PLD Darbeli Lazer Biriktirme Sistemi
Uyarlanabilir PLD Darbeli Lazer Biriktirme Sistemi ve Termal Buharlaştırma Sistemi – PLD-T, hem Darbeli Lazer Biriktirme hem de Termal Buharlaştırma tekniklerini kullanarak çeşitli malzemelerin biriktirilmesine olanak tanıyan gelişmiş bir yüksek vakumlu ince film biriktirme sistemidir. Bu sistem, minimum kurulum gereksinimiyle karmaşık malzemeleri ve kristal yapıları substratlar üzerine biriktirme kapasitesine sahiptir.
Darbeli Lazer Biriktirme tekniği, hedef malzemelerin stokiyometrisini koruyarak verimli termal olmayan ablasyon işlemini kolaylaştırır. Bu yöntemi kullanarak nitrürler, oksitler, süper örgüler, polimerler ve kompozitler gibi malzemeleri biriktirmek mümkündür.
Darbelemeli Lazer Biriktirme (PLD) – Oksitler, nitrürler, polimerler ve kompozitler gibi karmaşık malzemelerin hassas, stokiyometrik transferini sağlar.
Kristal İnce Filmler – Yarı iletken ve optoelektronik uygulamalar için süper kafeslerin ve gelişmiş kristal yapıların biriktirilmesini kolaylaştırır.
Termal Buharlaştırma – Tekne, sepet veya bobin tipi buharlaştırma kaynakları kullanılarak metal ve dielektrik ince film kaplama işlemlerini destekler.
Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ve TEM Numune Hazırlama – İletken olmayan numuneler ve destek ızgaraları için yüksek kaliteli kaplamalar üretir.
Spektroskopik ve Yapısal Çalışmalar – EDS/WDS, EBSD ve optik karakterizasyon için uygun, homojen ince filmler sağlar.
İnce Film Araştırma ve Geliştirme – Mikroelektronik, nanoteknoloji, süperiletkenler ve güneş pili araştırmaları için faydalıdır.
Plazma Temizleme ve Yüzey Hazırlığı – Doğru ve tekrarlanabilir ince film büyümesi için kirlilikten arındırılmış yüzeyler sağlar.
Akademik ve Araştırma Laboratuvarları – Öğretim, ileri eğitim ve çok disiplinli araştırma projeleri için esnek bir platform.
- Hedef Manipülatörü: Hassas konumlandırma için ayarlanabilir dönüş hızı.
- Termal Kaynaklar: Gelişmiş işlevsellik için özel geçişli üç termal kaynak.
- Gerçek Zamanlı Kalınlık Ölçümü: Doğru ölçüm için 1 nm hassasiyete sahip kuvars kristal izleme sistemi.
- Kullanıcı dostu arayüz: Kaplama işleminin kolay kontrolü ve hızlı veri girişi için sezgisel dokunmatik ekran.
- Plazma Temizliği: Optimum yüzey hazırlığını sağlamak için plazma temizleme tesisi.
- Yükseltilebilir Yazılım: Daha iyi performans için ağ üzerinden güncellenebilen kullanıcı dostu yazılım.
- Örnek İşleme: Etkin numune yönetimi için döner numune tutucu ve elektronik kapakla donatılmıştır.
- Motorlu Tekne Seçimi: Motorlu işlevsellik ile tekne malzemelerini seçme ve kullanma yeteneği.
- Yüzey Isıtma: Kontrollü biriktirme işlemlerini kolaylaştırmak için 500 °C alt tabaka ısıtıcısı.
- Garanti ve Sigorta: Vac Coat sistemlerinin neden olduğu maddi hasarlara veya kişisel yaralanmalara karşı ek koruma için sistem için iki yıllık garanti ve dünya çapında kamu ve ürün sorumluluk sigortası kapsamı.
Termal Buharlaşma Kaynakları (Tekne/Sepet/Bobin):
Darbeli Lazer Biriktirme Sistemi, tekneler, sepetler veya bobinler şeklinde olabilen üç bağımsız ısıya dayanıklı termal buharlaşma kaynağına uyarlanabilir. Bu kaynaklar, diğer malzemelere kirlilik aktarımına neden olmadan verimli malzeme buharlaşması için tasarlanmıştır. Kaynak tutucuların uzunluğu, özel müşteri gereksinimlerine göre 5 ila 10 cm arasında ayarlanabilir.
Hedef Manipülatörü:
PLD sistemi, her biri 2 cm çapında üç hedefi idare edebilecek şekilde donatılmış çok hedefli bir manipülatöre sahiptir. Hedefler standart boyuttadır ve tüm hedef manipülatörleri motorlu olup, yerleştirme işlemi sırasında hedefin hassas şekilde döndürülmesine ve konumlandırılmasına olanak tanır.
Canlı Ekranlı Sezgisel Dokunmatik Ekran Kontrolü:
PLD-T Darbeli Lazer Biriktirme Sistemi, kolay kontrol ve izleme için sezgisel bir arayüz sağlayan, kullanıcı dostu 7 inç renkli dokunmatik ekranla tasarlanmıştır. Dokunmatik ekran, tam otomatik kontrole ve zahmetsiz veri girişine olanak tanıyarak sınırlı deneyime sahip kullanıcıların bile erişebilmesini sağlar.
Kullanıcılar, hem dijital formatta hem de grafiksel eğrilerde görüntülenen vakum seviyelerini, mevcut durumu ve biriktirme bilgilerini doğrudan dokunmatik ekranda rahatlıkla gözlemleyebilir. Ek olarak sistem, son 300 kaplamaya ait verilerin referans ve analiz amacıyla kaydedilip incelenebildiği bir geçmiş sayfası içerir. Bu özellik verimliliği artırır ve kaplama süreci boyunca kusursuz bir kullanıcı deneyimi sağlar.
Bu spesifikasyonlar, Darbeli Lazer Biriktirme ve Termal Evaporatör Sisteminin temel bileşenlerini ve özelliklerini özetlemekte ve sistemin vakum işlemi, güç kaynağı, gaz akışı kontrolü, veri analizi ve kullanım kolaylığı konusundaki yeteneklerini vurgulamaktadır.
PLD-T Seçenekleri ve Aksesuarları:
Termal Buharlaşma Kaynakları:
- Farklı biriktirme gereksinimlerine uyacak şekilde Tekne, Sepet veya Bobin konfigürasyonları mevcuttur.
Yüzey Isıtıcısı:
- Biriktirme sırasında hassas alt tabaka sıcaklığı kontrolünü kolaylaştırmak için 500°C'ye kadar ısıtma kapasitesine sahiptir.
Buharlaşma Kaynakları Malzemeleri:
- Termal buharlaşma kaynaklarıyla uyumlu çeşitli malzemeler, biriktirme için çok çeşitli malzeme seçeneklerine olanak tanır.
Kuvars Kristal Sensörler:
- Kuvars kristal sensörleri kullanarak yüksek hassasiyetle gerçek zamanlı kalınlık izleme için gereklidir.
Sızdırmazlık Contaları:
- Etkin sızdırmazlık için tasarlanmış contalar, biriktirme işlemi sırasında hava geçirmez koşulları sağlar.
Bu seçenekler ve aksesuarlar, PLD-T sisteminin çok yönlülüğünü ve işlevselliğini geliştirerek, yüksek hassasiyet ve kontrolü korurken özel ve verimli ince film biriktirme işlemlerine olanak tanır.
Darbeli Lazer Biriktirme ve Termal Evaporatör Sisteminin Özellikleri:
Vakum sistemi:
- Verimli vakum çalışması için yüksek vakumlu turbomoleküler pompa.
- Vakum sistemini desteklemek için diyafram destekli pompa.
Vakum Ölçümü: Vakum seviyelerini doğru bir şekilde ölçmek için tam aralıklı vakum ölçüm cihazı.
Gerçek Zamanlı Kalınlık Ölçümü: Doğru ölçüm için 1 nm hassasiyetli kuvars kristali izleme sistemi.
Güç Kaynağı: Etkin çalışma için 5 kW yüksek akım güç kaynağı.
Gaz Akış Kontrolü: Gaz akışlarının hassas kontrolü için Hassas Kütle Akış Ölçer (MFC).
Veri Kaydı ve Analizi: Detaylı analiz için kaplama parametrelerinin grafiklerini kaydetme ve çizme yeteneği.
Veri Aktarımı: Eğrileri ve biriktirme işlemi verilerini daha fazla analiz ve dokümantasyon için USB portu üzerinden bir bilgisayara aktarma özelliği.
Elektrik Tesisatı: Güç Gereksinimleri: 220V-240V, 50/60Hz, 16A.
Ölçüler: Kutu Ölçüleri: 50 cm Y x 60 cm G x 47 cm D.
Ağırlık: Sevkiyat Ağırlığı: 70 kg.
