Máy phủ carbon và thiết bị bay hơi nhiệt được bơm Turbo – DCT-T-300
Máy phủ carbon và thiết bị bay hơi nhiệt được bơm Turbo – DCT-T-300 được trang bị buồng lớn, khiến nó trở nên hoàn hảo để chuẩn bị mẫu cho phân tích FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD và các ứng dụng màng mỏng. Máy phủ này hoạt động trong điều kiện chân không cao, đảm bảo lắng đọng các màng cacbon và kim loại đồng nhất với kích thước hạt mịn. Những tính năng này làm cho nó trở nên lý tưởng cho các mẫu vật đòi hỏi đặc tính có độ phân giải cao và chất lượng cao.
Máy phủ carbon và thiết bị bay hơi nhiệt được bơm Turbo – DCT-T-300 có buồng hình trụ có đường kính 300 mm, cho phép lắng đọng lâu dài trên các mẫu có đường kính lên tới 15 cm hoặc nhiều mẫu nhỏ. Quy trình phủ carbon có thể lập trình hoàn toàn tự động của nó đảm bảo hiệu suất dễ dàng, chính xác và có thể lặp lại.
Ngoài ra, máy phủ này còn có lợi thế về sự bay hơi nhiệt của vật liệu có điểm nóng chảy thấp theo hai hướng – hướng lên hoặc hướng xuống. Khoảng cách giữa nguồn nhiệt và chất nền có thể điều chỉnh được, nâng cao hơn nữa tính linh hoạt của nó.
Máy phủ cacbon được bơm Turbo và thiết bị bay hơi nhiệt – DCT-T-300 tạo điều kiện cho việc lắng đọng các màng cacbon được thiết kế riêng cho việc chuẩn bị mẫu SEM, FE-SEM, EDX và TEM. Nó cũng hỗ trợ việc tạo ra các lớp dẫn điện. Ngoài ra, người dùng có tùy chọn thực hiện xử lý plasma dạng lưới TEM để tăng cường tính ưa nước. Hơn nữa, hệ thống còn cho phép làm sạch khẩu độ TEM bằng cách sử dụng bộ giữ nguồn nhiệt.
- Chuẩn bị mẫu SEM & FE-SEM – Tạo lớp phủ carbon đồng nhất để chụp ảnh có độ phân giải cao và phân tích cấu trúc vi mô chính xác.
- Phân tích nguyên tố EDS/WDS – Sản xuất màng dẫn điện hạt mịn để cải thiện hiệu suất phân tích vi tia X.
- Nghiên cứu TEM & EBSD – Cung cấp lớp phủ siêu mỏng, đồng nhất hỗ trợ các ứng dụng kính hiển vi điện tử truyền qua và tinh thể học.
- Lắng đọng màng mỏng – Cho phép bốc hơi nhiệt các kim loại có nhiệt độ nóng chảy thấp theo hướng lên trên hoặc xuống dưới để đáp ứng các yêu cầu phủ phủ đa dạng.
- Xử lý lưới TEM – Tạo điều kiện xử lý plasma cho lưới TEM để cải thiện tính ưa nước và nâng cao chất lượng hình ảnh.
- Vệ sinh khẩu độ – Hỗ trợ làm sạch khẩu độ TEM với giá đỡ nguồn nhiệt tích hợp, kéo dài tuổi thọ và khả năng sử dụng của thiết bị.
Hàng sắt thép
- Mức chân không cao đạt được thông qua bơm turbo tích hợp của Leybold, được hỗ trợ bởi bơm hỗ trợ cánh quạt quay hai giai đoạn có sẵn trong các biến thể bơm màng hoặc bơm cuộn.
- Một nguồn điện DC chuyển mạch 500 W bên trong tùy chọn để lắng đọng sợi carbon.
- Nguồn điện DC dòng điện cao 1.2 kW bên ngoài thích hợp cho quá trình bay hơi kim loại và lắng đọng thanh carbon.
- Máy theo dõi độ dày tinh thể thạch anh có độ chính xác 1 nm và độ phân giải 1 Å để theo dõi chính xác độ dày lắng đọng.
- Một van thông hơi tự động để giải phóng áp suất chân không có kiểm soát.
- Có thể điều chỉnh độ xoay, chiều cao và độ nghiêng của mẫu, được thiết kế đặc biệt cho các bệ chứa mẫu nhỏ.
- Một giá đỡ mẫu hành tinh tùy chọn để nâng cao tính linh hoạt.
- Hai nguồn cấp điện có dòng điện cao để dễ dàng đưa nguồn nhiệt vào.
- Bộ giữ nguồn nhiệt có thể di chuyển được cho phép cấu hình lắng đọng lên hoặc xuống.
- Giá đỡ mẫu S-Clip trên đầu nhiệt tạo điều kiện thuận lợi cho việc lắng đọng hướng lên trên.
- Một màn trập điện tử để kiểm soát chính xác các quá trình lắng đọng.
- Các bệ mẫu dễ thay đổi, với bệ mẫu xoay được cung cấp theo tiêu chuẩn.
- Bảo hành hai năm và tuân thủ các tiêu chuẩn tuân thủ CE.
- Bảo hiểm theo cả bảo hiểm trách nhiệm công cộng và trách nhiệm sản phẩm trên toàn thế giới, đảm bảo bảo vệ khỏi thiệt hại về tài sản hoặc thương tích cá nhân.
Tự động hóa
- Giao diện màn hình cảm ứng trực quan để dễ dàng kiểm soát quá trình phủ và nhập dữ liệu nhanh chóng.
- Phần mềm thân thiện với người dùng có thể được cập nhật qua mạng để cải tiến liên tục và nâng cao khả năng tương thích.
- Quá trình phủ tự động bán đầy đủ tùy chọn để nâng cao hiệu quả.
- Khả năng lặp lại và lập trình các quy trình phủ cacbon ở chế độ tự động, đảm bảo kết quả nhất quán.
- Các chế độ phủ sợi carbon xung hoặc flash tùy chọn cho các ứng dụng chuyên dụng.
- Các chế độ phủ thanh carbon xung hoặc tăng cường tùy chọn để đáp ứng các yêu cầu cụ thể.
- Tự động lắng đọng sợi carbon/thanh/nhiệt dựa trên giá trị độ dày đã đặt, hợp lý hóa quy trình.
- Ghi lại và vẽ biểu đồ thông số lớp phủ để phân tích và tối ưu hóa.
- Lưu trữ các công thức phủ để dễ dàng truy cập và lặp lại các lớp phủ, nâng cao hiệu quả và tính nhất quán.
Bốc hơi sợi carbon xung
- Thực hiện quá trình bốc hơi sợi carbon theo xung với các đợt ngắn và có kiểm soát.
- Cải thiện khả năng kiểm soát lắng đọng so với các phương pháp thông thường.
- Giảm thiểu mảnh vụn và đảm bảo lớp phủ sạch hơn.
Bốc hơi thanh carbon (tùy chọn)
- Đầu thanh carbon tùy chọn cho phương pháp lắng đọng thay thế.
- Yêu cầu nguồn điện ngoài có dòng điện cao 0–100 A.
- Cung cấp tính linh hoạt vượt trội hơn khả năng bay hơi của sợi carbon.
Bốc hơi nhiệt
- Được trang bị nền tảng nhiệt điện trở dòng điện cao và điện áp thấp.
- Xử lý nhiều loại vật liệu với khả năng kiểm soát lắng đọng chính xác.
- Hỗ trợ nhiều loại nguồn: thuyền, giỏ và cuộn dây.
MÁY HÚT BỤI SẠCH
- Buồng Pyrex hình trụ: đường kính 300 mm × chiều cao 200 mm.
- Bơm phân tử turbo bên trong đảm bảo chân không không bị nhiễm bẩn.
- Bơm cánh gạt quay 6 m³/h tùy chọn để tăng cường hiệu suất.
- Loại bỏ hiện tượng dầu chảy ngược thường gặp ở máy bơm khuếch tán.
ĐIỀU KHIỂN MÀN HÌNH CẢM ỨNG
- Màn hình cảm ứng màu 7 inch với phần mềm trực quan.
- Theo dõi mức độ chân không và trình tự lắng đọng dưới dạng dữ liệu hoặc đường cong.
- Lưu trữ lịch sử 300 lớp phủ gần nhất với khả năng xuất dữ liệu qua USB dễ dàng.
- Cho phép điều chỉnh chính xác các thông số lắng đọng.
Giai đoạn giữ mẫu
Máy phủ Carbon Turbo Pumped và Máy bay hơi nhiệt – DCT-T-300 cung cấp nhiều cấu hình bệ mẫu tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu đa dạng của người dùng. Các bệ mẫu xoay tiêu chuẩn có thể xoay và có thể điều chỉnh độ cao và góc, đảm bảo dễ sử dụng và linh hoạt. Ngoài ra, người dùng có thể tùy chọn thêm bệ mẫu hành tinh xoay, lý tưởng để đạt được lớp phủ đồng đều trên các mẫu xốp. Đối với các mẫu lớn hơn, nên sử dụng bệ mẫu xoay 6 inch tùy chọn. Mặc dù bệ mẫu này không có chức năng điều chỉnh độ nghiêng, nhưng nó cung cấp không gian rộng rãi để chứa các mẫu có kích thước lớn.
Người giữ mẫu tiêu chuẩn
Người giữ mẫu hành tinh
Bệ giữ mẫu có thể xoay 6 inch
Thiết bị bay hơi nhiệt và phủ cacbon được bơm Turbo cung cấp một máy bơm phân tử turbo tùy chọn với nhiều tốc độ bơm khác nhau, nâng cao khả năng hoạt động của nó. Thông số kỹ thuật chính bao gồm:
- Kích thước buồng chân không có đường kính ngoài 300 mm và chiều cao 200 mm.
- Độ chân không tối đa dưới 8 x 10-6 Torr.
- Kích thước tổng thể 580 x 500 x 630 mm (cao x rộng x sâu).
- Yêu cầu về tiện ích là 220/110 V, 50/60 Hz với công suất định mức là 2 kW.
- Điều khiển tự động các quá trình phủ không phụ thuộc vào áp suất.
- Điều chỉnh áp suất chân không chính xác được hỗ trợ bởi van rò rỉ tự động.
- Trực quan hóa thời gian thực các thông số lớp phủ thông qua dữ liệu được vẽ.
- Dễ dàng chuyển các sơ đồ dữ liệu lớp phủ sang PC thông qua cổng USB.
- Trọng lượng vận chuyển 46kg.
Tốc độ bơm | 90 l / s | 250 l / s | 350 l / s |
Áp lực cuối cùng | 8×10 -6 | 3×10 -6 | 8×10 -7 |
Tùy chọn và Phụ kiện
Hệ thống thiết bị bay hơi nhiệt và phủ cacbon được bơm Turbo bao gồm các bộ phận và phụ kiện sau:
- Đầu và nguồn điện cho quá trình bay hơi thanh carbon
- Thanh plasma và nguồn điện cao thế để xử lý plasma
- Cảm biến tinh thể thạch anh để theo dõi chính xác
- Cơ chế quay mẫu hành tinh cho lớp phủ đồng nhất
- Buồng thủy tinh chân không hình trụ dự phòng để dự phòng hoặc thay thế
- Sợi carbon cho mục đích lắng đọng
- Niêm phong các miếng đệm để đảm bảo tính toàn vẹn chân không
- Thuyền và giỏ chứa vật liệu trong quá trình lắng đọng