Máy phủ phún xạ để bàn mục tiêu Magnetron đơn, chân không cao DST1-170
Máy phủ phún xạ để bàn mục tiêu Magnetron đơn, chân không cao DST1-170 được cấu hình như một Máy phủ phún xạ để bàn, được thiết kế đặc biệt để chuẩn bị mẫu bằng Kính hiển vi điện tử quét (SEM). DST1-170 rất linh hoạt, có khả năng lắng đọng nhiều loại vật liệu, bao gồm hợp kim vàng (Au), bạch kim/palađi (Pt/Pd), bạc (Ag), crom (Cr), vonfram (W), iridium (Ir) , và hơn thế nữa.
DST1-170 vượt trội trong việc tạo ra các màng đồng nhất, chất lượng cao với kích thước hạt mịn. Những màng này lý tưởng cho các mẫu vật yêu cầu đặc tính có độ phân giải cao và chất lượng cao, chẳng hạn như các ứng dụng FE-SEM, EDS/WDS, TEM và EBSD. Được trang bị cực âm magnetron 2 inch và nguồn điện DC chuyển mạch 80 watt, DST1-170 phù hợp cho nhiều ứng dụng nghiên cứu và màng mỏng khác nhau.
- Đạt được sự lắng đọng cấu trúc hạt mịn để chuẩn bị mẫu SEM và FE-SEM
- Ứng dụng nano và vi điện tử
- Sản xuất pin mặt trời
- Lớp phủ của các thành phần quang học
- Phát triển cảm biến màng mỏng
- Bơm tuabin phân tử chân không cao có công suất 90 L/S (Leybold)
- Bơm chân không cánh quạt quay hai giai đoạn đóng vai trò là bơm hỗ trợ
- Máy đo chân không toàn dải (Leybold)
- Van bướm ISO-KF 63
- Bộ nguồn DC định mức ở mức 80 watt
- Máy đo độ dày tinh thể thạch anh với độ chính xác 1 nanomet và độ phân giải 1 Ångström
- Giao diện màn hình cảm ứng trực quan giúp kiểm soát quá trình phủ dễ dàng và nhập dữ liệu nhanh chóng
- Phần mềm thân thiện với người dùng với khả năng cập nhật mạng
- Chức năng kiểm soát để điều chỉnh tốc độ phủ để đạt được cấu trúc hạt mịn hơn
- Cung cấp cả tùy chọn phún xạ độ dày và thời gian thủ công và tự động
- GLAD (Glancing Angle Deposition) Khả năng phún xạ
- Chức năng làm sạch plasma
- Khả năng ghi và vẽ biểu đồ thông số lớp phủ
- Được trang bị màn trập điện tử
- Các bệ mẫu có thể thay thế dễ dàng, với một bệ mẫu quay được bao gồm theo tiêu chuẩn
- Được hỗ trợ bởi bảo hành hai năm
- Sản phẩm của Vac Coat được bảo hiểm toàn cầu bởi cả bảo hiểm trách nhiệm công cộng và trách nhiệm sản phẩm, đảm bảo bảo vệ trong trường hợp thiệt hại về tài sản hoặc thương tích cá nhân do hệ thống Vac Coat gây ra.
Máy hút bụi sạch của bàn Sputter Coater
Buồng chân không được làm bằng Pyrex hình trụ. DST1-170 được trang bị bơm turbo phân tử 90 L/s gắn bên trong, được hỗ trợ bởi bơm cánh gạt quay hai tầng 4m³/h. Cấu hình này đảm bảo môi trường chân không sạch sẽ, không bị nhiễm bẩn dầu thường liên quan đến bơm khuếch tán tiêu chuẩn.
Màn hình cảm ứng điều khiển
DST1-170 có giao diện màn hình cảm ứng màu 7 inch với khả năng điều khiển tự động hoàn toàn và nhập dữ liệu thân thiện với người dùng, giúp người dùng thiếu kinh nghiệm có thể truy cập được. Người dùng có thể dễ dàng vận hành hệ thống thông qua màn hình cảm ứng, nơi có thể xem mức chân không, dòng điện và thông tin lắng đọng dưới dạng dữ liệu kỹ thuật số hoặc hiển thị dưới dạng đường cong. Ngoài ra, hệ thống có thể lưu trữ thông tin về 300 lớp phủ cuối cùng, có thể truy cập thông tin này trên trang lịch sử để tham khảo.
- Chân không tối đa: Dưới 7 x 10^-7 Torr
- Kiểm soát chính xác tốc độ phún xạ để đạt được cấu trúc hạt mịn hơn
- Kiểm soát công suất phún xạ độc lập, bất kể áp suất
- Van rò rỉ điện tử cho khí Argon
- Khả năng ghi và vẽ biểu đồ thông số lớp phủ
- Truyền dữ liệu thuận tiện về đường cong và dữ liệu quá trình lắng đọng qua cổng USB sang PC
- Yêu cầu về nguồn điện: 220V-240V, 50/60Hz, 16A
- Trọng lượng vận chuyển: 36 kg
Tùy chọn và Phụ kiện:
- Tinh thể thạch anh
- Xoay mẫu hành tinh
- Buồng kính dự phòng
- Mục tiêu rải rác
- Niêm phong các miếng đệm
