Sputter da tavolo e rivestimento in carbonio – DSCR-300
Il Desk Sputter e il Desk Sputter & Carbon Coater a camera grande – DSCR-300, dotati di catodi magnetron raffreddati ad acqua da 3 o 4 pollici, fungono da sistema di rivestimento compatto che offre sia funzionalità di sputtering che di rivestimento al carbonio.
Questo sistema è ideale per il rivestimento di campioni di grandi dimensioni, con diametri fino a 12 cm utilizzando un magnetron da 3 pollici o 15 cm con un magnetron da 4 pollici. Inoltre, può gestire più campioni più piccoli con diametri simili. I magnetron raffreddati ad acqua sono progettati per prolungare il tempo di sputtering, rendendolo ideale per la deposizione di strati sia spessi che sottili, a seconda delle esigenze di diverse applicazioni.
Applicazioni di sputtering e rivestimento in carbonio
- Deposizione strutturale a grana fine di metalli nobili adatta per la preparazione dei campioni SEM e FE-SEM
- Creazione di strati conduttivi
- Facile da usare
- Software intuitivo con supporto sia per il controllo completamente automatico che semiautomatico
- Interfaccia touchscreen intuitiva per un controllo continuo del processo di rivestimento e un rapido inserimento dei dati
- Comodo carico e scarico dei campioni
- Garantisce deposizioni ripetibili dello spessore del film
- Ottiene rivestimenti precisi e riproducibili
- In grado di produrre rivestimenti fini ad alta risoluzione (con un ordine di granulometria di 2 nm per l'oro)
- Sputtering a bassa tensione
- Sputtering GLAD (deposizione ad angolo di sguardo).
- Pulizia al plasma
- Nessun sistema di raffreddamento richiesto per strati sottili
- Offre rivestimento in carbonio sia in modalità flash che a impulsi
- Utilizza doppia fibra di carbonio per la deposizione di strati più spessi
- Coperto da una garanzia di due anni per la massima tranquillità
- Conformità CE, garantendo il rispetto degli standard di sicurezza
- Copertura mondiale per l'assicurazione di responsabilità civile e di prodotto, che fornisce protezione in caso di danni materiali o lesioni personali causati dai sistemi Vac Coat.
Fasi del campione
Il grande Desk Sputter e Carbon Coater offre flessibilità nelle configurazioni del palco campione, adattandosi a dimensioni fino a 15 cm, a seconda delle esigenze specifiche dell'utente. Questi tavolini portacampioni sono progettati con funzionalità di rotazione, impostazioni di altezza regolabili e facile intercambiabilità per una maggiore comodità.
Preparazione del campione SEM
Nelle applicazioni SEM (microscopio elettronico a scansione), è spesso necessario preparare campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi prima di condurre la microscopia SEM. I metodi standard per la preparazione di questo campione prevedono la deposizione per sputtering e l'evaporazione del carbonio. Il nostro sistema offre opzioni di automazione complete, garantendo che anche i principianti possano utilizzarlo con facilità. Inoltre, il nostro software intuitivo fornisce rappresentazioni grafiche delle informazioni sulla deposizione, rendendole accessibili ed economiche.
Testa di rivestimento in carbonio
Il dispositivo è dotato di una testa intercambiabile progettata per scopi di rivestimento in carbonio. La sua capacità unica di caricare tre fibre di carbonio, ciascuna con un diametro di 0.8 mm, consente la deposizione di strati di carbonio su campioni di grandi dimensioni, particolarmente adatti per applicazioni che coinvolgono la spettroscopia a raggi X a dispersione di energia (EDX).
Controllo touch screen con display colorato
Il DSCR-300 è dotato di un touchscreen a colori da 7 pollici che offre funzionalità complete di controllo automatico e immissione dati, rendendolo accessibile anche agli utenti inesperti. Sul touchscreen, gli utenti possono monitorare comodamente i livelli di vuoto, le letture attuali e le informazioni sulla deposizione, che possono essere visualizzate come dati digitali o in formati di curve grafiche. Inoltre, il sistema ha la capacità di memorizzare i dati relativi agli ultimi 300 rivestimenti, a cui è possibile accedere facilmente tramite la pagina della cronologia come riferimento.
Il modello DSCR-300 di Desk Sputter Coater offre versatili capacità di deposizione su vari substrati, rendendolo adatto ad applicazioni di film sottili in settori quali la micro e nanoelettronica, nonché alla preparazione di campioni SEM.
È in grado di spruzzare metalli nobili, tra cui oro (Au), palladio (Pd), platino (Pt) e oro/palladio (Au/Pd), su campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi. Inoltre, il sistema DSCR-300 è in grado di applicare film di carbonio.
Si noti che per lo sputtering di metalli ossidanti è necessaria l'installazione di una pompa turbomolecolare che può essere aggiunta al sistema DSCT-300 o DSCT-170. Il DSCR è un dispositivo di rivestimento con pompa rotativa che può essere configurato sia per lo sputtering DC che per il rivestimento (filo) di fibra di carbonio con teste intercambiabili, il tutto integrato in un unico strumento.
- Dimensioni della camera: camera del cilindro Pyrex da 300 mm di diametro esterno x 150 mm
- Dimensioni: 58 cm di altezza x 50 cm di larghezza x 63 cm di profondità
- Opzioni catodo magnetron: 3 o 4 pollici
- Peso della spedizione: 42 kg
- Alimentazione: 220V-240V, 50/60Hz, 10A
- Uscita alimentatore CC: 200 Watt
- Vuoto finale: meno di 5*10^-2 Torr
- Trasferimento dati: le curve e i dati del processo di sputtering possono essere trasferiti a un PC tramite la porta USB
- Pompa per vuoto: Pompa rotativa a palette a due stadi, azionamento diretto, 12 m^3/h
- Vacuometro: vacuometro a termocoppia
- Misuratore di spessore del cristallo di quarzo: precisione di 1 nm
- Valvola di sfiato automatica
- Memorizzazione dei dati: capacità di salvare i dati degli ultimi 300 rivestimenti
- Peso della pompa a vuoto: 20 kg
Opzioni e accessori
- Sensore al cristallo di quarzo
- Camera in vetro di ricambio
- Bersagli sputacchianti
- Guarnizioni di tenuta
- Testa di evaporazione in asta di carbonio
- Alimentatore ad alta corrente per asta in carbonio
- Fibra di carbonio