Yüksek Vakumlu Termal Evaporatör - DTE
Yüksek Vakumlu Termal Buharlaştırıcı-DTE veya Masaüstü Termal Buharlaştırıcı, ince malzeme katmanlarını alttaşlara biriktirmek için tasarlanmış kompakt ve uygun maliyetli bir sistemdir. Öncelikle araştırma amaçlı ve elektron mikroskobu ile yapılan incelemelerde kullanılır.
DTE, bir malzeme buharlaştırıcısı olarak tasarlanmıştır ve bu sayede numune buharlaştırma deneyleri için uygundur. Küçük bir hazneye sahip olan ve yüksek vakum koşullarında çalışan bu sistem, hem asil metallerin hızlı bir şekilde biriktirilmesi hem de metallerin oksitlenmesi için idealdir.
- Metal İnce Filmler
- Nano ve Mikroelektronik
- Güneş Pili Uygulamaları
- İnce Film Sensörleri
- SEM ve FE-SEM Numune Hazırlama için İnce Taneli Yapısal Biriktirme
- SEM Numune Hazırlama için Flaş Modunda Karbon Fiber Buharlaşması
Termal Buharlaşma
DTE, yüksek akımlı bir güç kaynağı ve düşük voltajlı (dirençli) bir termal buharlaştırma platformuyla birlikte gelir; bu da onu çeşitli termal buharlaştırma görevleri için çok yönlü hale getirir. Bu sistem, çok çeşitli malzemelerin alt tabaka üzerindeki termal buharlaşma süreci üzerinde hassas kontrol sağlar. Tek bir termal kaynak tutucusuna monte edilebilen tekneler, sepetler ve bobinler dahil olmak üzere farklı türdeki termal buharlaşma kaynaklarını barındırır.
DTE, buharlaşan malzemenin ince bir tabakasını farklı yüzeylere bırakmasına olanak tanıyan 1.2 kW'lık yüksek akımlı bir DC güç kaynağı ile donatılmıştır. Bu özellik, onu SEM numunesi hazırlama da dahil olmak üzere çeşitli uygulamalar için uygun hale getirir.
donanım
- Malzeme buharlaşması için yarı otomatik kontrol
- Özel bir DC yüksek akım güç kaynağıyla donatılmıştır (maksimum 12V, 100A)
- Borosilikat-SST'den yapılmış 170 mm çapında vakum odası
- Dahili turbo pompasıyla yüksek vakum seviyesine ulaşır (Leybold saniyede 90 litre)
- İki kademeli döner pompa (isteğe bağlı diyaframlı veya kaydırmalı pompa mevcuttur)
- Hassas gerçek zamanlı kalınlık ölçümü için kuvars kristal izleme sistemi (1 nanometre hassasiyeti)
- Gelişmiş kontrol için elektronik deklanşör içerir
- Termal kaynakların kolayca yerleştirilmesi için iki adet yüksek akımlı elektrik geçişine sahiptir
- Hem yukarı hem de aşağı yerleştirme konfigürasyonlarına izin veren hareketli bir termal kaynak tutucusu ile birlikte gelir
- Otomatik havalandırma valfi ile donatılmıştır
- Tam kapsamlı bir vakum ölçer içerir
- Hazne ucu üzerinde bir S-Klip numune tutucusu bulunur
- Taban plakasında isteğe bağlı 2 inçlik döner numune tutucu mevcuttur
- Ayarlanabilir numune döndürme, yükseklik ve eğim sağlar (isteğe bağlı 2 inçlik numune tutucuyla kullanım için)
- İki yıllık garantiyle desteklenmektedir
Otomasyon
- Vakum işleminin ve cihaz manipülasyonunun kolay kontrolü için sezgisel dokunmatik ekran arayüzü.
- Ağ üzerinden güncellenebilen kullanıcı dostu yazılım.
- Hassas kontrol için elektronik deklanşör.
Temiz Vakum
- Dış çapı (OD) 170 mm ve yüksekliği (H) 140 mm olan vakum odası.
- DTE sistemi, isteğe bağlı olarak 90 m6/saatlik iki kademeli döner kanatlı pompa ile desteklenen, dahili olarak monte edilmiş 3 L/s'lik bir turbo moleküler pompa ile donatılmıştır.
Dokunmatik Ekran Kontrolü
DTE sistemi, biriktirme işlemi verilerini kontrol etmek için kullanıcı dostu yazılım içeren 7 inç renkli dokunmatik ekran paneliyle donatılmıştır. Kullanıcılar, vakum ve kaplama sırası bilgilerini dokunmatik ekranda görüntülenen dijital veriler veya eğriler olarak görüntüleyebilir. Sistem aynı zamanda geçmiş sayfasından erişilebilen son 300 kaplamanın kaydını da tutmaktadır.

Örnek tutucu
DTE biriktirme sistemi, iki farklı konfigürasyonla metal buharlaştırmada esneklik sunar:
1. Yukarıya Doğru Biriktirme:
- Bu kurulumda buharlaştırılacak malzeme bir tekne kaynağına yüklenir.
- Numune, bölme kablosu üzerinde bulunan S-Kliplere güvenli bir şekilde tutturulur ve biriktirme işlemi sırasında kolay erişim sağlanır.
2. Aşağıya Doğru Biriktirme:
- Aşağı doğru biriktirme için istenilen malzemeden küçük bir miktar sepete yüklenir.
- İsteğe bağlı olarak bu konfigürasyon için taban plakası üzerinde döner bir numune tutucu kullanılabilir.
DTE Operasyon Gereksinimleri
DTE biriktirme sistemi, kompaktlık, hafif tasarım, hızlı vakumlama ve bütçe dostu çalışma gibi avantajlar sunan küçük bölmesiyle karakterize edilir. Ancak bu cihazı kullanırken bazı tavsiye notlarının dikkate alınması önemlidir:
1. Kısa Süreli İnce Film Kaplamalar için İdealdir:
- DTE sistemi kısa süreli ince film kaplamalar için çok uygundur.
- Uzun süreli, uzun süreli veya kalın katmanlı kaplamalar için, bu tür koşulların hazneyi potansiyel olarak etkileyebileceğinden dikkatli olunması tavsiye edilir.
2. Düşük Buharlaşma Sıcaklığına Uygun Malzemeler:
- Bu cihaz, düşük buharlaşma sıcaklıklarına sahip kaynak malzemelerin biriktirilmesi için kullanıldığında en etkilidir.
3. Maksimum Numune Çapı Sınırlaması:
- Döner alt tabaka tutucuya sığabilecek maksimum numune çapının 2 inç'i geçmemesi gerektiğini lütfen unutmayın.
Bu kaplama koşullarının özel gereksinimlerinize uymaması durumunda, 300 mm çapında daha büyük bir hazneye ve üç termal kaynağa sahip DTT modelimizi incelemenizi öneririz.
- Üstün Vakum: 4×10-6 Torr'dan az
- Kısa süreli biriktirme işlemi
- Dokunmatik ekranda görüntülenen parametreleri kaydeder ve çizer
- Eğrileri ve biriktirme prosesi verilerini bir USB portu üzerinden PC'ye aktarır
- 0-12 V, 0-100 A DC yüksek akım güç kaynağı
- Yardımcı Programlar: 220V-110V, 50/60Hz, 6/8A
- Cihaz Boyutları: 450 Genişlik × 450 Derinlik × 500 Yükseklik mm (Rafsız)
- Net Ağırlık: 30 kg (destek pompası olmadan)
Seçenekler ve Aksesuarlar
Elbette DTE Biriktirme Sisteminin seçenekleri ve aksesuarları şunlardır:
- Kuvars kristal sensörü
- Yedek cam haznesi
- Sızdırmazlık contaları
- Tekneler ve sepetler



