Yüksek Vakumlu, Üçlü Magnetron Hedef Masası Püskürtme Kaplayıcı-DST3-A/S
Yüksek Vakumlu, Üçlü Magnetron Hedef Masası Püskürtme Kaplayıcı-DST3-A/S, çok çeşitli malzemelerin biriktirilmesi için uygun, turbo moleküler pompalama özelliğine sahip, çok yönlü, çok hedefli bir vakum kaplama sistemidir. 300 mm çapında geniş bir bölmeyle birlikte gelir ve daha uzun biriktirme sürelerine olanak tanıyan üç adet 2” çapında su soğutmalı katotla donatılmıştır.
Bu Üçlü Magnetron Hedef Masası Püskürtme Kaplayıcı, hem RF hem de DC güç kaynakları ile iyi bir şekilde donatılmıştır ve hem oksitleyici hem de soy metaller dahil olmak üzere yarı iletkenleri, dielektrikleri ve çeşitli metal hedefleri etkili bir şekilde püskürtmesine olanak tanır. RF püskürtme işlemini optimize etmek için sistem, yansıtılan gücü en aza indiren, otomatik olarak ayarlanabilen bir eşleştirme kutusu içerir.
Filmin alt tabakaya yapışmasını arttırmak ve film yapılarını geliştirmek için, alt tabakaya 300 V DC öngerilim voltajının uygulanmasına olanak tanıyan isteğe bağlı bir özellik de mevcuttur.
Katotların durumuna bağlı olarak DST3 iki farklı modelde sunulmaktadır.
- Metal, yarı iletken ve dielektrik filmler
- Nano ve mikroelektronik uygulamalar
- Güneş pili gelişimi
- Birlikte püskürtme işlemleri
- GLAD püskürtme tekniği
- Optik bileşenlerin kaplanması
- İnce film sensör imalatı
- Manyetik ince film cihazlarının üretimi
- SEM ve FE-SEM numune hazırlama için ince taneli yapısal biriktirme
donanım:
- Dahili turbo pompayla yüksek vakum seviyesi
- Metallere, yarı iletkenlere ve dielektriklere uygun DC ve isteğe bağlı RF güç kaynaklarıyla donatılmıştır
- Alaşım filmler (DST2-A) ve çok katmanlı biriktirme üretimi için uygun üç adet 3 inçlik su soğutmalı açılı magnetron katot
- DST8-S modeli için geniş numune tutucu aşaması (3 inç)
- Büyük yüzeylerde eşit dağılımlı kaplama için tasarlanmış katot maskesi (DST3-S)
- Gerçek zamanlı kalınlık ölçümü için iki sabit ve hareketli kuvars kristal izleme sistemi (1 nm hassasiyetinde)
- İki Kütle Akış Kontrol Cihazı (MFC) aracılığıyla gaz enjeksiyon kontrolü
- Elektronik gaz vanaları
- İki kademeli döner kanatlı destek pompası (Diyaframlı ve kaydırmalı pompa)
- Tam aralıklı vakum ölçer
- Katot seçim motoru
- Numune döndürme, yükseklik ve eğim ayarlanabilir (3 inçlik numune tutucular için)
- 3 manuel veya isteğe bağlı elektronik panjurla donatılmıştır
- Programlanabilir alt tabaka ısıtıcısı (isteğe bağlı)
- Vakumu bozmadan sınırsız biriktirme süresi
- İki yıl garanti
Otomasyon:
- Kaplama işleminin kolay kontrolü ve hızlı veri girişi için sezgisel bir dokunmatik ekran
- Ağ bağlantısı üzerinden güncellenebilen kullanıcı dostu yazılım
- Opsiyonel yarı-tam otomatik kaplama prosesi
- Otomatik modda tekrarlanabilir ve programlanabilir püskürtme işlemi
- Dokunmatik ekran paneli aracılığıyla DC, RF ve yüksek akım biriktirme için isteğe bağlı ayarlanabilir parametreler
- Manuel veya otomatik zamanlı ve kalınlık biriktirme
- Tekrarlanabilir biriktirmeler için kaplama tariflerini saklama yeteneği
- Çok katmanlı ince filmler için hedef seçimi
- Hassas kontrol için elektronik panjurlar
- Otomatik katot seçimi
- Alt tabaka ısıtıcısının yazılım aracılığıyla programlanması ve kontrolü
İsteğe Bağlı Tesisler:
DST3 vakum kaplayıcı, 300 mm dış çapa ve 200 mm yüksekliğe sahip silindirik bir Pyrex vakum odasına sahiptir. Verimli vakum çalışması için 90 m6/saatlik iki kademeli döner kanatlı pompa tarafından desteklenen, dahili olarak monte edilmiş 3 L/s'lik bir turbo moleküler pompa ile donatılmıştır.
Temiz Vakum
- Hem iletken hem de iletken olmayan hedeflerin biriktirilmesi için RF püskürtme
- Gelişmiş temizleme özellikleri için plazma temizleyici
- 300 V DC alt tabaka önyargı voltajı
- Kaplama işlemi sırasında hassas sıcaklık kontrolü için 500 °C alt tabaka ısıtıcısı.
Dokunmatik Ekran Kontrolü
DST3, biriktirme prosesi verilerinin kesintisiz kontrolü ve ayarlanması için kullanıcı dostu yazılım içeren 7 inç renkli dokunmatik ekran paneliyle birlikte gelir. Dokunmatik ekranda dijital veri veya eğri olarak görüntülenen vakum ve kaplama sırası bilgilerini kolaylıkla izleyebilirsiniz. Ayrıca sistem, size kolaylık sağlamak amacıyla son 300 kaplamaya ilişkin bilgileri geçmiş sayfasında saklar.
Numune Tutucu Aşamaları
Örnek tutucu iki standart boyutta gelir: hem DST3-A hem de DST3-S modellerinde bulunan 3 inç ve DST8-S'ye özel 3 inç. Ancak kullanıcılar, kendi özel gereksinimlerine göre uyarlanmış özel boyutlar talep etme esnekliğine sahiptir. Daha küçük numune tutucular, küçük numuneleri döndürme sırasında güvenli bir şekilde tutmak için tasarlanmış çoklu kelepçelerle donatılmıştır ve basit ve etkili bir çözüm sunar.
Plazma Temizleyici
DST3 isteğe bağlı olarak bir plazma temizleyiciyle donatılabilir. Plazma işlemi veya temizliği, organik maddelerin bir substratın yüzeyinden uzaklaştırılmasını veya plazma olarak bilinen iyonize gaz kullanılarak değiştirilmesini içerir. Bu işlem, alt tabakanın yüzey özelliklerini değiştirerek, daha sonraki birikimleri etkili bir şekilde kolaylaştırmak için hidrofilikliğini veya hidrofobikliğini artırabilir. Ek olarak, ince filmleri biriktirmeden önce alt tabakaya plazma uygulanması, karbon bazlı kalıntılar ve oksitler gibi yüzey kirletici maddelerin ortadan kaldırılmasına yardımcı olurken, alt tabaka ile sonraki katmanlar arasındaki yapışmayı geliştirir.
DST3-A (Açılı Katotlar):
DST3-A, ortak bir odak noktasını paylaşan üç açılı katoda sahiptir. Bu konfigürasyon, iki veya üç (isteğe bağlı) hedeften eşzamanlı püskürtmeye izin vererek alaşımların veya çok katmanlı birikimlerin oluşmasını sağlar. Bu modelde maksimum alt tabaka boyutu 3 inçtir.
DST3-S (Düz Katotlar):
DST3-S modeli üç adet düz 2 inçlik su soğutmalı katotla donatılmıştır ve çapı 20 cm'ye kadar olan tek bir büyük numunenin veya birkaç daha küçük numunenin püskürtülmesi için tasarlanmıştır.
- Üstün Vakum: 8x10-6 Torr'dan az
| Tablo Başlığı | ||
|---|---|---|
Pompalama Hızı (l/s) | 90 | 350 |
Nihai Basınç (Torr) | 8 × 10-6 | 3 × 10-6 |
- Her katot, ince taneli yapılar üretmek için püskürtme hızını bağımsız olarak kontrol edebilir.
- Destek plakası dahil her hedefin maksimum kalınlığı 6 mm'dir.
- Biriktirme gücü, basınca bakılmaksızın otomatik olarak kontrol edilir.
- Mıknatısların ömrünü uzatmak için katot sıcaklıkları otomatik olarak düzenlenir.
- Tam otomatik dokunmatik ekran kontrolü kullanılarak veriler hızlı bir şekilde kaydedilir.
- İki hassas Kütle Akış ölçer (MFC), vakum basıncının ve argon veya diğer reaktif püskürtme gazlarının akışının hassas kontrolünü sağlar.
- 350 l/s'lik turbo pompa için elektronik bir gaz kelebeği valfi dahildir.
- Kaplama parametreleri kaydedilir ve çizilir.
- Biriktirme işleminden elde edilen eğriler ve veriler bir USB bağlantı noktası aracılığıyla bir PC'ye aktarılabilir.
- İsteğe bağlı olarak 300V DC ön gerilim eklenebilir.
- Plazma temizleyici seçeneği mevcuttur.
- Sistemde 0-1200 V, 0-500 mA DC güç kaynağı bulunmaktadır.
- Otomatik eşleştirme kutulu isteğe bağlı 300 W RF güç kaynağı mevcuttur.
- Yardımcı Programlar: 220/110V, 50/60HZ, akım değeri 16/25A.
- Cihaz Boyutları: 600 Genişlik × 800 Derinlik × 770 Yükseklik mm (raf hariç).
- Net Ağırlık: Pompa, raf ve alet çantası dahil 160 kg.
Seçenekler ve Aksesuarlar
- Kuvars kristal sensörü
- Yedek cam haznesi
- Püskürtme hedefleri
- Sızdırmazlık contaları
- 300V DC önyargı voltajı
- plazma temizleyici
- 500°C alt tabaka ısıtıcısı
