Termal Vakum Test Odası
Termal Vakum Test Odası - ToronTVT™ 600
ToronTVT™ 600, kompakt SS304 sürgülü kapılı bir kabin içinde termal vakum koşullandırmayı entegre PVD ince film biriktirme ile birleştiren çok fonksiyonlu bir termal vakum test odasıdır. 30, 40 veya 50 cm'lik oda, KF25, CF40 ve 1 inçlik geçiş delikleriyle birlikte, 200 °C'ye dayanıklı viton o-ringlere sahip, hassas dokunuşlu, elektro-cilalı iç ve dış yüzeylere sahiptir. Turbomoleküler ve mekanik pompalar 10⁻⁸ Torr temel basınca ulaşırken, Inficon geniş aralıklı vakum ölçümü 1000 ila 10⁻⁸ Torr aralığını kapsar. 10⁻⁷ Torr'da 1.5 saatlik bir döngü, günde birden fazla deneyi destekler.
Dört termal inorganik buharlaştırma kaynağı ve iki ila altı PID kontrollü organik efüzyon hücresi (25 ila 600 °C, ±1 °C), aynı haznede elektron ışını, püskürtme ve vakum fırını uygulamalarının yanı sıra biriktirme yeteneği sağlar. Çift kanallı 0.1 Å/s kalınlık kontrolörü, aktif kaynaklar boyunca biriktirme hızını ve kümülatif film kalınlığını izler. 100 ila 600 °C'lik döner altlık ısıtıcısı ile 2 ila 30 rpm'de numune döndürme, biriktirme sırasında film homojenliğini destekler. Döndürülebilir koruma perdesi bulunan 100 mm UV engelleyici ön pencere, görsel işlem izleme olanağı sağlar.
Dokunmatik ekranlı panele sahip tam otomatik bilgisayar kontrolü, tüm sistem fonksiyonlarını yönetir; tek fazlı 220VAC, 16A güç, tesis kurulumunu kolaylaştırır. Otomatik kapalı devre su soğutma, çalışma sırasında tüm kaynakları ve plazma bileşenlerini korur. 200 °C viton o-ringli KF25, CF40 ve 1 inç geçiş konfigürasyonu, hem TVAC testleri hem de kaplama iş akışları için ölçüm ve proses bağlantılarını destekler. Termal vakum testi ve ince film kaplama, aynı vakum boşaltma döngüsünde gerçekleştirilebilir, bu da işlem süresini azaltır ve vakum bütünlüğünü korur.
Termal Vakum Test Odası - ToronTVT™ 600 Uygulamaları
ToronTVT™ 600, termal vakum ortam testleri ve PVD ince film kaplama işlemlerini ayrı ayrı aletlere ihtiyaç duymadan gerçekleştiren laboratuvarlara hizmet vermektedir. Kabin formatı, birleşik işlem yeteneği ve otomatik kontrolü, aynı iş akışında termal koşullandırma ve ince film kaplama gerektiren programlar için uygun hale getirir.
- Termal Vakum Çevresel TestleriElektronik bileşenlerin, sensörlerin ve küçük montaj parçalarının performans doğrulaması ve arıza analizi için kontrollü sıcaklık ve vakum koşulları altında termal vakum döngüsüne tabi tutulması.
- OLED ve Organik Elektronik Cihaz AraştırmalarıOrganik cihaz katmanlarının termal vakum koşullandırması, vakumu bozmadan organik yayıcı, iletim ve metalik temas katmanlarının yerinde biriktirilmesiyle birleştirilmiştir.
- Perovskit ve Hibrit Güneş Hücresi AraştırmasıFotovoltaik cihaz araştırma programları için perovskit soğurucu, yük taşıma ve temas katmanlarının vakum koşullandırması ve ince film biriktirme yöntemlerinin birleştirilmesi
- Yarı İletken Bileşen Testi ve KaplamasıYarı iletken bileşenlerin termal vakum testini takiben, aynı vakum ortamında yerinde metalik temas veya pasivasyon filmi kaplama işlemi.
- Malzeme Gaz Salınımı ve Yüzey Kaplama Araştırması: Gaz salınımı karakterizasyonu için aday malzemelerin termal vakum koşullandırılması, entegre yüzey modifikasyonu veya ince film kaplama özelliği ile
- University ve Araştırma Laboratuvarı TVAC ProgramlarıAkademik programlar için, ayrı alet yatırımlarına gerek kalmadan hem çevresel test hem de ince film kaplama gerektiren, kompakt, otomatik termal vakum platformu.
Termal Vakum Test Odası - ToronTVT™ 600 Temel Özellikleri
ToronTVT™ 600, termal vakum şartlandırma, organik ve inorganik PVD kaplama, 10 kanallı termokupl izleme ve Inficon vakum ölçümünü, otomatik dokunmatik ekran kontrolüne sahip kompakt bir SS304 sürgülü kapılı kabin içinde birleştirir.
- Sürgülü Kapılı Prizmatik SS304 Hazne (30/40/50 cm)Ergonomik numune yükleme, kaynak yapılandırma ve substrat aktarımı için doğrudan erişimli sürgülü kapılara sahip kompakt kabin formatı.
- Tüy Gibi Pürüzsüz Elektro-Parlatılmış İç ve Dış YüzeylerTemiz hazne yüzeyleri, hem termal vakum testleri hem de kaplama işlemleri için gaz çıkışını ve partikül kirliliğini azaltır.
- 10 Kanallı Termokupl Sıcaklık İzleme10 adede kadar bağımsız termokupl kanalı, termal vakum testleri sırasında test parçalarının ve hazne yüzeylerinin tam uzamsal sıcaklık haritasını sağlar.
- 4 Termal İnorganik ve 2 ila 6 Organik Buharlaşma Kaynağıİnorganik termal kaynaklara ve organik efüzyon hücrelerine eş zamanlı erişim, aynı termal vakum döngüsü içinde yerinde ince film biriktirilmesini mümkün kılar.
- PID Kontrollü Sıvılaştırma Hücreleri (25 ila 600 °C, ±1 °C)Organik yarı iletken ve OLED yayıcı kaplama için gerekli sıcaklık kararlılığına sahip hassas organik malzeme buharlaştırması için Knudsen efüzyon hücreleri.
- Çok Modlu Kaplama YeteneğiEsnek proses konfigürasyonları için tek bir haznede termal buharlaştırma, elektron ışını, püskürtme ve vakum fırını uygulamaları.
- Turbomoleküler ve Mekanik Pompa Yığını, 10⁻⁸ Torr Taban BasıncıPompa kombinasyonu, hem termal vakum testleri hem de yüksek saflıkta ince film kaplama işlemleri için gerekli olan temel vakumu sağlar.
- Inficon Geniş Aralıklı Vakum Ölçümü (1000 ila 10⁻⁸ Torr)Inficon vakum ölçümü, atmosferik vakumdan baz vakuma kadar tüm TVAC ve biriktirme çalışma modlarını kapsar.
- Otomatik Havalandırma, Kısma ve İzolasyon Vanaları: Tüm basınç geçişleri için kapsamlı valf kontrolü; izolasyon valfi, deneyler arasında hazne vakumunu korur.
- 0.1 Å/s Çift Kanallı Hassas Kalınlık ve Hız Ölçümüİki bağımsız biriktirme kaynağı kanalında eş zamanlı kalınlık ve biriktirme hızı izleme
- 100 ila 600 °C arası altlık ısıtıcısı ile 2 ila 30 rpm arasında numune döndürme: Düzgün birikim ve sıcaklık kontrollü işlem koşulları için kombine rotasyon ve alt tabaka sıcaklığı kontrolü
- Döndürülebilir koruma panjurlu, 100 mm UV ışınlarını engelleyen ön gözlem penceresi: UV ışınlarına maruz kalma riski olmadan termal vakum testi ve kaplama sırasında geniş formatlı görsel erişim
- 200 °C'ye dayanıklı Viton O-ringli KF25, CF40 ve 1 inçlik geçiş bağlantılarıYüksek sıcaklıkta geçiş konfigürasyonu, tüm çalışma modlarında eş zamanlı ölçüm ve proses bağlantılarını destekler.
- Dokunmatik Ekran Paneli ile Tam Otomatik Bilgisayar KontrolüTVAC ve depolama işlemlerinin tamamı dokunmatik ekran arayüzü üzerinden otomatik olarak yönetilir.
- Otomatik Kapalı Devre Su Soğutmaİşlem boyunca biriktirme kaynaklarının ve plazma bileşenlerinin otomatik termal yönetimi
- 10⁻⁷ Torr'da 1.5 Saatlik Deney Döngüsü: Günde birden fazla termal vakum testi veya kaplama işlemi için hızlı vakum boşaltma ve işlem yürütme
- Tek Fazlı 220VAC, 16A Güç GereksinimiLaboratuvar kurulumu için standart tek fazlı elektrik bağlantısı.
- Malzeme, tasarım ve işçilik için tam garanti.Sistem bileşenleri, tasarım kalitesi ve üretim konularında kapsamlı bilgi.
Teori ve Yöntem
ToronTVT™ 600, termal vakum şartlandırmasını ve PVD ince film kaplamasını tek bir vakum kabininde birleştirerek, tek bir vakum döngüsü içinde iki laboratuvar gereksinimini karşılar. Geleneksel iş akışları, adımlar arasında atmosferik maruz kalmayı gerektiren ayrı TVAC ve kaplama araçları kullanır. ToronTVT™ 600'ün paylaşımlı vakum ortamı, termal şartlandırma ve film kaplamasının havalandırma gerektirmeden sırayla gerçekleşmesine olanak tanıyarak numune temizliğini korur. Sürgülü kapılı kabin tasarımı, her iki işlem modunda da numune yükleme ve kaynak yapılandırması için ergonomik erişim sağlar.
Termal vakum testi, numuneleri kontrollü vakum ve sıcaklık kombinasyonlarına maruz bırakarak simüle edilmiş çevresel koşullar altında performansı doğrulamayı amaçlar. Termokupl sistemi, test sırasında eksiksiz bir uzamsal sıcaklık haritası sağlayan 10 adede kadar bağımsız kanalı destekler. Masa ve örtü sıcaklıkları, her çalıştırma için vakum seviyesi ve sıcaklık verilerini kaydeden LabVIEW tabanlı arayüz üzerinden bağımsız olarak izlenir. İzolasyon vanası, testler arasında hazne vakumunu koruyarak ardışık çalıştırmalar arasındaki vakum boşaltma süresini azaltır.
Kaplama kapasitesi, metalik ve organik filmler için termal buharlaştırmayı, organik yarı iletkenler ve OLED malzemeleri için Knudsen efüzyon hücrelerini ve isteğe bağlı elektron ışını ve püskürtme konfigürasyonlarını kapsar. Dört inorganik termal kaynak ve iki ila altı PID kontrollü organik efüzyon hücresi aynı hazne hacmi içinde çalışır. 25 ila 600 °C arasında ±1 °C hassasiyetle PID efüzyon hücresi sıcaklık kontrolü, organik malzemelerin gerektirdiği akış kararlılığını korur. 0.1 Å/s hızında ve 2 ila 30 rpm alt tabaka dönüşünde çift kanallı bir QCM kontrol cihazı, kaplama proses kontrol paketini tamamlar.
Termal Vakum Test Odası - ToronTVT™ 600 Teknik Özellikleri
| Parametre | Özellikler |
|---|---|
| Gövdesinin Malzemesi | SS304 (prizmatik) |
| Oda Boyutları | 30, 40 veya 50 cm |
| Oda Erişimi | Sürgülü kapılar |
| Oda Yüzeyi | Tüy hassasiyetinde elektro-cilalama (iç ve dış yüzey) |
| Taban Basıncı | 10⁻⁸ Torr (tam yüklü sistem) |
| Çalışma Vakumu (Çevrim Süresi) | 10⁻⁷ Torr; deney başına ~1.5 saat |
| Vakum Ölçüm Aralığı | 1000 ila 10⁻⁸ Torr (Inficon sistemi) |
| Pompa Konfigürasyonu | Türbomoleküler + Mekanik |
| Valf Yapılandırması | Otomatik havalandırma, kısma ve izolasyon vanaları |
| Sıcaklık İzleme | 10 adede kadar termokupl kanalı |
| İnorganik Isı Kaynakları | 4 |
| Organik Buharlaşma Kaynakları | 2 ila 6 efüzyon hücresi (Knudsen tipi) |
| Sıvı Hücre Sıcaklığı | 25 ila 600 °C (PID, ±1 °C) |
| Biriktirme Modları | Termal buharlaştırma, elektron ışını, püskürtme, vakum fırını |
| Kalınlık İzleme | Çift kanallı; 0.1 Å/s hassasiyet |
| Numune Dönme Hızı | 2 - 30 rpm |
| Yüzey Isıtıcısı | 100 ila 600 °C (döndürme) |
| Geçiş Portları | KF25, CF40, 1 inç; 200 °C'ye dayanıklı viton o-ringler |
| Gözlem Penceresi | 100 mm ön cam; UV ışınlarını engelleyici; dönebilen koruma panjuru |
| Soğutma Sistemi | Otomatik kapalı devre su soğutma |
| Kontrol Sistemi | Tam otomatik bilgisayar kontrolü; dokunmatik ekran paneli |
| Gerilim | Tek fazlı, 220VAC, 16A (110V de mevcuttur) |
| Garanti | Tam (malzemeler, tasarım ve işçilik) |