte
- Bersagli sputacchianti
- Guarnizioni di tenuta