Termal Buharlaştırma Sistemi
Termal Buharlaştırma Sistemi - ToronTES™ 1000
ToronTES™ 1000, sıralı ve eş zamanlı çok katmanlı ince film biriktirme için 2×2 kanallı eş buharlaştırma konfigürasyonuna sahip, tamamen otomatik bir termal buharlaştırma sistemidir. 12V ila 200A güç kaynağına sahip dört termal buharlaştırma kaynağı, hassas buharlaştırma kontrolü için voltaj-akım güç göstergesi sunar. SS304 prizmatik veya silindirik hazne (30 ila 60 cm kutu boyutu), 30 dakika içinde 10⁻⁷ Torr temel basınca ve 10⁻⁶ Torr çalışma vakumuna ulaşır. 1.5 saatlik bir döngü ve dokunmatik ekran kontrolü, günde birden fazla biriktirme işlemini destekler.
0.1 Å/s hızında 1 ila 4 QCM'ye sahip çift kanallı kalınlık kontrolörü ve ortalama değer çıkışı, eş buharlaştırma kaynakları boyunca biriktirme hızını izler. İzolasyon vanalarıyla desteklenen kütle akış ölçer kontrollü gaz girişleri, Ar ve N₂ hazne dolgusunu destekler ve yerinde alt tabaka yüzey hazırlığı için isteğe bağlı bir RF plazma temizleme ünitesi bulunur. İzolasyon vanası, deneyler arasında hazne vakumunu korur ve tamamen otomatik katman katman biriktirme, her kaplama dizisini kontrol eder. Otomatik kapalı devre su soğutma ve 120 °C dahili fırınlama, çalışma aralarında sistemin çalışmasını destekler.
İsteğe bağlı 50 ila 600 °C PID alt tabaka ısıtıcısı, 2 ila 30 rpm dönüş hızıyla çok çeşitli alt tabaka konfigürasyonlarına ısıtmalı kaplama imkanı sağlar. Kriyojenik ve kuru pompa seçenekleriyle birlikte turbomoleküler ve mekanik pompa kombinasyonu, 30 dakikalık vakumlama döngüsü için gereken yüksek pompalama hızını sağlar. Kilitlenebilir tekerlekler üzerindeki 75×120 cm'lik taban alanı, standart kapılardan geçebilir. Standart 1", QF, CF ve ISO geçiş portları ve dönebilen panjurlu ön görüntüleme penceresi, esnek hazne entegrasyonunu destekler.
Termal Buharlaştırma Sistemi - ToronTES™ 1000 Uygulamaları
ToronTES™ 1000, otomatik kontrol ve tutarlı biriktirme hızlarıyla çok katmanlı ve birlikte buharlaştırılmış metalik ve inorganik film biriktirme gerektiren araştırma ve üretim ince film laboratuvarlarına hizmet vermektedir. 2×2 birlikte buharlaştırma konfigürasyonu ve QCM tabanlı kalınlık kontrolü, heterojen çok katmanlı yığınlar, alaşım filmler ve bileşimsel olarak derecelendirilmiş katmanlar içeren araştırma programları için uygun hale getirir.
- Metal İnce Film ve Temaslı Kaplama: Cihaz araştırma programlarında yarı iletken kontaklar, ara bağlantılar ve elektrot metalizasyonu için Au, Al, Cr, Ag ve diğer metalik filmlerin termal buharlaştırması
- Çok Katmanlı İnce Film KaplamaOptik kaplamalar, manyetik çok katmanlı yapılar ve fonksiyonel cihaz yığınları için tek bir vakum çevriminde farklı malzeme katmanlarının ardışık buharlaştırılması.
- Birlikte Buharlaştırma Alaşım Filmi AraştırmasıAlaşım ve bileşik filmler için eş zamanlı çift kaynaklı birlikte buharlaştırma yöntemi; bileşimin her bir kaynak kanalının göreceli güç ayarlarıyla kontrol edilmesi sağlanır.
- OLED ve Organik Cihaz AraştırmalarıOrganik cihaz yapılarında metalik temas ve yük taşıma katmanlarının termal buharlaştırma yöntemiyle oluşturulması, yüksek vakumlu temiz metalik film biriktirme gerektirir.
- Optik Ayna ve Yansıtıcı Kaplama KaplamasıOptik bileşenler, fotonik cihazlar ve teleskop aynaları üretimi için metalik reflektörlerin yüksek hızlı buharlaştırma yöntemi
- Güneş Hücresi ve Enerji Cihazı AraştırmasıFotovoltaik ve enerji cihazı araştırma programları için metalik arka kontakların, soğurucu katmanların ve ince film cihaz yığını bileşenlerinin termal buharlaştırma yöntemiyle üretimi
- Akademik ve University İnce Film Araştırması: Metalik ve inorganik ince film sistemlerinde eğitim ve malzeme araştırmaları için otomatik çok katmanlı biriktirme platformu
Termal Buharlaştırma Sistemi - ToronTES™ 1000 Temel Özellikleri
ToronTES™ 1000, kompakt, yüksek vakumlu ince film biriktirme platformunda 2×2 eş buharlaştırmalı termal kaynak konfigürasyonunu, çift kanallı QCM kalınlık izlemeyi, MFM gaz kontrolünü ve LabVIEW ile tam uyumlu otomasyonu bir araya getiriyor.
- 2x2 Kanallı, 12V - 200A Aralığında, Güç Göstergeli Eş Buharlaştırmalı Termal KaynaklarTek bir vakum çevriminde kontrollü ardışık ve eş zamanlı iki malzeme biriktirme için voltaj-akım güç göstergeli dört kaynaklı eş buharlaştırma konfigürasyonu
- 1 ila 4 QCM ile 0.1 Å/s Çift Kanallı Kalınlık İzlemeÇoklu sensörlü kalınlık ve hız izleme sistemi, eş çökelme kaynak kanalları genelinde ölçüm doğruluğunu artırmak için ortalama değer çıktısı sunar.
- Tamamen Otomatik Katman Katman KaplamaKaplama katmanlarının her birinin, kaplama adımları arasında operatör müdahalesi olmadan otomatik olarak kontrol edilmesi.
- Dokunmatik Ekran ve LCD Panel KontrolüTüm sistem işlemleri, gerçek zamanlı LCD durum göstergeleriyle dokunmatik ekran arayüzü üzerinden otomatik olarak yönetilir.
- 10⁻⁷ Torr Temel Basınç, 30 Dakikada 10⁻⁶ Torr: Kriyojenik ve kuru pompa seçenekleriyle turbomoleküler ve mekanik pompa sistemi; hızlı vakum boşaltma, 1.5 saatlik deney döngüsünü destekler.
- Geniş Aralıklı Vakum Kontrolü (1000 ila 10⁻⁹ Torr)Atmosferik vakumdan derin vakuma kadar tüm aralıkta entegre vakum ölçümü ve kontrolü.
- SS304 Hazne (30 ila 60 cm, Prizmatik veya Silindirik)Farklı alt tabaka ve kaynak konfigürasyonları için çeşitli kutu boyutu seçeneklerinde temiz, elektro-parlatılmış yüzeyler.
- Standart 1 inç, QF, CF ve ISO Geçiş PortlarıEsnek ölçüm, kaynak ve proses gazı entegrasyonu için yapılandırılabilir geçiş seçimi
- MFM Kontrollü Gaz Girişleri, Ar veya N₂ Hazne Dolgusu ile: Seçici oda atmosferi yönetimi ve çökelme sonrası dolgu için izolasyon vanalarıyla kütle akış ölçer kontrollü gaz dağıtımı
- İzolasyon Vanalı Vakum TutmaDeneyler arasında hazne vakum altında kalır, bu da vakum süresini kısaltır ve film yüzeylerini atmosferik etkilerden korur.
- İsteğe bağlı 50 ila 600 °C PID Numune IsıtmaFilm kristalliği ve ısıtılmış alt tabakalara kaplama için alt tabaka sıcaklığının yönetimi
- 2 ila 30 rpm Arasında Ayarlanabilir Numune Döndürme: Yüzey boyunca düzgün film kalınlığı dağılımı için sürekli hız ayarı
- İsteğe Bağlı Numune Yüzey Temizliği (RF Plazma ile)Kaplama işleminden önce vakumu bozmadan alt tabaka yüzeylerinin yerinde RF plazma temizliği
- Otomatik Kapalı Devre Su SoğutmaYüksek güçlü eş buharlaştırma işlemleri sırasında buharlaştırma kaynaklarının ve hazne bileşenlerinin termal yönetimi
- İç Aydınlatma ve 120 °C Pişirme KapasitesiÇalışmalar arası şartlandırma ve artık nemin giderilmesi için hazne inceleme aydınlatması ve fırınlama.
- Döndürülebilir panjurlu ön gözetleme penceresiİşlem takibi için doğrudan görsel erişim, hassas biriktirme zamanlaması ve hazne koruması için dönebilen bir deklanşör
- 1.5 Saatlik Deney Döngüsü SüresiHızlı vakum boşaltma ve proses yürütme, günde birden fazla biriktirme işleminin gerçekleştirilmesini destekler.
- 75×120 cm Kilitlenebilir Tekerlekli Mobil PlatformKompakt tasarımı sayesinde standart kapılardan geçebilir ve esnek laboratuvar yerleşimine olanak tanır.
- Tasarım, malzeme ve işçilik için bir yıl garanti.Sistem bileşenleri ve üretim kalitesi için yıllık kapsam.
Teori ve Yöntem
Termal buharlaştırma, yüksek vakumda bir kaynak malzemeyi dirençli bir şekilde ısıtarak buharlaşmasını ve açığa çıkan atomların üstteki alt tabakalarda yoğunlaşmasını sağlayarak ince filmler oluşturur. Yüksek akım kaynağı, dirençli bir tekne, bobin veya sepetten akım geçirerek kaynağı hızla buhar basıncı eşiğine kadar ısıtır. 10⁻⁵ Torr'un altındaki basınçlarda, atomlar saçılmadan hareket eder ve ince bir film olarak homojen bir şekilde yoğunlaşır. Voltaj-akım göstergeli 12V - 200A güç kaynağı, operatöre tüm biriktirme işlemi boyunca buharlaşma hızı üzerinde doğrudan kontrol sağlar.
2×2 eş buharlaştırma konfigürasyonu, her biri iki kaynağa hizmet eden iki kanalı aynı anda çalıştırarak tek bir vakum döngüsünde iki malzemenin biriktirilmesini sağlar. Eş buharlaştırma, bileşimi her kanalın göreceli buharlaşma hızları tarafından belirlenen alaşım ve bileşik filmler üretir. 1 ila 4 sensörlü ve ortalama değer çıkışlı çift kanallı bir QCM kontrol cihazı, her malzemenin hızını gerçek zamanlı olarak izler. Ayrı kanalların ardışık çalışması, alt tabaka konumunu değiştirmeden veya hazneyi havalandırmadan farklı malzeme katmanları biriktirir.
Türbomoleküler ve mekanik pompa kombinasyonu, geniş bir aralıkta (1000 ila 10⁻⁹ Torr) ölçüm sistemi boyunca 10⁻⁷ Torr temel basınca ulaşarak hem metalik buharlaştırmayı hem de çok katmanlı biriktirmeyi destekler. MFM kontrollü Ar veya N₂ gaz girişleri, seçici hazne dolgusu ve kontrollü atmosfer koşulları sağlar. İsteğe bağlı 50 ila 600 °C PID altlık ısıtıcısı (2 ila 30 rpm dönüş hızıyla) ve isteğe bağlı RF plazma temizleme, işlem hazırlık aralığını genişletir. Otomatik kapalı devre su soğutma ve 120 °C dahili fırınlama, biriktirmeler arasında sistemin durumunu korur.
Termal Buharlaştırma Sistemi - ToronTES™ 1000 Teknik Özellikleri
| Parametre | Özellikler |
|---|---|
| Termal Kaynaklar | 2×2 kanallı eş buharlaştırma konfigürasyonu (4 kaynak) |
| Kaynak Güç Kaynağı | Kanal başına 12V - 200A; voltaj-akım güç göstergesi |
| Taban Basıncı | 10⁻⁷ Torr |
| Çalışma Vakumu (Pompalama Süresi) | 30 dakikada 10⁻⁶ Torr |
| Vakum Kontrol Aralığı | 1000 ila 10⁻⁹ Torr |
| Pompa Konfigürasyonu | Turbomoleküler + Mekanik (kriyojenik ve kuru pompa seçenekleri) |
| Gövdesinin Malzemesi | SS304 (prizmatik veya silindirik); elektro-parlatılmış |
| Oda Boyutları | 30/40/50/60 cm kutu boyutu |
| Geçiş Portları | Standart 1 inç, QF, CF, ISO |
| Yüzey Isıtma (İsteğe Bağlı) | 50 ila 600 °C (PID kontrollü) |
| Numune Dönme Hızı | 2 ila 30 devir/dakika (ayarlanabilir) |
| Plazma Temizleme (İsteğe Bağlı) | RF plazma (alt tabaka yüzeyi) |
| Kalınlık İzleme | Çift kanallı; 0.1 Å/s; 1 ila 4 QCM; ortalama değer |
| Gaz Girişleri | MFM kontrollü; Ar veya N₂ dolgu; izolasyon vanaları |
| Soğutma Sistemi | Otomatik kapalı devre su soğutma |
| İçten Pişirme | 120 °C'ye kadar |
| Gözlem Penceresi | Önden gözetleme penceresi; döner panjur |
| Kontrol Sistemi | Tam otomatik bilgisayar kontrolü; dokunmatik ekran; gerçek zamanlı LCD |
| Deney Döngüsü Süresi | En fazla 1.5 saat içerisinde size döneceğiz. |
| ayak izi | 75 × 120 cm |
| Kapı Boşluğu | Standart kapılardan geçer. |
| Hareketlilik | Kilitlenebilir tekerlekler |
| Garanti | 1 yıl (tasarım, malzeme ve işçilik) |