Sputter da tavolo ad alto vuoto e rivestimento in carbonio - DSCT
Lo sputter da tavolo e il rivestimento in carbonio ad alto vuoto - DSCT è progettato come uno strumento versatile che combina sia le capacità di rivestimento a spruzzo che quelle di rivestimento in fibra di carbonio con testine intercambiabili. È particolarmente adatto per la preparazione di campioni per l'analisi al microscopio elettronico a scansione (SEM).
Microscopia elettronica a scansione (SEM) – Prepara campioni non conduttivi con rivestimenti conduttivi per l'imaging ad alta risoluzione.
Microscopio elettronico a scansione a emissione di campo (FE-SEM) – Produce rivestimenti ultrafini e uniformi, essenziali per analisi superficiali avanzate ad alta risoluzione.
Analisi EDS/WDS – Applica rivestimenti di carbonio privi di contaminazioni, ideali per studi elementari e compositivi accurati.
Microscopia elettronica a trasmissione (TEM) – Consente di creare pellicole di carbonio sottili e uniformi per le griglie di supporto dei campioni e per la preparazione degli stessi.
Diffrazione di elettroni retrodiffusi (EBSD) – Fornisce rivestimenti stabili e conduttivi che migliorano la qualità del modello di diffrazione.
Ricerca sui film sottili – Supporta la deposizione di vari materiali, inclusi metalli nobili, carbonio e persino materiali difficili da trattare come tungsteno e cromo.
Campioni porosi e fragili : consente di ottenere rivestimenti uniformi grazie alle fasi di rotazione planetaria opzionali, che proteggono le strutture delicate.
Laboratori accademici e di ricerca : il versatile sistema a doppia modalità lo rende adatto all'insegnamento, alla formazione e all'uso nella ricerca multi-applicativa.
Hardware:
- Alto livello di vuoto con pompa turbo incorporata 90 L/s (Leybold)
- Pompa di supporto rotativa a palette a due stadi (pompa a membrana e scroll)
- Alimentatore CC a commutazione sputtering da 80 W
- Testa di evaporazione in fibra di carbonio
- Alimentatore CC in fibra di carbonio ad alta corrente da 500 W
- Monitor dello spessore del cristallo di quarzo con precisione di 1 nm e risoluzione di 1 Å
- Vacuometro a scala completa (Leybold)
- Valvola di sfiato automatica
- Rotazione, altezza e inclinazione del campione regolabili
- Portacampioni planetario (opzionale)
- Otturatore elettronico
- Tavolini portacampione facili da sostituire (tavolo rotante di serie)
- Due anni di garanzia
- Conformità CE
Automazione:
- Controllo semi-completo automatico dello sputtering
- Controllo automatico semi-completo del rivestimento in carbonio
- Touch screen intuitivo per controllare il processo di rivestimento e inserire rapidamente i dati
- Software facile da usare, aggiornabile via rete
- Processo di rivestimento ripetibile e programmabile in modalità automatica
- Modalità di rivestimento in fibra di carbonio pulsata o flash
- Deposizione temporizzata e a spessore manuale o automatica
- Rivestimento in fibra di carbonio in modalità flash o pulsata
- Registra e traccia grafici dei parametri di rivestimento
- Memorizzazione di ricette di rivestimento per deposizioni ripetibili
Evaporazione del carbonio del DSCT
Il sistema di rivestimento di dimensioni ridotte, modello DSCT, possiede la capacità di creare film sottili uniformi con grana fine su varie superfici attraverso il rivestimento in carbonio. Ciò si ottiene utilizzando la fibra di carbonio (o in alternativa, un'asta di carbonio). Il processo prevede il passaggio di una corrente elettrica attraverso la fibra di carbonio, operando in modalità pulsata o flash. Ciò si traduce nell'evaporazione controllata del carbonio, che viene poi depositato sul campione. In particolare, questo metodo riduce la generazione di detriti tipicamente associati ai tradizionali processi di deposizione di carbonio.
Evaporazione Pulsata della Fibra di Carbonio
Lo sputter sottovuoto da tavolo a camera piccola e il rivestimento in carbonio sono attrezzati per effettuare l'evaporazione pulsata della fibra di carbonio. Questo metodo utilizza impulsi brevi, consentendo un controllo più preciso sul processo di deposizione e determinando una significativa riduzione della generazione di detriti tipicamente associati alle tradizionali tecniche di deposizione del carbonio.
Fasi portacampioni
Il DSCT offre flessibilità nelle configurazioni del palco campione, soddisfacendo le esigenze specifiche degli utenti. Il tavolino portacampioni standard è progettato per essere ruotabile con altezza e angolazione regolabili, garantendo facilità d'uso e versatilità. Per coloro che necessitano di un rivestimento uniforme di campioni porosi, è disponibile e consigliato un tavolino portacampioni planetario rotante opzionale.
Controllo touch screen con display colorato
Il DSCT, noto come Desk SEM Coater, presenta un'interfaccia intuitiva con un touch screen a colori da 7 pollici. Questa interfaccia offre un controllo automatico completo e un inserimento dati semplificato, rendendola eccezionalmente facile da utilizzare. Gli utenti possono monitorare parametri cruciali come vuoto, corrente e deposizione, presentati come dati digitali o curve grafiche direttamente sul touch screen. Inoltre, il dispositivo memorizza le informazioni degli ultimi 300 rivestimenti nel suo registro cronologico e questi dati possono essere comodamente trasferiti a un PC utilizzando la porta USB integrata.
Questo dispositivo di rivestimento ad alto vuoto eccelle nella produzione di pellicole uniformi con granulometria fine, rendendolo ideale per i campioni che richiedono caratterizzazione ad alta risoluzione e alta qualità, comprese le applicazioni FE-SEM, EDS/WDS, TEM ed EBSD. Dotato di un catodo magnetron da 2 pollici, un alimentatore CC a commutazione da 80 W e un alimentatore ad alta corrente per l'evaporazione del carbonio, il DSCT trova utilità in varie applicazioni di ricerca e di film sottile.
Inoltre, il DSCT può essere facoltativamente configurato con un catodo raffreddato ad acqua, migliorandone l'idoneità per la deposizione sputtering prolungata. Inoltre, può essere dotato di un alimentatore ad alta potenza per facilitare lo sputtering di materiali come cromo, tungsteno e altri bersagli metallici ossidanti.
- Vuoto finale: inferiore a 5 x 10^-6 Torr
- Controlla la velocità di sputtering per ottenere una struttura a grana più fine, in genere con una dimensione della grana dell'oro di circa 2 nm.
- Regola automaticamente la potenza di sputtering indipendentemente dalla pressione.
- Il misuratore di portata massica di precisione (MFC) viene utilizzato per il controllo preciso della pressione del vuoto.
- Utenze: 220/110V, 50/60HZ, 10/15A
- Peso di spedizione: 42kg
Opzioni e accessori
- Testa di evaporazione in asta di carbonio
- Alimentatore ad alta corrente per asta in carbonio
- Sensore al cristallo di quarzo
- Sistema di rotazione planetaria del campione
- Camera in vetro di ricambio
- Bersagli sputacchianti
- Fibra di carbonio
- Guarnizioni di tenuta