Máy bay hơi nhiệt để bàn-DTT
Máy bay hơi nhiệt để bàn DTT là một máy bay hơi nhiệt nhỏ gọn được thiết kế để lắng đọng chân không các màng mỏng. Hệ thống này cung cấp khả năng bay hơi từ ba nguồn khác nhau, cho phép bạn lựa chọn từ các nguồn bay hơi khác nhau như khay, giỏ hoặc cuộn dây.
Tính linh hoạt này làm cho nó trở nên lý tưởng để lắng đọng các lớp màng hoặc hợp kim đa lớp. Thiết kế hiệu quả của DTT cho phép nó nhanh chóng đạt được áp suất chân không cần thiết, giúp quá trình phủ chỉ diễn ra trong vài phút. Hệ thống này rất phù hợp cho các ứng dụng nghiên cứu trong phòng thí nghiệm.
- Màng kim loại và điện môi
- Chế tạo cảm biến màng mỏng
- Thành phần quang học
- Nano và vi điện tử
- Pin mặt trời
- Lớp phủ nhiệt nhiều lớp
- Buồng định dạng lớn
- Bơm turbo chân không cao với các tùy chọn tốc độ bơm từ 90 l/s đến 350 l/s
- Đạt được mức áp suất tối đa từ 7 x 10^-6 đến 7 x 10^-7 Torr
- Được trang bị máy bơm cánh gạt quay hai giai đoạn có công suất 6 m^3/h
- Bao gồm một máy đo chân không đầy đủ
- Cung cấp nhiều lựa chọn về nguồn bay hơi, bao gồm thuyền, giỏ hoặc cuộn dây, để lắng đọng màng mỏng nhiều lớp
- Khả năng đồng bay hơi tùy chọn để tạo màng hợp kim
- Có hệ thống giám sát tinh thể thạch anh để đo độ dày theo thời gian thực với độ chính xác 1 nm
- Hỗ trợ lắng đọng theo thời gian hoặc độ dày thủ công hoặc tự động
- Màn hình cảm ứng trực quan giúp kiểm soát quy trình dễ dàng và nhập dữ liệu nhanh chóng
- Phần mềm thân thiện với người dùng, có thể cập nhật thông qua kết nối mạng
- Màn trập điện tử để điều khiển chính xác
- Giá đỡ mẫu quay tùy chọn
- Bộ gia nhiệt bề mặt 2 inch tùy chọn có khả năng đạt nhiệt độ lên tới 500°C
- Đi kèm với bảo hành hai năm
Nguồn bốc hơi nhiệt (thuyền/giỏ/cuộn dây)
DTT, máy phủ nhiệt chân không để bàn, có thể được trang bị ba nguồn bay hơi nhiệt ở nhiệt độ cao riêng biệt. Thiết kế chu đáo của bộ phận giữ nguồn bay hơi đảm bảo không có sự lây nhiễm chéo giữa các nguyên liệu nguồn. Ngoài ra, chiều dài của giá đỡ nguồn có thể điều chỉnh được trong phạm vi 5-9 cm.
Màn hình cảm ứng điều khiển
DTT, được trang bị màn hình cảm ứng màu 7 inch và điều khiển và nhập dữ liệu hoàn toàn tự động
có thể được vận hành bởi ngay cả những người dùng thiếu kinh nghiệm. Chân không, dòng điện và lắng đọng
thông tin có thể được quan sát dưới dạng dữ liệu số hoặc đường cong trên màn hình cảm ứng. Thông tin của
300 lớp phủ cuối cùng cũng có thể được lưu trong trang lịch sử.
- Lắp đặt nhiều thuyền, giỏ và cuộn dây
- Ghi lại và vẽ biểu đồ thông số lớp phủ
- Chuyển các đường cong và dữ liệu quá trình lắng đọng bằng cổng USB sang PC
- Tự động điều khiển công suất lớp phủ không phụ thuộc vào áp suất
- Nguồn cấp điện cao thế được làm mát bằng nước thông qua
- Dòng điện cao 0-100, được bảo vệ chống đoản mạch, nguồn điện DC
- Tiện ích: 220/110V, 50/60HZ- 16/25A
- Kích thước: 60 cm H × 65 cm W × 50 cm D
- Trọng lượng vận chuyển: ~ 60 kg
Tùy chọn và Phụ kiện
- Cung cấp năng lượng dòng điện cao cho đồng bay hơi
- Cảm biến tinh thể thạch anh
- Buồng kính dự phòng
- Nguồn bay hơi (thuyền/giỏ/cuộn dây)
- Lò sưởi bề mặt 2 inch, 500 ° C
- Xoay mẫu
- MFC (Bộ điều khiển lưu lượng lớn)
- Niêm phong các miếng đệm