Thiết bị bay hơi nhiệt chân không cao- DTE

DTE đi kèm với nguồn điện dòng cao và nền bay hơi nhiệt điện áp thấp (điện trở), giúp thiết bị trở nên linh hoạt cho các nhiệm vụ bay hơi nhiệt khác nhau. Hệ thống này cho phép kiểm soát chính xác quá trình bay hơi nhiệt của nhiều loại vật liệu trên bề mặt. Nó chứa các loại nguồn bay hơi nhiệt khác nhau, bao gồm thuyền, giỏ và cuộn dây, có thể được gắn trên một giá đỡ nguồn nhiệt duy nhất.

DTE được trang bị nguồn điện DC dòng điện cao 1.2 kW, cho phép nó lắng đọng một lớp mỏng vật liệu bay hơi lên các bề mặt khác nhau. Khả năng này làm cho nó phù hợp với nhiều ứng dụng khác nhau, bao gồm chuẩn bị mẫu SEM.

• Điều khiển bán tự động cho quá trình bay hơi vật liệu
• Được trang bị bộ nguồn DC dòng cao chuyên dụng (tối đa 12V, 100A)
• Buồng chân không đường kính 170mm được làm từ Borosilicate-SST
• Đạt được mức chân không cao với bơm turbo tích hợp (Leybold 90 lít mỗi giây)
• Bơm quay hai giai đoạn (có sẵn bơm màng hoặc bơm cuộn tùy chọn)
• Hệ thống giám sát tinh thể thạch anh để đo độ dày thời gian thực chính xác (độ chính xác 1 nanomet)
• Bao gồm một màn trập điện tử để tăng cường kiểm soát
• Có hai nguồn cấp điện dòng điện cao để dễ dàng cắm nguồn nhiệt
• Đi kèm với bộ giữ nguồn nhiệt có thể di chuyển, cho phép cấu hình lắng đọng cả lên và xuống
• Được trang bị van thông hơi tự động
• Bao gồm một máy đo chân không đầy đủ
• Có giá đỡ mẫu S-Clip trên dây dẫn buồng
• Giá đỡ mẫu xoay 2 inch tùy chọn có sẵn trên tấm đế
• Cung cấp khả năng xoay, chiều cao và độ nghiêng mẫu có thể điều chỉnh (để sử dụng với giá đỡ mẫu 2 inch tùy chọn)
• Được hỗ trợ bởi bảo hành hai năm

• Giao diện màn hình cảm ứng trực quan để dễ dàng kiểm soát quá trình chân không và thao tác với thiết bị.
• Phần mềm thân thiện với người dùng, có thể được cập nhật qua mạng.
• Màn trập điện tử để điều khiển chính xác.

• Buồng chân không có đường kính ngoài (OD) 170 mm và chiều cao (H) 140 mm.
• Hệ thống DTE được trang bị một máy bơm phân tử turbo 90 L/s gắn bên trong, được hỗ trợ tùy chọn bởi một máy bơm cánh gạt quay hai tầng 6m3/h.

Màn hình cảm ứng điều khiển

Hệ thống DTE được trang bị bảng điều khiển màn hình cảm ứng màu 7 inch có phần mềm thân thiện với người dùng để kiểm soát dữ liệu quá trình lắng đọng. Người dùng có thể xem thông tin về trình tự chân không và lớp phủ dưới dạng dữ liệu số hoặc đường cong hiển thị trên màn hình cảm ứng. Hệ thống này cũng duy trì hồ sơ của 300 lớp phủ cuối cùng, có thể truy cập được trên trang lịch sử.

Chứa mẫu

Hệ thống lắng đọng DTE mang đến sự linh hoạt trong quá trình bay hơi kim loại với hai cấu hình riêng biệt:

1. Gửi tiền đi lên:

• Trong thiết lập này, vật liệu bay hơi được nạp vào nguồn thuyền.
• Mẫu được gắn chắc chắn vào S-Clip nằm trên dây dẫn buồng, tạo điều kiện dễ dàng lấy mẫu trong quá trình lắng đọng.

2. Lắng đọng hướng xuống:

• Để lắng xuống, một lượng nhỏ vật liệu mong muốn được nạp vào giỏ.
• Tùy chọn, có thể sử dụng giá đỡ mẫu quay trên tấm đế cho cấu hình này.

Yêu cầu hoạt động DTE

Hệ thống lắng đọng DTE được đặc trưng bởi buồng nhỏ, mang lại những ưu điểm như nhỏ gọn, thiết kế nhẹ, hút bụi nhanh và vận hành phù hợp với ngân sách. Tuy nhiên, điều quan trọng là phải xem xét một số lưu ý tư vấn khi sử dụng thiết bị này:

1. Lý tưởng cho lớp phủ màng mỏng ngắn hạn:

• Hệ thống DTE rất phù hợp cho lớp phủ màng mỏng ngắn hạn.
• Đối với sự lắng đọng kéo dài, lâu dài hoặc lớp dày, bạn nên thận trọng vì những điều kiện như vậy có thể ảnh hưởng đến buồng.

2. Thích hợp cho vật liệu có nhiệt độ hóa hơi thấp:

• Thiết bị này hiệu quả nhất khi được sử dụng để lắng đọng các nguyên liệu nguồn có nhiệt độ hóa hơi thấp.

3. Giới hạn đường kính mẫu tối đa:

• Xin lưu ý rằng đường kính mẫu tối đa có thể chứa được với giá đỡ đế quay không được vượt quá 2 inch.

Nếu các điều kiện lớp phủ này không phù hợp với yêu cầu cụ thể của bạn, chúng tôi khuyên bạn nên khám phá mô hình DTT của chúng tôi, có buồng có đường kính 300 mm lớn hơn và ba nguồn nhiệt.