Hệ thống lắng đọng xung laser PLD

• Người thao túng mục tiêu: Tốc độ quay có thể điều chỉnh để định vị chính xác.
• Nguồn nhiệt: Ba nguồn nhiệt với nguồn cấp dữ liệu đặc biệt để nâng cao chức năng.
• Đo độ dày thời gian thực: Hệ thống giám sát tinh thể thạch anh với độ chính xác 1 nm cho kết quả đo chính xác.
• Giao diện thân thiện với người dùng: Màn hình cảm ứng trực quan để dễ dàng kiểm soát quá trình phủ và nhập dữ liệu nhanh chóng.
• Làm sạch bằng plasma: Cơ sở làm sạch bằng plasma để đảm bảo chuẩn bị bề mặt tối ưu.
• Phần mềm có thể nâng cấp: Phần mềm thân thiện với người dùng có thể được cập nhật qua mạng để cải thiện hiệu suất.
• Xử lý mẫu: Được trang bị giá đỡ mẫu quay và màn trập điện tử để quản lý mẫu hiệu quả.
• Lựa chọn thuyền máy: Khả năng lựa chọn và xử lý vật liệu thuyền có chức năng cơ giới.
• Hệ thống sưởi nền: Bộ gia nhiệt bề mặt 500°C để tạo thuận lợi cho quá trình lắng đọng được kiểm soát.
• Bảo hành và bảo hiểm: Bảo hành hai năm cho hệ thống và bảo hiểm trách nhiệm công cộng và sản phẩm trên toàn thế giới để tăng cường bảo vệ chống lại thiệt hại về tài sản hoặc thương tích cá nhân do hệ thống Vac Coat gây ra.

Điều khiển màn hình cảm ứng trực quan với màn hình sống động:

Hệ thống lắng đọng xung laser PLD-T được thiết kế với màn hình cảm ứng màu 7 inch thân thiện với người dùng, cung cấp giao diện trực quan để dễ dàng điều khiển và giám sát. Màn hình cảm ứng cho phép điều khiển hoàn toàn tự động và nhập dữ liệu dễ dàng, giúp người dùng có kinh nghiệm hạn chế có thể truy cập được.

Người dùng có thể thuận tiện quan sát mức độ chân không, trạng thái hiện tại và thông tin lắng đọng được hiển thị ở cả định dạng kỹ thuật số và đường cong đồ họa trực tiếp trên màn hình cảm ứng. Ngoài ra, hệ thống còn bao gồm một trang lịch sử nơi dữ liệu từ 300 lớp phủ gần đây nhất có thể được lưu và xem lại để tham khảo và phân tích. Tính năng này nâng cao hiệu quả và tạo điều kiện cho người dùng trải nghiệm liền mạch trong suốt quá trình phủ.

Các thông số kỹ thuật này phác thảo các thành phần và tính năng chính của Hệ thống bay hơi nhiệt & lắng đọng xung laser, nêu bật các khả năng của nó trong vận hành chân không, cung cấp điện, kiểm soát lưu lượng khí, phân tích dữ liệu và tính dễ sử dụng.

Tùy chọn và phụ kiện cho PLD-T:

Nguồn bay hơi nhiệt:

• Có sẵn ở các cấu hình Thuyền, Giỏ hoặc Cuộn dây để phù hợp với các yêu cầu lắng đọng khác nhau.

Chất nền nóng:

• Có khả năng gia nhiệt lên đến 500°C để kiểm soát nhiệt độ nền chính xác trong quá trình lắng đọng.

Nguồn bay hơi Vật liệu:

• Các vật liệu khác nhau tương thích với các nguồn bay hơi nhiệt, cho phép có nhiều lựa chọn vật liệu để lắng đọng.

Cảm biến tinh thể thạch anh:

• Cần thiết để theo dõi độ dày theo thời gian thực với độ chính xác cao bằng cảm biến tinh thể thạch anh.

Niêm phong các miếng đệm:

• Vòng đệm được thiết kế để bịt kín hiệu quả, đảm bảo điều kiện kín khí trong quá trình lắng đọng.

Các tùy chọn và phụ kiện này nâng cao tính linh hoạt và chức năng của hệ thống PLD-T, cho phép thực hiện các quy trình lắng đọng màng mỏng phù hợp và hiệu quả trong khi vẫn duy trì độ chính xác và khả năng kiểm soát cao.