Phòng thử nghiệm chân không nhiệt

Buồng thử nghiệm chân không nhiệt - Các tính năng chính của ToronTVT™ 600

ToronTVT™ 600 tích hợp điều hòa chân không nhiệt, lắng đọng PVD hữu cơ và vô cơ, giám sát nhiệt điện trở 10 kênh và đo chân không Inficon trong một tủ SS304 nhỏ gọn với cửa trượt và điều khiển màn hình cảm ứng tự động.

• Buồng hình lăng trụ SS304 (30/40/50 cm) với cửa trượt: Thiết kế tủ nhỏ gọn với cửa trượt trực tiếp giúp dễ dàng nạp mẫu, cấu hình nguồn và chuyển chất nền.
• Bề mặt bên trong và bên ngoài được đánh bóng điện hóa bằng công nghệ Feather-Touch.Bề mặt buồng sạch giúp giảm thiểu sự thoát khí và ô nhiễm hạt trong cả quá trình thử nghiệm chân không nhiệt và quá trình lắng đọng.
• Giám sát nhiệt độ bằng cặp nhiệt điện 10 kênh: Tối đa 10 kênh cặp nhiệt điện độc lập cung cấp khả năng lập bản đồ nhiệt độ không gian đầy đủ của các vật thử và bề mặt buồng trong quá trình thử nghiệm chân không nhiệt.
• 4 nguồn bay hơi vô cơ nhiệt và từ 2 đến 6 nguồn bay hơi hữu cơViệc đồng thời tiếp cận các nguồn nhiệt vô cơ và các buồng khuếch tán hữu cơ cho phép lắng đọng màng mỏng tại chỗ trong cùng một chu trình chân không nhiệt.
• Buồng khuếch tán điều khiển PID (25 đến 600 °C, ±1 °C): Buồng khuếch tán Knudsen dùng để bay hơi vật liệu hữu cơ chính xác với độ ổn định nhiệt độ cần thiết cho quá trình lắng đọng chất bán dẫn hữu cơ và chất phát xạ OLED.
• Khả năng lắng đọng đa chế độỨng dụng của phương pháp bay hơi nhiệt, chùm tia điện tử, lắng đọng phún xạ và lò chân không trong cùng một buồng để cấu hình quy trình linh hoạt.
• Bộ bơm tuabin phân tử và cơ khí, áp suất cơ bản 10⁻⁸ TorrSự kết hợp giữa bơm và chân không cung cấp độ chân không cơ bản cần thiết cho cả thử nghiệm chân không nhiệt và lắng đọng màng mỏng có độ tinh khiết cao.
• Hệ thống đo áp suất chân không dải rộng Inficon (1000 đến 10⁻⁸ Torr): Hệ thống đo chân không Inficon từ chân không khí quyển đến chân không cơ bản, bao gồm tất cả các chế độ hoạt động TVAC và lắng đọng.
• Van thông hơi, van tiết lưu và van cách ly tự động: Hệ thống điều khiển van toàn diện cho tất cả các quá trình chuyển đổi áp suất; van cách ly duy trì chân không trong buồng giữa các thí nghiệm.
• Đo độ dày và tốc độ chính xác hai kênh 0.1 Å/giây: Giám sát đồng thời độ dày và tốc độ lắng đọng trên hai kênh nguồn lắng đọng độc lập
• Tốc độ quay mẫu từ 2 đến 30 vòng/phút với bộ gia nhiệt đế từ 100 đến 600 °C.: Kết hợp giữa quay và điều khiển nhiệt độ chất nền để tạo ra lớp lắng đọng đồng đều và điều kiện xử lý được kiểm soát nhiệt độ.
• Cửa sổ quan sát phía trước 100 mm chống tia UV với màn chắn bảo vệ có thể xoay được.: Quan sát trực quan trên màn hình lớn trong quá trình thử nghiệm và lắng đọng chân không nhiệt mà không có nguy cơ tiếp xúc với tia cực tím.
• Đầu nối xuyên KF25, CF40 và 1 inch với vòng đệm O-ring Viton chịu nhiệt 200 °CCấu hình truyền dẫn nhiệt độ cao hỗ trợ kết nối đo lường và xử lý đồng thời trên tất cả các chế độ hoạt động.
• Hệ thống điều khiển tự động hoàn toàn bằng máy tính với bảng điều khiển cảm ứng.Tất cả các thao tác TVAC và ghi nhận dữ liệu được quản lý tự động thông qua giao diện màn hình cảm ứng.
• Hệ thống làm mát bằng nước khép kín tự động: Tự động quản lý nhiệt độ của các nguồn lắng đọng và các thành phần plasma trong suốt quá trình hoạt động
• Chu trình thí nghiệm 1.5 giờ ở áp suất 10⁻⁷ Torr: Hút chân không nhanh và thực hiện quy trình cho nhiều lần thử nghiệm chân không nhiệt hoặc quá trình lắng đọng mỗi ngày
• Nguồn điện một pha 220VAC, 16A.: Kết nối điện một pha tiêu chuẩn để dễ dàng lắp đặt trong phòng thí nghiệm
• Bảo hành toàn diện cho vật liệu, thiết kế và chất lượng thi công.Bao quát toàn diện các thành phần hệ thống, chất lượng thiết kế và sản xuất.