Máy tráng quay chân không có thể lập trình – ToronSC™ 350P
ToronSC™ 350P là máy phủ màng quay chân không lập trình được thiết kế để phủ màng mỏng dễ dàng, nhanh chóng và có thể tái tạo bằng dung dịch sol-gel và các dung dịch phủ lỏng khác trên các chất nền có đường kính lên đến 8 inch (200 mm) hoặc hình vuông 5" × 5". Là máy phủ màng quay khổ lớn nhất trong dòng sản phẩm ToronSC™, đây là lựa chọn ưu tiên cho các nhóm nghiên cứu và nhóm phát triển làm việc với các tấm bán dẫn kích thước đầy đủ, chất nền thủy tinh lớn và các mẫu bảng vuông yêu cầu lớp phủ đồng nhất trên diện tích bề mặt rộng.
Được chứng nhận CE và thiết kế cho phòng thí nghiệm, trường đại học và sử dụng trong công nghiệp nhẹ, máy phủ quay ly tâm ToronSC™ 350P bao gồm mâm cặp hút chân không 6 inch để sử dụng ngay với đế wafer 6" và 8", băng dính để phủ lên các chất nền có hình dạng bất thường hoặc kích thước nhỏ hơn, bơm hút chân không không dầu và ống tiêm 20 mL — tạo thành một bộ máy phủ quay ly tâm hoàn chỉnh, sẵn sàng sử dụng. Có sẵn tùy chọn vỏ gia nhiệt (lên đến 100°C), cho phép ủ nhiệt hoặc làm khô lớp phủ ngay tại chỗ sau khi phủ quay ly tâm mà không cần tháo chất nền ra khỏi thiết bị.
Máy tráng quay chân không có thể lập trình – Ứng dụng ToronSC™ 350P
Máy phủ quay chân không lập trình ToronSC™ 350P được thiết kế cho các ứng dụng phủ quay liên quan đến các dung dịch hóa chất mạnh:
- Phủ màng mỏng khổ lớn bằng phương pháp quay ly tâm: lắng đọng màng sol-gel và màng chức năng trên tấm wafer silicon 6" và 8" phục vụ nghiên cứu chất bán dẫn và vật liệu tiên tiến.
- Phủ lớp lên chất nền hình vuông và hình chữ nhật: Phủ quay ly tâm tấm 5" × 5" cho chất nền thủy tinh, polyme và lá kim loại trong nghiên cứu tấm phẳng và năng lượng mặt trời.
- Nghiên cứu quang điện: phủ màng bằng phương pháp quay ly tâm các lớp hấp thụ, vận chuyển và tiếp xúc perovskite, hữu cơ và vô cơ trên các chất nền lớn.
- Phương pháp lắng đọng màng chức năng sol-gel: oxit kim loại, gốm sứ và lớp phủ hữu cơ-vô cơ lai từ dung dịch tiền chất sol-gel.
- Lớp phủ nền có hình dạng không đều: sử dụng giá đỡ băng dính cho các hình dạng nền không tiêu chuẩn và các mảnh mẫu nhỏ.
- Ủ nhiệt tại chỗ sau khi lắng đọng (với lớp phủ gia nhiệt tùy chọn): sấy khô bằng nhiệt hoặc kết tinh màng phủ quay ly tâm ngay sau khi lắng đọng.
- University và các phòng thí nghiệm R&D công nghiệp: máy phủ màng quay đa năng khổ lớn dùng cho các chương trình nghiên cứu màng mỏng đa vật liệu.
Máy tráng quay chân không có thể lập trình – ToronSC™ 350P Các tính năng chính
1. Định dạng lớn nhất trong dòng sản phẩm — Tấm wafer 8" / Hình vuông 5"×5"
Máy phủ quay ToronSC™ 350P có phạm vi vật liệu phủ rộng nhất trong dòng máy phủ quay ToronSC™: vật liệu phủ tròn đường kính lên đến 8" (200 mm) và tấm vuông lên đến 5" × 5" (127 mm × 127 mm), bao phủ toàn bộ các kích thước vật liệu phủ thông dụng trong nghiên cứu và sản xuất thử nghiệm.
2. Điều khiển số lập trình hai phân đoạn
Bảng điều khiển kỹ thuật số cung cấp hai phân đoạn tốc độ và thời gian có thể lập trình độc lập, cho phép thực hiện trình tự phủ quay hai bước tiêu chuẩn trong một chu trình khởi động hoàn toàn tự động chỉ bằng một nút bấm.
3. Băng keo dán cho các bề mặt không đều và có kích thước nhỏ hơn tiêu chuẩn
Băng dính kèm theo (rộng 6" × dài 24") cho phép cố định các chất nền nhỏ hơn 6" hoặc các mẫu có hình dạng bất thường trên mâm cặp mà không cần kích thước mâm cặp hút chân không phải khớp chính xác — mở rộng phạm vi chất nền mà thiết bị có thể xử lý.
4. Giá đỡ ống tiêm xoay điều chỉnh được
Chiều cao của giá đỡ ống tiêm có thể điều chỉnh và xoay tự do dọc theo thanh đỡ, cho phép định vị chính xác đầu ống tiêm vào tâm vật liệu hoặc ở bất kỳ vị trí phân phối nào khác, và phù hợp với các ống tiêm có kích thước khác nhau.
5. Buồng kháng hóa chất bằng Polypropylene
Buồng quay được làm bằng vật liệu PP, có khả năng kháng hóa chất đối với hầu hết các dung môi sol-gel, axit và kiềm được sử dụng trong nghiên cứu phủ màng mỏng, và dễ dàng vệ sinh bằng cách rửa bằng dung môi.
6. Bao gồm bơm chân không không dầu và ống tiêm 20 ml.
Trọn bộ máy phủ quay ly tâm: bơm chân không không dầu để cố định chất nền sạch, ống tiêm 20 ml để phân phối dung dịch và một bộ lọc nước thải để bảo vệ bơm — tất cả đều được bao gồm để sử dụng ngay lập tức.
7. Vỏ bọc gia nhiệt tùy chọn (lên đến 100°C)
Có sẵn tùy chọn vỏ gia nhiệt với bộ điều khiển nhiệt độ kỹ thuật số lên đến 100°C, cho phép sấy khô nhiệt tại chỗ hoặc ủ mềm màng phủ quay ly tâm ngay sau khi lắng đọng mà không cần tháo chất nền ra khỏi thiết bị.
8. Chứng nhận CE
Được chứng nhận đáp ứng các tiêu chuẩn an toàn và tương thích điện từ của châu Âu.
Lý thuyết và Phương pháp
Máy ToronSC™ 350P sử dụng phương pháp phủ quay ly tâm để tạo ra các lớp màng mỏng đồng đều từ dung dịch lỏng trên các chất nền phẳng lớn. Chất nền được giữ bằng lực hút chân không trên mâm cặp chân không 6 inch đi kèm. Đối với các chất nền nhỏ hơn 6 inch hoặc các mẫu có hình dạng không đều, băng dính đi kèm được dán lên mâm cặp và chất nền được đặt lên băng dính — lực hút chân không giữ băng dính, và băng dính giữ chất nền, cho phép phủ nhiều loại mẫu có hình dạng khác nhau mà không cần mâm cặp chuyên dụng.
Bảng điều khiển kỹ thuật số lập trình hai phân đoạn cho phép người vận hành thiết lập tốc độ quay và thời gian độc lập cho hai bước quay liên tiếp, hỗ trợ quy trình phủ quay phân phối và trải đều tiêu chuẩn. Buồng PP có khả năng kháng hóa chất với hầu hết các dung môi sol-gel, và cửa thoát nước phía sau cho phép xử lý chất lỏng sạch sẽ. Chiều cao của giá đỡ ống tiêm có thể điều chỉnh và xoay tự do dọc theo thanh đỡ, cho phép định vị chính xác điểm phân phối dung dịch trên bất kỳ khu vực nào của chất nền.
Máy phủ màng chân không quay ly tâm có thể lập trình – Thông số kỹ thuật ToronSC™ 350P
| Tham số | Đặc điểm kỹ thuật |
|---|---|
| Mẫu | ToronSC™ 350P |
| Kích thước chất nền tối đa | Hình tròn 8" (200 mm) hoặc hình vuông 5" × 5" (127 × 127 mm) |
| Phạm vi tốc độ quay | 500-6,000 vòng / phút |
| Phân đoạn có thể lập trình | 2 phần (tốc độ + thời gian mỗi phần) |
| Cố định chất nền | Đầu kẹp hút chân không (bao gồm đầu kẹp 6 inch) |
| Giá đỡ chất nền không đều | Bao gồm băng dính (rộng 6" × dài 24") |
| Đường kính buồng | 250 mm |
| Phòng Vật liệu | Polypropylene (PP) — kháng hóa chất |
| Giá đỡ ống tiêm | Thanh đỡ có thể điều chỉnh độ cao và xoay. |
| Giải pháp phủ | Ống tiêm 20 ml (đã bao gồm) |
| Bơm chân không | Bơm chân không không dầu (bao gồm) |
| Phụ kiện tùy chọn | Nắp đậy có chức năng sưởi ấm với bộ điều khiển kỹ thuật số (lên đến 100°C) |
| điện áp | Điện xoay chiều 110/220V, 50/60Hz |
| Chứng nhận | CE |