Lò ủ chân không
Lò ủ chân không - Lò ủ ToronVF™
Lò ủ chân không cao ToronVF™ Anneal dùng để ủ nhiệt, nung, làm nguội và xử lý nhiệt ở nhiệt độ từ 50 đến 700 °C. Lò được điều khiển bằng PID bên trong buồng chân không SS304 đạt áp suất cơ bản 10⁻⁷ Torr với tốc độ gia nhiệt có thể điều chỉnh từ 1 đến 20 °C/phút. Tốc độ làm nguội và làm nguội nhanh lên đến ±50 °C/phút hỗ trợ các chu kỳ xử lý nhiệt nhanh cho các chương trình xử lý nhiệt cần độ chính xác cao về thời gian. Một cấu hình PID 10 bước có thể lập trình, mở rộng lên đến 40 bước, điều khiển mỗi chu kỳ nhiệt với các thông số điểm đặt, độ dốc và giữ nhiệt độc lập.
Buồng chân không SS304 được đánh bóng điện hóa cung cấp bề mặt sạch cho các ứng dụng ủ nhạy cảm với ô nhiễm, với hệ thống chân không phạm vi rộng từ 1000 đến 10⁻⁹ Torr. Bơm turbomolecular và bơm cơ học là tiêu chuẩn, đạt đến 10⁻⁶ Torr trong 30 phút, với bơm khô có sẵn như một tùy chọn. Các van cách ly cho phép nạp lại khí Ar hoặc N₂ vào buồng theo yêu cầu, và chức năng bảo vệ chống mất điện giữ cho buồng luôn ở trạng thái chân không khi hệ thống không hoạt động. Thời gian chu kỳ nhanh hỗ trợ từ hai đến ba thí nghiệm mỗi ngày tùy thuộc vào khối lượng tải.
Thể tích làm việc có thể điều chỉnh từ 1 đến 3 m³ để phù hợp với các kích thước mẻ và cấu hình tải khác nhau. Các đầu vào khí đo lưu lượng khối tùy chọn cho Ar, N₂, O₂, He và các loại khí khác cho phép xử lý trong môi trường được kiểm soát cùng với các ứng dụng ủ chân không và nung. Tùy chọn máy phân tích khí dư 100 amu xác định các chất thoát khí và giám sát độ sạch của buồng trước và trong quá trình xử lý nhiệt. Kích thước 75×120 cm trên bánh xe có khóa và bảng điều khiển màn hình cảm ứng với điều khiển LCD thời gian thực hoàn thiện hệ thống.
Lò ủ chân không - Ứng dụng ủ ToronVF™
Thiết bị ủ nhiệt ToronVF™ phục vụ các cơ sở nghiên cứu và sản xuất yêu cầu xử lý nhiệt sạch, không bị oxy hóa đối với các vật liệu kim loại, gốm sứ và bán dẫn, nơi mà các lò nung khí quyển có thể gây ra hiện tượng oxy hóa bề mặt, đóng cặn hoặc các phản ứng pha không mong muốn. Chế độ nung nóng nhanh, khả năng làm nguội đột ngột, tùy chọn kiểm soát khí quyển và các cấu hình đa bước có thể lập trình phù hợp với nhiều chương trình xử lý nhiệt khác nhau.
- Ủ chân không và giảm ứng suất: Xử lý nhiệt kim loại, hợp kim và chất bán dẫn ở nhiệt độ từ 50 đến 700 °C trong môi trường chân không cao để giảm ứng suất, tái kết tinh và tăng trưởng hạt mà không gây oxy hóa bề mặt hoặc nhiễm bẩn.
- Xử lý vật liệu từ tính: Ủ chân không nam châm vĩnh cửu, hợp kim từ mềm và kim loại vô định hình để phát triển tính chất từ, điều chỉnh lực kháng từ và giảm tổn hao trễ từ.
- Làm nguội chân không và xử lý nhiệt nhanh: Làm nguội nhanh với tốc độ lên đến ±50 °C/phút để tạo thành mactenxit, quản lý austenit còn lại và giữ lại pha không bền trong hệ hợp kim.
- Nung nóng và khử khí các linh kiện chân không: Nung nóng ở nhiệt độ cao các buồng chân không, điện cực, đường dẫn và các bộ phận để loại bỏ nước và hydrocarbon đã hấp phụ trước khi lắp ráp hoặc sử dụng.
- Loại bỏ hydro và khử hydro: Ủ chân không để loại bỏ khí hydro khỏi titan, zirconi, thép và các vật liệu dễ bị ảnh hưởng bởi hydro khác sau các quá trình mạ điện, tạo hình hoặc ghép nối.
- Ủ nhiệt sau lắng đọng màng mỏng và chất bán dẫn: Ủ chân không các mẫu màng mỏng để kích hoạt chất pha tạp, cải thiện độ kết tinh và giảm mật độ khuyết tật giao diện trong nghiên cứu thiết bị bán dẫn và quang điện.
- Nghiên cứu về biến đổi pha và thiêu kết: Chu trình nhiệt chân không đa bước có thể lập trình được dùng cho nghiên cứu giản đồ pha, nghiên cứu phản ứng trạng thái rắn và các chương trình thiêu kết gốm hoặc luyện kim bột.
Lò ủ chân không - Các tính năng chính của lò ủ ToronVF™
Hệ thống ToronVF™ Anneal tích hợp lò chân không cao cấp điều khiển PID, cấu hình nhiệt đa bước có thể lập trình, khả năng làm nguội nhanh, phân tích khí dư tùy chọn và điều khiển máy tính tự động trong một nền tảng xử lý nhiệt chân không có khả năng mở rộng với thể tích làm việc có thể điều chỉnh từ 1 đến 3 m³.
- Lò chân không điều khiển PID từ 50 đến 700 °C: Kiểm soát nhiệt độ chính xác bên trong buồng chân không SS304 để xử lý nhiệt sạch mà không bị nhiễm bẩn từ môi trường.
- Hồ sơ nhiệt độ PID có thể lập trình (10 đến 40 bước): Điều khiển chu trình nhiệt nhiều bước với điểm đặt, tốc độ tăng nhiệt và thời gian giữ nhiệt độc lập cho mỗi bước, phù hợp với các lịch trình ủ và xử lý nhiệt phức tạp.
- Tốc độ gia nhiệt có thể điều chỉnh (1 đến 20 °C/phút)Tốc độ tăng nhiệt do người vận hành lựa chọn thích ứng với khối lượng nhiệt của vật liệu, yêu cầu chuyển pha và độ nhạy của quy trình.
- Làm nguội nhanh và làm lạnh đột ngột ở tốc độ ±50 °C/phút: các chuyển đổi nhiệt tốc độ cao cho quá trình tôi cứng mactenxit, hình thành pha không bền vững và các ứng dụng xử lý nhiệt nhạy cảm với biến đổi pha.
- Thể tích làm việc có thể điều chỉnh từ 1 đến 3 m³Thể tích buồng có thể cấu hình phù hợp với các kích thước lô và cấu hình tải khác nhau trong các chương trình nghiên cứu và sản xuất.
- Áp suất cơ bản 10⁻⁷ Torr, tăng lên 10⁻⁶ Torr trong 30 phút.: Sự kết hợp giữa bơm turbomolecular và bơm cơ học với khả năng hút chân không nhanh chóng để hỗ trợ chu trình hiệu quả
- Bơm tuabin phân tử và bơm cơ khí (Tùy chọn bơm khô)Cấu hình bơm tiêu chuẩn tạo ra chân không cơ bản để ủ sạch; tùy chọn bơm khô có sẵn cho các yêu cầu hệ thống không dầu.
- Điều khiển áp suất chân không phạm vi rộng (1000 đến 10⁻⁹ Torr): Hệ thống đo và điều khiển chân không tích hợp từ áp suất khí quyển đến chân không sâu cho tất cả các chế độ quy trình
- Máy phân tích khí dư 100 amu (tùy chọn): Giám sát thành phần các chất thoát khí trong quá trình nung và ủ để xác định nguồn ô nhiễm và kiểm chứng quy trình
- Đầu vào khí tùy chọn cho lưu lượng kế khối lượng (Ar, N₂, O₂, He)Khả năng kiểm soát môi trường cho quá trình làm nguội bằng khí, lấp đầy bằng khí trơ và xử lý hỗ trợ khí quyển cùng với các chế độ ủ chân không.
- Van cách ly với buồng nạp khí Ar hoặc N₂: môi trường được kiểm soát sau quá trình ủ để làm nguội trong môi trường trơ, làm nguội bằng khí hoặc đáp ứng các yêu cầu về môi trường xử lý sau cụ thể.
- Chức năng bảo vệ khi mất điện kèm giữ chân không.Van cách ly duy trì chân không trong buồng khi mất điện, bảo vệ các mẫu nhạy cảm và giữ gìn môi trường quy trình.
- Chu kỳ thí nghiệm nhanh (2 đến 3 thí nghiệm mỗi ngày)Thiết kế chu trình và khả năng hút chân không nhanh cho phép thực hiện nhiều lần xử lý nhiệt mỗi ngày tùy thuộc vào khối lượng hàng hóa.
- Buồng chân không SS304 được đánh bóng điện hóaBề mặt buồng sạch, ít thoát khí giúp giảm nguy cơ ô nhiễm cho các quy trình ủ nhiệt độ cao.
- Hệ thống làm mát bằng nước khép kín (khi cần thiết)Quản lý nhiệt độ của lò nung và các bộ phận buồng đốt trong quá trình vận hành ở nhiệt độ cao liên tục.
- Hệ thống điều khiển tự động hoàn toàn bằng máy tính với màn hình cảm ứng và bảng điều khiển LCD.Tất cả các thông số nhiệt độ, áp suất và quy trình được quản lý tự động với giám sát thời gian thực trong suốt mỗi chu kỳ xử lý nhiệt.
- Bệ đỡ di động 75×120 cm có bánh xe khóa đượcKích thước nhỏ gọn, dễ dàng bố trí trong phòng thí nghiệm và khu vực sản xuất.
- Bảo hành hai năm cho thiết kế, vật liệu và chất lượng thi công.: Phạm vi phủ sóng mở rộng phù hợp với định vị của hệ thống như một khoản đầu tư nghiên cứu và sản xuất dài hạn
Lý thuyết và Phương pháp
Ủ chân không nung nóng vật liệu trong điều kiện áp suất thấp, sử dụng sự vắng mặt của oxy và các khí phản ứng để ngăn ngừa quá trình oxy hóa bề mặt và nhiễm bẩn xen kẽ trong quá trình xử lý nhiệt. Ở áp suất dưới 10⁻⁵ Torr, nồng độ khí dư không đủ để làm nhiễm bẩn bề mặt vật liệu, bảo toàn thành phần hóa học bề mặt và cho phép khuếch tán ranh giới hạt để phát triển cấu trúc vi mô. Các ứng dụng bao gồm giảm ứng suất, tái kết tinh, khử khí hydro, chuyển pha và phát triển tính chất từ tính. Việc bổ sung khí Ar hoặc N₂ được kiểm soát sau khi ủ điều chỉnh tốc độ làm nguội để chuyển pha hoặc làm nguội nhanh có kiểm soát.
Bộ điều khiển PID lập trình được, có thể mở rộng lên đến 40 bước, điều khiển từng chu kỳ ủ với điểm đặt, tốc độ gia nhiệt và thời gian giữ nhiệt độc lập cho mỗi bước. Tính linh hoạt nhiều bước cho phép thực hiện các quy trình phức tạp, bao gồm ủ nhiều giai đoạn với nhiệt độ giữ trung gian, quá trình giảm ứng suất và trình tự làm nguội được kiểm soát. Làm nguội nhanh với tốc độ lên đến ±50 °C/phút cho phép chuyển đổi nhiệt nhanh để hình thành mactenxit, bẫy pha không bền và các quá trình nhạy cảm với biến đổi. Tốc độ gia nhiệt có thể điều chỉnh từ 1 đến 20 °C/phút bổ sung cho khả năng làm nguội nhanh để kiểm soát chu kỳ nhiệt chính xác.
Quá trình nung ở nhiệt độ lên đến 700 °C giúp loại bỏ nước, dung môi và hydrocarbon khỏi bề mặt và các bộ phận của buồng, làm giảm áp suất nền hiệu dụng. Bơm turbomolecular liên tục loại bỏ các chất đã được loại bỏ trong suốt chu trình nhiệt, cải thiện độ sạch của buồng sau mỗi lần nung. Một máy phân tích khí dư 100 amu tùy chọn sẽ giám sát các chất thoát ra và xác nhận độ sạch của buồng trước các quy trình nhạy cảm tiếp theo. Hệ thống chân không được hoàn thiện bằng khả năng đo chân không phạm vi rộng từ 1000 đến 10⁻⁹ Torr và van cách ly bảo vệ.
Lò ủ chân không - Thông số kỹ thuật lò ủ ToronVF™
| Tham số | Đặc điểm kỹ thuật |
|---|---|
| Phạm vi nhiệt độ lò nung | 50 đến 700 ° C |
| Kiểm soát nhiệt độ | PID |
| Độ nóng | Tăng nhiệt độ từ 1 đến 20 °C/phút (có thể điều chỉnh) |
| Tốc độ làm nguội/làm lạnh | Tốc độ lên đến ±50 °C/phút |
| Hồ sơ nhiệt độ | Bộ điều khiển PID lập trình 10 bước (có thể mở rộng lên 40 bước) |
| áp lực cơ sở | 10⁻⁷ Torr |
| Áp suất chân không khi vận hành (Thời gian hút chân không) | 10⁻⁶ Torr trong 30 phút |
| Phạm vi kiểm soát chân không | 1000 đến 10⁻⁹ Torr |
| Phòng Vật liệu | Thép không gỉ loại 304; được đánh bóng điện hóa |
| Khối lượng làm việc | 1 đến 3 m³ (có thể điều chỉnh) |
| Cấu hình máy bơm | Hệ thống tuabin phân tử + Cơ khí (bơm khô là tùy chọn) |
| Đầu vào khí đốt (Tùy chọn) | Được điều khiển bằng MFM; Ar, N₂, O₂, He và các chất khác |
| Nạp lại buồng | Ar hoặc N₂ (thông qua van cách ly) |
| Máy phân tích khí dư (Tùy chọn) | 100 amu |
| Hệ thống làm lạnh | Hệ thống làm mát bằng nước khép kín (khi cần thiết) |
| Bảo vệ mất điện | Đúng vậy; van cách ly duy trì chân không. |
| Hệ thống điều khiển | Hệ thống điều khiển hoàn toàn tự động bằng máy tính; màn hình cảm ứng; màn hình LCD hiển thị thời gian thực. |
| Thông lượng thí nghiệm | Từ 2 đến 3 lần mỗi ngày (tùy thuộc vào khối lượng hàng hóa) |
| Dấu chân | 75 x 120 cm |
| Di động | Bánh xe có khóa |
| Chính sách bảo hành | 2 năm (thiết kế, vật liệu và thi công) |