Vakum Tavlama Fırını
Vakumlu Tavlama Fırını - ToronVF™ Tavlama
ToronVF™ Anneal, 50 ila 700 °C sıcaklık aralığında termal tavlama, fırınlama, soğutma ve ısıl işlem için yüksek vakumlu bir tavlama fırınıdır. SS304 vakum odası içinde bulunan PID kontrollü fırın, 1 ila 20 °C/dakika arasında ayarlanabilir ısıtma hızlarıyla 10⁻⁷ Torr temel basınca ulaşır. ±50 °C/dakikaya kadar soğutma ve soğutma hızları, zamana duyarlı ısıl işlem programları için hızlı termal işlem döngülerini destekler. 40 adıma kadar genişletilebilen programlanabilir 10 adımlı bir PID profili, her termal döngüyü bağımsız ayar noktası, rampa ve bekleme parametreleriyle kontrol eder.
Elektro-parlatılmış SS304 vakum odası, 1000 ila 10⁻⁹ Torr aralığında geniş bir vakum sistemiyle, kirlenmeye duyarlı tavlama uygulamaları için temiz yüzeyler sağlar. Turbomoleküler ve mekanik pompalar standarttır ve 30 dakikada 10⁻⁶ Torr'a ulaşır; kuru pompa ise opsiyonel olarak mevcuttur. İzolasyon vanaları, istenildiği gibi odanın Ar veya N₂ ile doldurulmasına olanak tanır ve güç kesintisi koruması, sistem boşta olduğunda odanın vakum altında kalmasını sağlar. Hızlı çevrim süreleri, yük hacmine bağlı olarak günde iki ila üç deneyi destekler.
Çalışma hacmi, farklı parti büyüklüklerine ve yükleme konfigürasyonlarına uyum sağlamak için 1 ila 3 m³ arasında ayarlanabilir. Ar, N₂, O₂, He ve diğer gazlar için isteğe bağlı kütle akış ölçer gaz girişleri, vakumlu tavlama ve fırınlama uygulamalarının yanı sıra kontrollü atmosfer işleme olanağı sağlar. 100 amu artık gaz analizörü seçeneği, gaz çıkışı yapan türleri tanımlar ve ısıl işlem öncesinde ve sırasında hazne temizliğini izler. Kilitlenebilir tekerlekler üzerinde 75×120 cm'lik taban alanı ve gerçek zamanlı LCD kontrolüne sahip dokunmatik ekran paneli sistemi tamamlar.
Vakumlu Tavlama Fırını - ToronVF™ Tavlama Uygulamaları
ToronVF™ Tavlama ünitesi, atmosferik fırınların yüzey oksidasyonuna, kireçlenmeye veya istenmeyen faz reaksiyonlarına neden olabileceği metalik, seramik ve yarı iletken malzemelerin temiz, oksidasyonsuz ısıl işlemine ihtiyaç duyan araştırma ve üretim tesislerine hizmet eder. Fırınlama modu, soğutma özelliği, isteğe bağlı kontrollü atmosferi ve programlanabilir çok adımlı profilleri, çok çeşitli termal işlem programlarına uygundur.
- Vakumda Tavlama ve Gerilim GidermeMetallerin, alaşımların ve yarı iletkenlerin yüzey oksidasyonu veya kirlenmesi olmaksızın gerilim giderme, yeniden kristalleşme ve tane büyümesi için yüksek vakum altında 50 ila 700 °C arasında ısıl işlem görmesi.
- Manyetik Malzeme İşlemeKalıcı mıknatısların, yumuşak manyetik alaşımların ve amorf metallerin manyetik özellik geliştirme, koersivite ayarlama ve histerezis kaybını azaltma amacıyla vakumda tavlanması.
- Vakumla Söndürme ve Hızlı Isıl İşlemAlaşım sistemlerinde martensit oluşumu, kalıcı östenit yönetimi ve metastabil fazın hapsedilmesi için dakikada ±50 °C'ye kadar hızlı soğutma.
- Vakum Bileşenlerinin Fırınlanması ve Gazdan ArındırılmasıVakum odalarının, elektrotların, geçiş kanallarının ve bileşenlerin montaj veya kullanımdan önce adsorbe edilmiş su ve hidrokarbonları uzaklaştırmak için yüksek sıcaklıkta fırınlanması.
- Hidrojen Giderimi ve DehidrojenasyonVakumda tavlama işlemi, elektrokaplama, şekillendirme veya birleştirme işlemlerinden sonra titanyum, zirkonyum, çelik ve diğer hidrojene duyarlı malzemelerden hidrojen gazının uzaklaştırılması için kullanılır.
- İnce Film ve Yarı İletkenlerde Kaplama Sonrası Tavlamaİnce film numunelerinin vakumda tavlanması, yarı iletken ve fotovoltaik cihaz araştırmalarında katkı maddelerini aktive etmek, kristalliği iyileştirmek ve arayüz kusur yoğunluğunu azaltmak için kullanılır.
- Faz Dönüşümü ve Sinterleme AraştırmalarıFaz diyagramı çalışmaları, katı hal reaksiyonu araştırmaları ve seramik veya toz metalurjisi sinterleme programları için programlanabilir çok adımlı vakumlu termal döngüler.
Vakumlu Tavlama Fırını - ToronVF™ Tavlama Temel Özellikleri
ToronVF™ Anneal, 1 ila 3 m³ ayarlanabilir çalışma hacmine sahip, ölçeklenebilir bir vakumlu ısıl işlem platformunda PID kontrollü yüksek vakumlu fırını, çok adımlı programlanabilir termal profilleri, hızlı soğutma özelliğini, isteğe bağlı artık gaz analizini ve otomatik bilgisayar kontrolünü entegre eder.
- 50 ila 700 °C PID Kontrollü Vakum FırınıSS304 vakum odası içinde hassas sıcaklık kontrolü sayesinde atmosferik kirlenme olmadan temiz ısıl işlem sağlanır.
- Programlanabilir PID Sıcaklık Profili (10 ila 40 Adım): Karmaşık tavlama ve ısıl işlem programları için her adımda bağımsız ayar noktası, artış hızı ve bekleme süresi ile çok adımlı termal çevrim kontrolü
- Ayarlanabilir Isıtma Hızı (1 ila 20 °C/dakika)Operatör tarafından seçilebilen yükseltme hızı, malzemenin termal kütlesine, faz dönüşümü gereksinimlerine ve proses hassasiyetine uyum sağlar.
- ±50 °C/dakika hızında söndürme ve hızlı soğutmaYüksek hızlı termal geçişler; martensitik sertleştirme, metastabil faz oluşumu ve dönüşüme duyarlı ısıl işlem uygulamaları için kullanılır.
- 1 ila 3 m³ Ayarlanabilir Çalışma HacmiAyarlanabilir hazne hacmi, araştırma ve üretim programlarında farklı parti büyüklüklerine ve yükleme konfigürasyonlarına uyum sağlar.
- 10⁻⁷ Torr Temel Basınç, 30 Dakikada 10⁻⁶ TorrTürbomoleküler ve mekanik pompa kombinasyonu, verimli çevrim desteği için hızlı vakum boşaltma özelliğine sahiptir.
- Turbomoleküler ve Mekanik Pompa (Kuru Pompa Seçeneği)Standart pompa konfigürasyonu, temiz tavlama için temel vakumu sağlar; yağsız sistem gereksinimleri için kuru pompa seçeneği mevcuttur.
- Geniş Aralıklı Vakum Kontrolü (1000 ila 10⁻⁹ Torr)Atmosfer basıncından derin vakuma kadar tüm proses modları için entegre vakum ölçümü ve kontrolü.
- Opsiyonel 100 amu Artık Gaz Analiz CihazıFırınlama ve tavlama sırasında açığa çıkan gaz halindeki maddelerin bileşiminin izlenmesi, kirliliğin belirlenmesi ve prosesin doğrulanması için kullanılır.
- Opsiyonel Kütle Akış Ölçer Gaz Girişleri (Ar, N₂, O₂, He)Gazla söndürme, inert dolgu ve atmosfer destekli işlemenin yanı sıra vakumlu tavlama modları için kontrollü atmosfer özelliği.
- Ar veya N₂ Hazne Dolgulu İzolasyon Vanaları: İnert soğutma, gazla söndürme veya özel işlem sonrası atmosfer gereksinimleri için tavlama sonrası kontrollü atmosfer
- Vakum Tutma Özellikli Elektrik Kesintisi Koruması: Elektrik kesintisi durumunda izolasyon vanası, hassas numuneleri koruyarak ve işlem ortamını muhafaza ederek hazne vakumunu korur.
- Hızlı Döngü Süreleri (Günde 2 ila 3 Deney)Hızlı vakum boşaltma ve çevrim tasarımı, yük hacmine bağlı olarak günde birden fazla ısıl işlem çalıştırılmasına olanak tanır.
- SS304 Elektro-Parlatılmış Vakum OdasıTemiz, düşük gaz salınımı yapan oda yüzeyleri, yüksek saflıkta tavlama işlemleri için kirlenme riskini azaltır.
- Kapalı Devre Su Soğutma (Gerektiğinde): Uzun süreli yüksek sıcaklıkta çalışma sırasında fırın ve hazne bileşenlerinin termal yönetimi
- Dokunmatik Ekran ve LCD Panelli Tam Otomatik Bilgisayar KontrolüHer ısıl işlem döngüsü boyunca tüm sıcaklık, basınç ve proses parametreleri gerçek zamanlı izleme ile otomatik olarak yönetilir.
- 75×120 cm Kilitlenebilir Tekerlekli Mobil PlatformEsnek laboratuvar ve üretim alanı yerleşimi için kompakt tasarım.
- Tasarım, malzeme ve işçilik için iki yıl garanti.Sistemin uzun vadeli araştırma ve üretim yatırımı olarak konumlandırılmasıyla tutarlı, genişletilmiş kapsam.
Teori ve Yöntem
Vakum tavlama, oksijen ve reaktif gazların yokluğunu kullanarak malzemeleri düşük basınç koşullarında ısıtır; bu sayede ısıl işlem sırasında yüzey oksidasyonu ve arayer kirlenmesi önlenir. 10⁻⁵ Torr'un altındaki basınçlarda, artık gaz konsantrasyonları malzeme yüzeyini kirletmek için yetersizdir, bu da yüzey kimyasını korur ve mikroyapısal gelişim için tane sınırı difüzyonunu mümkün kılar. Uygulama alanları arasında gerilim giderme, yeniden kristalleşme, hidrojen gazı giderme, faz dönüşümü ve manyetik özellik geliştirme yer alır. Tavlamadan sonra kontrollü Ar veya N₂ dolgusu, kontrollü dönüşüm veya ani soğutma için soğutma hızını ayarlar.
40 adıma kadar genişletilebilen programlanabilir PID profili, her bir tavlama döngüsünü bağımsız ayar noktası, ısıtma hızı ve adım başına bekleme süresiyle kontrol eder. Çok adımlı esneklik, ara bekleme sıcaklıkları, gerilim giderme rampaları ve kontrollü soğutma dizileri içeren çok aşamalı tavlama gibi karmaşık programlara olanak tanır. ±50 °C/dakikaya kadar soğutma, martensit oluşumu, metastabil faz yakalama ve dönüşüme duyarlı işlemler için hızlı termal geçişlere olanak tanır. 1 ila 20 °C/dakika arasında ayarlanabilir ısıtma hızları, hassas termal döngü kontrolü için soğutma özelliğini tamamlar.
700 °C'ye kadar olan fırınlama işlemi, hazne yüzeylerinden ve bileşenlerinden suyu, çözücüleri ve hidrokarbonları uzaklaştırarak etkili baz basıncını düşürür. Turbomoleküler pompa, termal döngü boyunca uzaklaştırılan maddeleri sürekli olarak uzaklaştırarak, her fırınlama işleminde hazne temizliğini iyileştirir. İsteğe bağlı 100 amu artık gaz analizörü, gaz çıkışı yapan maddeleri izler ve hassas sonraki işlemlerden önce hazne temizliğini doğrular. 1000 ila 10⁻⁹ Torr aralığında geniş vakum ölçümü ve izolasyon valfi koruması, vakum sistemini tamamlar.
Vakumlu Tavlama Fırını - ToronVF™ Tavlama Teknik Özellikleri
| Parametre | Özellikler |
|---|---|
| Fırın Sıcaklık Aralığı | 50 - 700 ° C |
| Sıcaklık Kontrolü | PID |
| Isıtma Hızı | 1 ila 20 °C/dakika (ayarlanabilir) |
| Söndürme / Soğutma Hızı | Dakikada ±50 °C'ye kadar |
| Sıcaklık profili | 10 kademeli programlanabilir PID (40 kademeye kadar genişletilebilir) |
| Taban Basıncı | 10⁻⁷ Torr |
| Çalışma Vakumu (Pompalama Süresi) | 30 dakikada 10⁻⁶ Torr |
| Vakum Kontrol Aralığı | 1000 ila 10⁻⁹ Torr |
| Gövdesinin Malzemesi | Paslanmaz Çelik Tip 304; elektro-parlatılmış |
| Çalışma hacmi | 1 ila 3 m³ (ayarlanabilir) |
| Pompa Konfigürasyonu | Turbomoleküler + Mekanik (isteğe bağlı kuru pompa) |
| Gaz Girişleri (İsteğe Bağlı) | MFM kontrollü; Ar, N₂, O₂, He ve diğerleri |
| Oda Dolgusu | Ar veya N₂ (izolasyon vanaları aracılığıyla) |
| Artık Gaz Analiz Cihazı (İsteğe Bağlı) | 100 ay |
| Soğutma Sistemi | Kapalı devre su soğutma (gerektiğinde) |
| Elektrik Kesintisi Koruması | Evet; izolasyon vanası vakumu korur. |
| Kontrol Sistemi | Tam otomatik bilgisayar kontrolü; dokunmatik ekran; gerçek zamanlı LCD |
| Deney Verimliliği | Günde 2 ila 3 kez (yük hacmine bağlı olarak) |
| ayak izi | 75 × 120 cm |
| Hareketlilik | Kilitlenebilir tekerlekler |
| Garanti | 2 yıl (tasarım, malzeme ve işçilik) |