Termal Evaporatörlü Yüksek Vakumlu, Üçlü Magnetron Hedef Masası Püskürtme Kaplayıcı-DST3-TA/S
Yüksek Vakumlu, Üçlü Magnetronlu Hedef Masaüstü Sputter Kaplayıcı Termal Buharlaştırıcılı-DST3-TA/S, Üçlü Hedef Turbo Pompalı Sputter Kaplayıcı, tek bir kompakt masaüstü ünitesinde hem termal buharlaştırma hem de sputter kaplama yeteneklerini birleştiren çok yönlü, çoklu vakumlu bir kaplayıcı sistemidir.
Bu yüksek vakum sistemi, çok çeşitli malzemelerin kaplanması için oldukça uygundur. Üçlü magnetron hedef masa püskürtme kaplayıcısı, buharlaştırma ve püskürtme modları arasında kolayca geçiş yapabilir, ancak her ikisini aynı anda gerçekleştiremez.
- Metal, Yarı İletken ve Dielektrik Filmler
- Nano ve Mikroelektronik
- Güneş pili uygulamaları
- Ortak Püskürtme işlemleri
- Mutlu Püskürtme
- Optik bileşen kaplama
- İnce film sensörleri
- Manyetik ince film cihazları
- Bilgisayar hafıza uygulamaları
- SEM ve FE-SEM numune hazırlama için ince taneli yapısal biriktirme
- Kompakt bir sistemde Püskürtme ve Termal Buharlaştırma işlemi
- Yüksek vakum seviyesi
- Metallere, yarı iletkenlere ve dielektriklere uygun DC ve RF güç kaynaklarıyla donatılmıştır
- Alaşımlı filmler (DST2-TA) ve çok katmanlı biriktirme üretimi için uygun üç adet 3" su soğutmalı açılı magnetron katot
- Tek termal kaynak kurulumu
- Gerçek zamanlı kalınlık ölçümü için iki sabit ve hareketli kuvars kristal izleme sistemi (1 nm hassasiyet)
- İki MFC
- Manuel veya otomatik Zamanlı veya Kalınlık biriktirme
- SEVİNÇ Püskürtme
- Plazma Temizleme
- Kaplama işlemini ve hızlı veri girişini kontrol etmek için sezgisel dokunmatik ekran
- Ağ üzerinden güncellenebilen kullanıcı dostu yazılım
- 3 manuel deklanşörle donatılmıştır
- Vac Coat Ürünleri, Vac Coat sistemlerinden kaynaklanan herhangi bir maddi hasar veya kişisel yaralanma durumunda, dünya çapında hem kamu hem de ürün Sorumluluk Sigortası kapsamındadır.
- Katot seçimi olanağı ile döner numune tutucunun işlenebilir ve yüksekliği değiştirilebilir
- 500 °C alt tabaka ısıtıcısı (isteğe bağlı)
- 300 V DC alt tabaka önyargı voltajları (isteğe bağlı)
- Vakumu bozmadan sınırsız biriktirme süresi
- İki yıl garanti
Üçlü Hedef Turbo Pompalı Püskürtme Kaplayıcının Termal Buharlaşması
DST3-T, çok çeşitli termal buharlaştırma uygulamalarına uygun, sağlam bir yüksek akım güç kaynağı ve düşük voltajlı, dirençli bir termal buharlaştırma platformuyla donatılmıştır. Bu püskürtmeli kaplama sistemi, çeşitli malzemelerin bir alt tabaka üzerinde hassas termal buharlaşmasına olanak tanır. Daha fazla esneklik için tekneler, sepetler ve bobinler gibi farklı türdeki termal buharlaşma kaynaklarını tek bir tutucuya kolayca monte edebilirsiniz.
Dokunmatik Ekran Kontrolü
Triple Target Turbomoleküler Pompalı Püskürtme Kaplayıcı, yarı otomatik kontrol ve kolay veri girişi sunan, kullanıcı dostu 7 inç renkli dokunmatik ekran arayüzü ile birlikte gelir ve deneyimsiz kullanıcılar için bile erişilebilir hale gelir. Vakum ve biriktirme verilerini dijital biçimde veya dokunmatik ekranda grafiksel eğriler olarak görüntüleyebilirsiniz. Ek olarak son 300 kaplamaya ait bilgiler geçmiş sayfasında rahatlıkla saklanabilir.
Püskürtme Kaplayıcı Numune Tutucu
Numune tutucu, standart mikroskop slaytlarını barındıracak şekilde tasarlanmıştır ancak aynı zamanda özel gereksinimlere uyacak şekilde özelleştirilebilir. Dönme sırasında küçük numuneleri güvenli bir şekilde yerinde tutan birden fazla kelepçe içerir ve numune işleme için basit bir çözüm sunar.
Plazma Temizleyici
DST3-T üçlü hedef püskürtmeli kaplayıcı aynı zamanda plazma temizleyici seçeneği de sunar. Vakumlu Plazma Temizleme, organik kirleticileri alt tabakanın yüzeyinden çıkarmak için plazma olarak bilinen iyonize gazın kullanılmasını içeren bir işlemdir. Bu ön temizleme adımı, bir filmi yerleştirmeden önce, karbon bazlı veya oksit kalıntıları gibi herhangi bir kirliliğin alt tabakanın yüzeyinden ortadan kaldırılmasını sağlamak için gereklidir. Bu işlem, alt tabaka ile sonraki katmanlar arasındaki yapışmayı arttırır.
Püskürtme Kaplayıcının Temiz Vakumu
Püskürtme Kaplayıcı DST3-T'nin vakum odası, dış çapı 300 mm ve yüksekliği 200 mm olan silindirik Pyrex'ten yapılmıştır. Bu sistem, 90 m1.4/saat diyaframlı pompa veya 3 m4/saat iki kademeli Döner Kanatlı Pompa tarafından desteklenen dahili olarak monte edilmiş 3 l/s Turbomoleküler Pompa ile donatılmıştır.
DST3-T, Magnetron Masa Püskürtme Kaplayıcı, 300 mm çaplı geniş bir hazneyle gelir ve üç adet 2” çapında su soğutmalı katotla donatılmıştır. Bu tasarım gerektiğinde daha uzun biriktirme sürelerine izin verir. Magnetron masa püskürtmeli kaplayıcı, hem RF hem de DC güç kaynaklarıyla donatılmış olup, yarı iletkenler, dielektrikler ve hem oksitleyici hem de soy metaller dahil olmak üzere çeşitli malzemeleri püskürtmesine olanak tanır.
İnce filmlerin alt tabakaya yapışmasını arttırmak ve film kalitesini artırmak için alt tabakaya 300 V DC öngerilim voltajı uygulama özelliği isteğe bağlı olarak mevcuttur. Ek olarak püskürtmeli kaplama sistemi, RF püskürtme işlemi sırasında yansıtılan gücün en aza indirilmesine yardımcı olan, otomatik olarak ayarlanabilen bir eşleştirme kutusu içerir.
Katotların durumuna göre DST3-T'nin iki modeli mevcuttur:
DST3-TA (Açılı Katotlar):
DST3-TA, ortak bir odak noktasını paylaşan üç açılı katoda sahiptir. Bu püskürtmeli kaplayıcı sistemi, iki veya üç (isteğe bağlı) hedeften aynı anda veya bağımsız olarak püskürtme kapasitesine sahiptir. Bu esneklik, özel gereksinimlere bağlı olarak alaşımların veya çok katmanlı kaplamaların biriktirilmesine olanak tanır. Bu modelde, yerleştirilebilecek alt tabakaların maksimum boyutu 3 inç çapa kadardır.
DST3-TS (Düz Katotlar):
Üç adet düz 3 inçlik su soğutmalı katotlu DST2-TS, çapı 20 cm'ye kadar olan tek bir büyük numunenin veya birkaç küçük numunenin püskürtülmesi için uygundur.
- Yüksek Vakumlu Turbomoleküler Pompa
Pompalama Hızı | 90 l / s | 350 l / s |
Nihai Basınç | 7×10 -6 Torr | 7 × 10-7 Torr |
- Yüksek Vakumlu Turbomoleküler Pompa
- İki kademeli döner kanatlı pompa 4 m3/saat
- İnce taneli yapılar üretmek için her katot için bağımsız püskürtme kontrol oranı
- Basınçtan bağımsız olarak biriktirme gücünün otomatik kontrolü
- Mıknatısların ömrünü korumak için katot sıcaklıklarının otomatik kontrolü
- Su soğutmalı yüksek akımlı elektrik geçişi
- Ar akışının ve dolayısıyla reaktif püskürtme gazının hassas kontrolü için iki hassas Kütle Akış Kontrol Cihazı (MFC)
- Kaplama parametreleri grafiklerinin kayıtları ve grafikleri
- Eğrileri ve biriktirme prosesi verilerini bir USB portu üzerinden PC'ye aktarır
- 300V DC öngerilim voltajı (isteğe bağlı)
- Plazma temizleyiciyle donatılmıştır (isteğe bağlı)
- 500˚C alt tabaka ısıtıcısıyla donatılmıştır (isteğe bağlı)
- DC güç kaynağı 0-1200V, 0-500 mA
- 0-24 V, 0-100 A yüksek akım güç kaynağı
- Otomatik eşleştirme kutulu 300 W RF güç kaynağı
- Yardımcı Programlar: 220V-240V, 50/60HZ, 16A
- Kutu Ölçüleri: 50 cm Y x 60 cm G x 47 cm D
- Nakliye Ağırlığı: 160 kg (Pompa, Raf ve Kutu)
Seçenekler ve Aksesuarlar
Üçlü Hedef Turbomoleküler Pompalı Püskürtme Kaplayıcı – DST3-T aşağıdaki seçeneklere ve aksesuarlara sahiptir:
- Kuvars kristal sensörler
- Yedek vakum cam haznesi
- Püskürtme Hedefleri
- Termal kaynak malzemeleri
- 300V DC önyargı voltajı
- plazma temizleyici
- 500˚C alt tabaka ısıtıcısı