Yük-Kilit Donanımlı Kaplama Sistemi
Load-Lock donanımlı Kaplama Sistemi ToronTS-450, Load-Lock hazneleriyle daha hızlı işleme ve üstün kaplama kalitesi sunar. Numune yükleme ve boşaltma, Load-Lock haznesinde gerçekleşir ve manyetik transfer kolu numuneyi ana hazneye taşır.
Bu geliştirme, ürün yelpazemizdeki Termal, Sputtering, E-Beam ve HiPIMS sistemleri için mevcuttur. ToronVak Load-Lock kurulumu, her 10 dakikada bir yeni bir gofretin yüklenmesine izin verirken 15⁻⁷ Torr'luk yüksek vakum ortamında kaplamayı mümkün kılar.
Yarı İletken ve Yonga Levha Üretimi - Kirlenme riskini en aza indirerek yonga levhalar üzerine yüksek verimli ince film biriktirme, sürekli işleme ve sık numune değişimine olanak tanır.
Mikroelektronik ve Optoelektronik - Sensörler, MEMS cihazları, fotodedektörler ve optoelektronik bileşenler için iletken ve yalıtkanların kararlı vakum koşulları altında hassas kaplanması.
Enerji ve Fotovoltaik - Reaktif püskürtme ve termal kaynaklar kullanılarak güneş pilleri ve enerji depolama cihazlarının yüksek verimli çok katmanlı ince filmlerle gelişmiş kaplanması.
Havacılık ve Otomotiv Mühendisliği - Performansı, aşınma direncini ve termal kararlılığı artırmak için kritik bileşenlere dayanıklı metalik ve dielektrik kaplamaların uygulanması.
Ekran ve Optik Kaplamalar - Cam, optik ve ekran alt tabakalarına, formül kontrollü homojenlikte şeffaf, yansıma önleyici ve iletken katmanların kaplanması.
Yüzey Mühendisliği ve Endüstriyel Kaplama Hizmetleri - Verimli çoklu numune işleme olanağı ve daha az arıza süresi sağlayan, sözleşmeli kaplama hizmetleri için güvenilir platform.
Araştırma ve Geliştirme - Üniversiteler, laboratuvarlar ve kurumsal Ar-Ge ekipleri için yeni ince film malzemeleri, kaplama teknikleri ve çok katmanlı mimarileri araştırmak üzere tasarlanmış esnek bir sistem.
- Oda Tasarımı: SS304 malzemeden üretilmiş, elektro-cilalı, yumuşak iç yüzeye ve opsiyonel olarak su soğutmalı yüzeylere sahip prizmatik/silindirik vakum odası.
- Bağlantı Noktası Yapılandırması: Ek termal veya püskürtme kaynaklarına kolay yükseltme için standart 1", QF, CF ve ISO bağlantı noktaları.
- Gözlem ve Kontrol: UV engelleyici gözlem penceresi, döndürülebilir kapı panjuru ve hassas kalınlık kontrolü için LabVIEW programlı numune panjuru.
- Vakum sistemi: Yüksek hızlı çalışma özelliğine sahip turbo moleküler, mekanik ve kuru pompalar, 10⁻⁸ Kapı ana haznedeki taban basıncı.
- Yük-Kilit Performansı: Özel pompalar ulaşır 10⁻⁶ Kapı 10 dakikada, püskürtme, e-ışın ve termal kaynaklara uyarlanabilir.
- Vanalar ve İzolasyon: Gaz kelebeği, havalandırma, izolasyon ve sürgülü vanalar, rölantide iken haznenin vakum altında kalmasını sağlar.
- Otomatik Kontrol: Yazılım veya panel kontrolü ile gerçek zamanlı LCD ekranlarla tam otomatik biriktirme.
- Soğutma Sistemi: Uygun vakum koşulları olmadan güç aktivasyonunu önlemek için kilitleme korumasına sahip otomatik kapalı devre su soğutması.
- Püskürtme Yetenekleri: Esnek kafalı, kendi ekseninde dönme ve sıkıştırma sızdırmazlığına sahip 1”- 6” püskürtme tabancaları (RF ve DC tahrikli).
- Malzeme Kaplama: Reçete bazlı kontrol ile iletkenleri (Au, Al, Ti, Ni) ve yalıtkanları (MgO, TiO₂, SiO₂, TiN) yüksek oranlarda kaplar.
- Vakum Hassasiyeti: Ayarlanabilir vakum kontrolü 1000 - 10⁻⁹ Torr aşağı akış/yukarı akış düzenlemesi kullanılarak.
- Örnek Isıtma ve Döndürme: PID kontrollü ısıtma 50 - 600 ° C (±1°C hassasiyet) ve 2-30 dev / dak ayarlanabilir rotasyon, plazma temizleme (DC/RF) ile.
- Yükleme Mekanizması: Kolay kullanım için manyetik transfer kolu 2”, 3”, 4” ve 6” örnekleri.
- Kalınlık Ölçümü: Çift kanallı, 0.1 Å/sn İki QCM ile hassas kalınlık oranı ölçümü.
- Termal Kaynaklar: 8V - 500A, 4000W Çapraz kontaminasyonu en aza indiren ve kolay kaynak değişimine izin veren bir tasarıma sahip, sıralı ve eş buharlaştırma için termal kaynaklar.
- Efüzyon Hücreleri: 50-800±1°C organik buharlaştırma hücreleri.
- Gaz Karıştırma ve Püskürtme: Dijital MFC kontrollü gaz girişleri (Ar, N₂, O₂, He, CH₄, vb.) 0.1 sccm hassasiyeti reaktif püskürtme için.
- Verimlilik: 1.5 saatlik deney döngüsü, etkinleştirme Günde 10-15 deney.
- Garanti: 2 yıllık Malzeme, tasarım ve işçilik için kapsam.
