Yüksek Vakumlu Püskürtme Kaplayıcı ve Karbon/Termal Evaporatör – DSCT-T
Yüksek Vakumlu Püskürtme Kaplayıcı ve Karbon/Termal Buharlaştırıcı – DSCT-T, Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) numune hazırlama için çok yönlü bir cihaz olarak tasarlanmıştır.
Üç adet değiştirilebilir kafaya sahip olan bu sistem, tek bir ünitede püskürtmeli kaplayıcı, karbon kaplayıcı ve termal buharlaştırıcı olarak işlev görmesini sağlar. Bu sistem, altın (Au), platin/paladyum (Pt/Pd) alaşımı, gümüş (Ag), krom (Cr), tungsten (W), iridyum (Ir) ve daha fazlası dahil olmak üzere çok çeşitli malzemelerin kaplanmasını sağlar.
Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) – İletken olmayan numunelerin detaylı görüntülenmesi için yüksek kaliteli iletken kaplamalar sağlar.
Alan Emisyonlu Taramalı Elektron Mikroskobu (FE-SEM) – Gelişmiş yüzey analizleri için gerekli olan ultra ince, homojen filmler üretir.
EDS/WDS Analizi – Hassas element ve bileşim çalışmaları için ideal, kirlilik içermeyen kaplamalar sağlar.
Geçirimli Elektron Mikroskobu (TEM) – Numune destek ızgaraları ve açıklık temizliği için ince karbon filmlerin kullanılmasını sağlar.
Elektron Geri Saçılımı Kırınımı (EBSD) – Kırınım deseninin netliğini artıran kararlı iletken kaplamalar oluşturur.
Termal Buharlaştırma Uygulamaları – İnce film sensörlerinde, optik bileşenlerde, mikro/nanoelektronikte ve güneş pili araştırmalarında faydalı olan Au, Ag ve Al gibi düşük buharlaşma sıcaklıklarına sahip metallerin biriktirilmesini destekler.
İnce Film Araştırmaları – Değerli metallerin, karbonun, tungstenin, kromun ve diğer zorlu malzemelerin kontrollü kalınlıkta ve ince tane boyutunda biriktirilmesini kolaylaştırır.
Gözenekli ve Kırılgan Numuneler – Hassas yapıları korumak için isteğe bağlı gezegenel dönüş aşamalarıyla düzgün kaplamalar sağlar.
Akademik ve Araştırma Laboratuvarları – Öğretim, eğitim ve gelişmiş çok uygulamalı araştırma ortamları için uygun, çok yönlü çift modlu bir sistem.
- Saniyede 90 litre kapasiteli Yüksek Vakumlu Turbomoleküler Pompa (Leybold tarafından üretilmiştir)
- Destek pompası olarak İki Kademeli Döner Kanatlı Pompa veya diyaframlı pompa seçimi
- Tam aralıklı vakum ölçer (Leybold tarafından üretilmiştir)
- Karbon fiber buharlaştırma başlığı
- Karbon çubuk buharlaştırma başlığı
- Termal buharlaştırma başlığı
- Darbeli veya flaşlı karbon fiber kaplama modları
- 1 nanometre hassasiyete ve 1 angstrom çözünürlüğe sahip kuvars kristal kalınlık monitörü
- Kaplama sürecini kontrol etmek ve kolay veri girişi için sezgisel dokunmatik ekran arayüzü
- Ağ bağlantısıyla güncellenebilen kullanıcı dostu yazılım
- Püskürtme prosesinde daha ince tanecikli yapılar elde etmek için kaplama oranının hassas kontrolü
- Manuel veya otomatik zamanlı ve kalınlıkta püskürtme yeteneği
- GLAD (Bakış Açısı Biriktirme) Püskürtme yeteneği
- Plazma Temizleme işlevi
- Kaplama parametre grafiklerini kaydetme ve görselleştirme yeteneği
- Elektronik deklanşörle donatılmıştır
- Standart rotasyon veya planet rotasyon seçenekleriyle değiştirilmesi kolay numune aşamaları
- İki yıl garanti kapsamındadır
- Vac Coat sistemlerinin kullanımından kaynaklanan herhangi bir maddi hasar veya kişisel yaralanma durumunda, dünya çapında hem kamu hem de ürün sorumluluk sigortası kapsamındadır.
DSCT-T'nin Karbon Buharlaşması
Mini boyutlu kaplama sistemi, model DSCT-T (Termal Evaporatörlü DSCT), karbon fiber (veya isteğe bağlı olarak bir karbon çubuk) kullanarak çeşitli yüzeyler üzerinde tekdüze ince filmler üretmek için karbon kaplama kapasitesine sahiptir. Darbeli veya flaş modunda karbon fiberden bir elektrik akımı geçirilerek karbon buharlaşması numunenin üzerinde biriktirilir. Bu işlem, tipik olarak geleneksel karbon biriktirme yöntemleriyle ilişkili döküntü miktarını etkili bir şekilde azaltır.
Termal Buharlaşma
DSCT-T, Püskürtme Kaplayıcı ve Karbon/Termal Evaporatör, altın, alüminyum, gümüş ve daha fazlası gibi düşük buharlaşma sıcaklıklarına sahip metallerin buharlaştırılması için tasarlanmış bir termal kafa ile donatılmıştır. Bu termal kafa, bu metallerin birikmesine izin vererek ve TEM (Transmisyon Elektron Mikroskobu) açıklıklarının temizlenmesini kolaylaştırarak ikili bir amaca hizmet eder.
Termal buharlaştırma işlemi çeşitli uygulamalara uygundur. Örneğin, metal filmlerin imalatında, ince film sensörlerinin üretiminde, optik bileşenlerin imalatında, nano ve mikroelektronik endüstrilerinin ihtiyaçlarının karşılanmasında ve güneş pili uygulamalarında kullanılabilir.
Örnek Aşamalar
DSCT-T, kullanıcıya özel gereksinimleri karşılamak için çeşitli numune aşaması konfigürasyonlarının esnekliğini sunar. Bu numune tablaları, kullanım kolaylığı ve uyarlanabilirlik sağlayacak şekilde döndürülebilir ve yüksekliği ayarlanabilir şekilde tasarlanmıştır. Gözenekli numuneler üzerinde düzgün bir kaplama elde etmek için, numune gezegensel rotasyon sistemi seçeneği mevcuttur ve şiddetle tavsiye edilir.
Ayrıca, bu Yüksek Vakumlu SEM Kaplayıcının termal kafası TEM ve SEM açıklıklarının temizlenmesi için de kullanılabilir. Bir Turbomoleküler Pompa ile donatılan bu kaplayıcı, ince tanecik boyutlarına sahip, yüksek kaliteli, tekdüze filmler üretme kapasitesine sahiptir. Bu özellikler onu FE-SEM, EDS/WDS, TEM ve EBSD dahil olmak üzere yüksek çözünürlük ve yüksek kaliteli karakterizasyon gerektiren numuneler için uygun hale getirir.
Püskürtme Kaplayıcı ve Karbon/Termal Evaporatör olarak bilinen DSCT-T, 2" magnetron katot, püskürtme için yüksek voltajlı anahtarlamalı DC güç kaynağı ve karbon buharlaşması ve termal buharlaştırma için yüksek akımlı bir güç kaynağı ile birlikte gelir. Mikro ve nano elektronik ve numune hazırlama gibi alanlarda araştırma ve çeşitli ince film uygulamaları için değerli bir araçtır.
- Üstün Vakum: 7 x10-7 torr'dan az
- Daha ince taneli yapı elde etmek için püskürtme oranının hassas kontrolü
- Basınçtan bağımsız püskürtme için otomatik güç kontrolü
- Kaplama parametrelerinin gerçek zamanlı grafiği
- Kaplama parametre grafiklerini kaydetme ve oluşturma yeteneği
- Eğrilerin ve biriktirme proses verilerinin USB bağlantı noktası aracılığıyla bir PC'ye rahat aktarımı
- Elektronik deklanşörle donatılmıştır
- 170 mm OD x 140 mm boyutlarında vakum odası
- Uygun araçlar: 220V-240V, 50/60HZ, 16A
- Nakliye Ağırlığı: 42 kg
Seçenekler ve Aksesuarlar
Masa Püskürtme Kaplayıcı – DSCT-T, yeteneklerini geliştirmek için bir dizi seçenek ve aksesuar sunar:
- Hem fiber hem de çubuk karbon için karbon buharlaştırma kafaları
- Termal buharlaştırma başlığı
- Yüksek akım güç kaynağı
- Kuvars kristal sensörü
- Gezegensel numune döndürme sistemi
- Yedek cam haznesi
- Püskürtme hedefleri
- Karbon Fiber veya Karbon Çubuk Seçimi
- Sızdırmazlık contaları
- Termal buharlaşma kaynakları (tekne/sepet)