Çan Kavanozu Termal Buharlaştırma Sistemi
Çan Şeklinde Termal Buharlaştırma Sistemi - ToronEva™ Çan Şeklinde Sistem
ToronEva™ Bell Jar, araştırma ve geliştirme laboratuvarlarında ince film biriktirme için tamamen otomatik bir çan tipi termal buharlaştırma sistemidir. Yüksek vakum ortamında dirençli ısıtma, 10⁻⁷ Torr'a ulaşan temel basınçlarda metal, oksit ve organik ince filmler üretir. Panel kontrolü, hızlı çevrim süreleri ve ayarlanabilir kaynak-altlık mesafesi, buharlaştırma malzemesinden tasarruf ederken işlemi basitleştirir. Sistem, 4 inçlik wafer'ları, 1×3 inçlik lamelleri ve çeşitli altlık boyutlarını işleyerek değişen biriktirme gereksinimlerine kolayca uyum sağlar.
SS316 esnek hortum ve toz filtresiyle donatılmış bir turbomoleküler ve mekanik pompa kombinasyonu, 30 dakikadan kısa sürede 10⁻⁶ Torr'a ulaşır. Vakum aralığı, otomatik havalandırma, geri doldurma ve hazne tutma özelliğiyle 1000 ila 10⁻⁹ Torr arasındadır. Çan şeklindeki hazne Pyrex cam veya SS304 malzemeden üretilmiştir ve kilitlenebilir tekerlekleri olan 75×120 cm'lik taban alanı, standart 85 cm'lik bir kapıdan geçebilir. Otomatik açma/kapama kontrolüne sahip kapalı devre su soğutucu, uzun süreli biriktirme işlemleri sırasında ısı yükünü yönetir.
ToronEva™ Bell Jar, 4×1 sıralı veya 2×2 eş buharlaştırma için isteğe bağlı dört kaynaklı düzenlemeyle sıralı ve eş buharlaştırma konfigürasyonlarını destekler. Servo kontrollü bir deklanşör, iki termal kaynağı aynı anda besler ve bir QCM'ye sahip çift kanallı kalınlık monitörü, biriktirme hızını ve kümülatif film kalınlığını gerçek zamanlı olarak izler. Tescilli kaynak haznesi geometrisi, malzemeler arasında çapraz kontaminasyonu önleyerek ardışık çalıştırmalar boyunca film saflığını korur. 2 ila 30 rpm'de numune döndürme, alt tabaka yüzeyinde biriktirme homojenliğini artırır.
Çan Şeklinde Termal Buharlaştırma Sistemi - ToronEva™ Çan Şeklinde Uygulamaları
ToronEva™ Bell Jar, araştırma kurumları, üniversite laboratuvarları ve kontrollü ince film çalışmaları için laboratuvar tipi vakumlu kaplama cihazına ihtiyaç duyulan özel endüstriyel tesislerdeki ince film kaplama gereksinimlerini karşılar. Çok yönlü hazne konfigürasyonu ve çoklu numune tutucu seçenekleri, onu çok çeşitli alt tabaka türleri ve kaplama malzemeleri için uygun hale getirir.
- Akademik ve University AraştırmaKampüs laboratuvar ortamlarında temel malzeme bilimi ve cihaz fiziği çalışmaları için metallerin, oksitlerin ve organik filmlerin biriktirilmesi
- Yarıiletken Aygıt ÜretimiTransistör ve entegre devre prototip geliştirme için silikon levhalar üzerinde metal kontakların, geçit elektrotlarının ve dielektrik katmanların oluşturulması
- Optik İnce Film AraştırmasıFotonik ve optik bileşen geliştirme amacıyla cam ve kristal alt tabakalara yansıtıcı ve yansıma önleyici kaplamaların uygulanması
- Organik Elektronik ve OLED AraştırmalarıOrganik fotovoltaik hücreler, OLED'ler ve ince film transistör prototipleri için organik ve metalik katmanların kontrollü biriktirilmesi
- MEMS ve NEMS ÜretimiMikroelektromekanik ve nanoelektromekanik cihaz geliştirme için metalizasyon ve fonksiyonel film kaplama
- Güneş Pili AraştırmasıLaboratuvar ölçekli fotovoltaik hücre prototiplemesi ve verimlilik çalışmaları için temas katmanlarının ve soğurucu filmlerin biriktirilmesi
- Malzeme Bilimi ve Yüzey Mühendisliğiİnce film karakterizasyon çalışmaları; film kalınlığı, bileşimi ve biriktirme hızının hassas kontrolünü gerektirir.
Çan Şeklinde Termal Buharlaştırma Sistemi - ToronEva™ Çan Şeklinde Sistem Temel Özellikleri
ToronEva™ Bell Jar, araştırma laboratuvarı ortamlarında tekrarlanabilirlik, kontaminasyon kontrolü ve operasyonel basitliğe yönelik özelliklerle yüksek vakum performansını bir araya getiriyor.
- Tam Otomatik Vakum YönetimiHızlı çevrim sürelerine sahip panel kontrolü, operatör adımlarını ve ardışık kaplama işlemleri arasındaki hazırlık süresini azaltır.
- Pyrex Cam veya SS304 Çan Şeklinde KavanozOperatör, proses kimyasına uygun hazne malzemesini seçer; esnek geçiş entegrasyonu için standart 1 inçlik portlar mevcuttur.
- Çok Yönlü Numune Tutucu Seçimi4 inçlik wafer'ları, 1x3 inçlik lamelleri ve küçükten büyüğe numuneleri kolay yükleme özelliğiyle barındırır.
- Ayarlanabilir Kaynak-Alt Tabaka Mesafesi: Hazne modifikasyonu yapmadan kaynağı alt tabakaya göre yeniden konumlandırarak biriktirme açısını ve oran dağılımını optimize eder.
- SS304 İç Koruma CeketiOdanın içini doğrudan buharlaşmaya maruz kalmaktan koruyarak servis aralıklarını uzatır ve kaplama sonrası temizliği kolaylaştırır.
- 10⁻⁷ Torr Temel Basınç ve Hızlı Pompalama: 30 dakikadan kısa sürede 10⁻⁶ Torr çalışma basıncına ulaşarak çoklu çalıştırma seanslarında çevrim süresini kısaltır.
- Turbomoleküler ve Mekanik Pompa YığınıSS316 esnek hortum ve toz filtresiyle birlikte kullanılan pompalar, tüm çalışma aralığı boyunca temiz ve düşük kirlilikli vakum sağlar.
- Geniş Aralıklı Vakum Kontrolü (1000 ila 10⁻⁹ Torr)Entegre kontrol ve ölçüm sistemi, otomatik havalandırma ve geri doldurma özelliğiyle manuel vana kullanımını ortadan kaldırır.
- Entegre Kapalı Devre Su SoğutucuOtomatik termal yönetim, sürekli çalışma sırasında sistemi korumak için gerektiğinde soğutmayı etkinleştirir ve devre dışı bırakır.
- İsteğe Bağlı Dört Kaynaklı YapılandırmaTek bir vakum çevriminde alaşım, bileşik veya çok katmanlı film biriktirme için 4×1 sıralı veya 2×2 eş buharlaştırmayı destekler.
- Elektrik Kesintisinde Otomatik Kapanma ve Vakum Tutma ÖzelliğiGüç kaybı durumunda güvenli bir şekilde kapanır ve numuneleri korumak ve çökelme ortamını muhafaza etmek için hazne vakumunu korur.
- 2000 W Termal Buharlaştırmalı Güç Kaynağı10 V ile 200 A arasındaki çıkış aralığı, düşük erime noktalı organik maddelerden yüksek sıcaklıktaki metallere kadar her türlü malzemeyi tek bir ünitede işleyebilir.
- Çapraz Kontaminasyonun Giderilmesi TasarımıÖzel kaynak haznesi geometrisi, buharlaşan maddenin kaynaklar ve hazne duvarları arasında çapraz temasını önleyerek malzemenin saflığını korur.
- QCM özellikli Çift Kanallı Kalınlık Monitörüİki bağımsız kaynaktan eş zamanlı olarak biriktirme hızının ve kümülatif film kalınlığının gerçek zamanlı olarak izlenmesi
- 2 ila 30 rpm Numune DöndürmeAyarlanabilir alt tabaka dönüşü, buhar akışını eşit şekilde dağıtarak alt tabaka alanı boyunca film kalınlığının homojenliğini artırır.
- Servo Kontrollü Çift Kaynaklı DeklanşörTek bir paylaşımlı deklanşör, servo tahrik kontrolü ile her iki termal kaynak için de biriktirme başlatma ve sonlandırma işlemlerini eş zamanlı olarak gerçekleştirir.
- Tek Dokunuşla Havalandırma KontrolüTek bir düğme, otomatik vakum yönetim dizisini başlatarak, adım adım manuel işlemlere gerek kalmadan hazneye erişimi kolaylaştırır.
- Operatör Dostu ArayüzSezgisel kontrol düzeni ve net ekran, yeni kullanıcılar için öğrenme sürecini kısaltır ve günlük laboratuvar işlemlerini hızlandırır.
- Kompakt Mobil Platform75×120 cm boyutlarındaki taban alanı ve kilitlenebilir tekerlekleri sayesinde sistem, laboratuvar içinde yer değiştirilebilmesine olanak tanırken aynı zamanda stabil bir konumlandırma sağlar.
- Standart Kapı Girişi MesafesiSistem, standart 85 cm'lik bir kapıdan geçebildiği için, geleneksel koridor genişliklerine sahip binalarda kurulum ve yer değiştirme engellerini ortadan kaldırır.
- Bir Yıl Tam GarantiTasarım, malzeme ve işçilik güvencesi, laboratuvarlara uzun vadeli güvenilirlik ve üretici sorumluluğu konusunda güven verir.
Teori ve Yöntem
Termal buharlaştırma, yüksek vakumlu bir odanın içinde kaynak malzemeyi buharlaşma noktasına kadar ısıtarak ince filmler oluşturur. Yüksek akımlı, düşük voltajlı bir güç kaynağı, tungsten tekne, bobin veya sepet gibi dirençli bir kaynaktan elektrik akımı geçirir. Buharlaşmış atomlar vakumda düz çizgiler halinde hareket eder ve kaynağın üzerinde konumlandırılmış alt tabaka yüzeylerinde yoğunlaşır. 10⁻⁵ Torr'un altındaki basınçlarda, artık gaz molekülleri buhar atomlarını dağıtamayacak kadar seyrektir ve bu da yüksek saflıkta filmler üretir.
Vakum sistemi, film kalitesini kaynak malzemenin kendisi kadar belirler. Mekanik bir pompa ile desteklenen bir turbomoleküler pompa, hazneyi 10⁻⁷ Torr'un altındaki temel basınçlara kadar boşaltarak artık gaz kirliliğini ihmal edilebilir seviyelere indirir. Otomatik havalandırma ve geri doldurma fonksiyonları, operatörün manuel valf işlemleri olmadan hazneyi çalıştırmasına olanak tanır ve vakum tutma modu, kaplamalar arasında ortamı korur. 2000 W (10 V - 200 A) güç kaynağı, tek bir ünitede hem düşük erime noktalı organik maddeleri hem de yüksek sıcaklıkta refrakter metalleri destekler.
Çift kanallı bir biriktirme kontrolörü ve bir kuvars kristal mikroterazi (QCM), film kalınlığını gerçek zamanlı olarak izler. Salınım yapan QCM kristali üzerinde film kütlesi biriktikçe, rezonans frekansı, Sauerbrey denkleminden türetilen bir ilişkiyle, biriktirilen kalınlıkla orantılı olarak değişir. Kontrolör, biriktirme işlemini kesintiye uğratmadan bu frekans kaymasını sürekli olarak kalınlık okumasına dönüştürür. Numunenin 2 ila 30 rpm arasında döndürülmesi, buhar akışını alt tabaka boyunca eşit olarak dağıtarak homojenliği artırır.
Çan Şeklinde Termal Buharlaştırma Sistemi - ToronEva™ Çan Şeklinde Sistem Teknik Özellikleri
| Parametre | Özellikler |
|---|---|
| Termal Buharlaştırmalı Güç Kaynağı | 2000 W (10 V – 200 A) |
| Taban Basıncı | 10⁻⁷ Torr |
| Çalışma Vakum Seviyesi (Pompalama Süresi) | 10⁻⁶ Torr ≤30 dakika içinde |
| Vakum Kontrol Aralığı | 1000 ila 10⁻⁹ Torr |
| Pompa Konfigürasyonu | Türbomoleküler + Mekanik |
| Pompa Hortumu | Toz filtreli SS316 esnek hortum |
| Çan Şeklinde Malzeme | Pyrex cam veya SS304 silindir |
| Çan Kavanozu Bağlantı Noktaları | Standart 1 inç |
| İç Koruma Ceketi | SS304 silindirik |
| Numune Tutucu Seçenekleri | 4 inçlik gofret; 1×3 inçlik lameller; küçük ve büyük numuneler |
| Kaynak-Alt Tabaka Mesafesi | Ayarlanabilir |
| Numune Dönme Hızı | 2 - 30 rpm |
| Kalınlık İzleme | Çift kanallı kalınlık monitörü + bir QCM |
| Standart Isı Kaynağı Sayısı | 2 |
| İsteğe Bağlı Kaynak Yapılandırması | 4 kaynak (4×1 ardışık veya 2×2 birlikte buharlaştırma) |
| Shutter | Servo kontrollü, iki termal kaynağa ortak. |
| Soğutma Sistemi | Kapalı devre su sebili (otomatik açma/kapama) |
| Vakum Yönetim Fonksiyonları | Otomatik havalandırma, geri doldurma ve hazne tutma |
| ayak izi | 75 × 120 cm |
| Kapı Boşluğu | Standart 85 cm'lik kapı aralığından geçer. |
| Hareketlilik | Kilitlenebilir tekerlekler |
| Garanti | 1 yıl (tasarım, malzeme ve işçilik) |