Hệ thống phủ được trang bị khóa tải
Hệ thống phủ được trang bị Load-Lock ToronTS-450 với buồng Load-Lock cung cấp khả năng xử lý nhanh hơn và chất lượng phủ vượt trội. Việc nạp và tháo mẫu diễn ra trong buồng Load-Lock, với một cánh tay chuyển từ tính di chuyển mẫu đến buồng chính.
Cải tiến này có sẵn cho các hệ thống Thermal, Sputtering, E-Beam và HiPIMS trong phạm vi sản phẩm của chúng tôi. Thiết lập ToronVak Load-Lock cho phép phủ trong môi trường chân không cao 10⁻⁷ Torr trong khi vẫn cho phép nạp một wafer mới sau mỗi 15 phút.
Chế tạo chất bán dẫn và tấm wafer - Quy trình lắng đọng màng mỏng tốc độ cao trên wafer với nguy cơ ô nhiễm được giảm thiểu, cho phép xử lý liên tục và thay đổi mẫu thường xuyên.
Vi điện tử & Quang điện tử - Phủ chính xác các chất dẫn điện và chất cách điện cho cảm biến, thiết bị MEMS, bộ tách sóng quang và các linh kiện quang điện tử trong điều kiện chân không ổn định.
Năng lượng & Quang điện - Lớp phủ tiên tiến cho pin mặt trời và thiết bị lưu trữ năng lượng bằng màng mỏng đa lớp hiệu suất cao sử dụng phương pháp lắng đọng phún xạ phản ứng và nguồn nhiệt.
Kỹ thuật Hàng không Vũ trụ & Ô tô - Ứng dụng các lớp phủ kim loại và điện môi bền bỉ trên các bộ phận quan trọng để nâng cao hiệu suất, khả năng chống mài mòn và độ ổn định nhiệt.
Lớp phủ màn hình & quang học - Phủ các lớp trong suốt, chống phản xạ và dẫn điện lên kính, thấu kính và chất nền màn hình với độ đồng nhất được kiểm soát theo công thức.
Dịch vụ Kỹ thuật Bề mặt & Sơn phủ Công nghiệp - Nền tảng đáng tin cậy cho các dịch vụ sơn phủ theo hợp đồng, cho phép xử lý nhiều mẫu hiệu quả với thời gian ngừng hoạt động được giảm thiểu.
Nghiên cứu & Phát triển - Hệ thống linh hoạt dành cho các trường đại học, phòng thí nghiệm và các nhóm R&D của doanh nghiệp để nghiên cứu các vật liệu màng mỏng mới, kỹ thuật phủ và cấu trúc đa lớp.
- Thiết kế buồng: Buồng chân không hình lăng trụ/hình trụ làm bằng thép không gỉ SS304 với bề mặt bên trong được đánh bóng bằng điện, mịn như nhung và bề mặt làm mát bằng nước tùy chọn.
- Cấu hình cổng: Cổng QF, CF và ISO tiêu chuẩn 1", giúp dễ dàng nâng cấp thêm các nguồn nhiệt hoặc nguồn bắn phá.
- Quan sát và kiểm soát: Cửa sổ quan sát chặn tia UV, cửa chớp xoay và cửa chớp mẫu được lập trình bằng LabVIEW để kiểm soát độ dày chính xác.
- Hệ thống chân không: Máy bơm turbo-phân tử, cơ học và khô với hoạt động tốc độ cao, đạt được 10⁻⁸ Tô-rây áp suất cơ bản trong buồng chính.
- Hiệu suất khóa tải: Máy bơm chuyên dụng đạt tới 10⁻⁶ Torr trong 10 phút, có thể thích ứng với phương pháp bắn phá, chùm tia điện tử và nguồn nhiệt.
- Van và cách ly: Van tiết lưu, van thông hơi, van cô lập và van cửa đảm bảo buồng đốt luôn ở trạng thái chân không khi không tải.
- Điều khiển tự động: Quá trình lắng đọng hoàn toàn tự động thông qua phần mềm hoặc bảng điều khiển với màn hình LCD thời gian thực.
- Hệ thống làm mát: Hệ thống làm mát bằng nước khép kín tự động với chức năng bảo vệ liên động để ngăn chặn việc kích hoạt nguồn điện khi không có điều kiện chân không thích hợp.
- Khả năng phun: Súng phun 1”- 6” (điều khiển bằng RF và DC) với đầu uốn cong, xoay tự trục và niêm phong nén.
- Lớp phủ vật liệu: Phủ lớp dẫn điện (Au, Al, Ti, Ni) và lớp cách điện (MgO, TiO₂, SiO₂, TiN) ở tốc độ cao với khả năng kiểm soát dựa trên công thức.
- Độ chính xác chân không: Kiểm soát chân không có thể điều chỉnh từ 1000 - 10⁻⁹ Torr sử dụng quy định xuôi dòng/ngược dòng.
- Mẫu gia nhiệt và quay: Hệ thống sưởi ấm được điều khiển bằng PID 50 - 600 ° C (độ nhạy ±1°C) và 2 - 30 vòng / phút xoay có thể điều chỉnh, với chức năng làm sạch bằng plasma (DC/RF).
- Cơ chế tải: Cánh tay chuyển từ tính giúp dễ dàng xử lý 2 ”, 3”, 4 ”và 6” mẫu.
- Đo chiều dày: Kênh đôi, 0.1 Å/giây Đo độ dày chính xác với hai QCM.
- Nguồn nhiệt: 8V - 500A, 4000W nguồn nhiệt cho quá trình bốc hơi tuần tự và đồng bốc hơi, với thiết kế giảm thiểu ô nhiễm chéo và cho phép thay thế nguồn dễ dàng.
- Tế bào tràn dịch: 50-800±1°C tế bào để bốc hơi chất hữu cơ.
- Trộn khí và phun: Đầu vào khí được điều khiển bằng MFC kỹ thuật số (Ar, N₂, O₂, He, CH₄, v.v.) với Độ nhạy 0.1 sccm để phun phản ứng.
- Hiệu suất: Chu kỳ thử nghiệm 1.5 giờ, cho phép 10-15 thí nghiệm mỗi ngày.
- Sự bảo đảm: 2 năm bảo hiểm về vật liệu, thiết kế và tay nghề thủ công.
