Rivestitore rotante ad alta velocità programmabile
Macchina per rivestimento rotante ad alta velocità programmabile – ToronSC™ 1000P
ToronSC™ 1000P è un sistema di spin coating sottovuoto programmabile ad alta velocità, progettato per la deposizione di film sottili di precisione su substrati fino a 5 pollici (127 mm) di diametro a velocità fino a 10,000 giri/min. Concepito come un'evoluzione rispetto ai sistemi di spin coating a due segmenti di base, il ToronSC™ 1000P memorizza fino a 12 programmi di rivestimento completi, ciascuno composto da un massimo di 6 segmenti di velocità programmabili indipendentemente, offrendo la flessibilità di processo multi-step necessaria per complesse sequenze di spin coating multistrato, ottimizzazione del profilo del fotoresist e protocolli di deposizione sol-gel di livello di ricerca.
Azionato da un servomotore brushless DC di precisione da 24 V, il ToronSC™ 1000P raggiunge un'accelerazione rapida e stabile fino alla velocità target con bassa rumorosità e vibrazioni ridotte, caratteristiche fondamentali per mantenere l'uniformità del film su tutta la superficie del substrato durante la deposizione per centrifugazione ad alta velocità. Il design con certificazione CE e l'interfaccia di controllo LCD rendono questo strumento una scelta affidabile per la ricerca sui semiconduttori, lo sviluppo di film sottili fotovoltaici, i laboratori universitari e gli ambienti di ricerca e sviluppo industriali. Sono incluse di serie due dimensioni di mandrino a vuoto, con la possibilità di aggiungere ulteriori dimensioni per una maggiore flessibilità nella scelta del substrato.
Macchina per rivestimento rotante ad alta velocità programmabile – Applicazioni ToronSC™ 1000P
La centrifuga programmabile ad alta velocità ToronSC™ 1000P è progettata per applicazioni di spin coating che coinvolgono soluzioni chimicamente aggressive:
- Ricerca sui processi dei semiconduttori: deposizione di film dielettrici tramite spin coating con fotoresist e sol-gel su wafer fino a 5" a velocità fino a 10,000 giri/min.
- Ricerca sui film sottili fotovoltaici: deposizione di strati assorbenti di perovskite, organici e inorganici per la ricerca e lo sviluppo di celle solari.
- Rivestimento ottico: deposizione di film sottili ottici antiriflesso, filtranti e funzionali con controllo dello spessore a più fasi.
- Deposizione di film multistrato: complesse sequenze di spin coating a più fasi memorizzate come programmi denominati per una deposizione riproducibile strato per strato.
- Elettronica organica: strato attivo, strato di trasporto e rivestimento per centrifugazione dell'incapsulante per la ricerca su OLED e fotovoltaico organico
- Rivestimento di substrati ceramici e vetrosi: rivestimento con metodo sol-gel e sospensione di nanoparticelle su substrati non siliconici per applicazioni di film funzionali.
- Ricerca e sviluppo industriale e laboratori universitari: spin coater programmabile per uso generale, ideale per programmi di ricerca su film sottili multimateriale e multiprocesso.
Sistema di rivestimento rotante ad alta velocità programmabile – Caratteristiche principali del ToronSC™ 1000P
1. 12 programmi × 6 segmenti — Archiviazione avanzata delle ricette
Consente di memorizzare fino a 12 programmi completi di spin coating, ciascuno con un massimo di 6 fasi programmabili indipendentemente (velocità, tempo e accelerazione per segmento). Ciò permette di salvare, richiamare ed eseguire ripetutamente protocolli di spin coating complessi e a più fasi da parte di diversi operatori, senza necessità di riprogrammazione.
2. Servomotore CC brushless ad alta velocità da 10,000 giri/min
Il servomotore brushless a corrente continua da 24 V offre un'accelerazione rapida, stabile e precisa fino a 10,000 giri/minuto, con elevata affidabilità, bassa rumorosità e vibrazioni minime. Il funzionamento stabile durante l'accelerazione e alla velocità target garantisce l'uniformità del film su tutto il substrato.
3. Display LCD con interfaccia intuitiva
Il display LCD retroilluminato fornisce indicazioni in tempo reale sulla velocità di centrifuga, il tempo trascorso, la fase del programma corrente e i parametri del programma. L'interfaccia a tastiera consente l'inserimento, la modifica e la selezione intuitiva dei programmi.
4. Camera in polipropilene anticorrosione
La camera di spin coating è realizzata in PP, materiale che garantisce resistenza chimica e permette l'utilizzo con soluzioni di rivestimento a base di solventi acidi, alcalini e organici senza che la camera si degradi.
5. Porta di ingresso del gas inerte per il controllo dell'atmosfera
Una porta di ingresso del gas sul coperchio consente l'introduzione di gas inerte (azoto o argon) durante il processo di rivestimento, permettendo il controllo dell'atmosfera per i processi di rivestimento per centrifugazione sensibili all'umidità o all'ossigeno senza la necessità di una camera a guanti completa.
6. Strumento di posizionamento per il centraggio del campione
È incluso uno strumento di centraggio per garantire un posizionamento preciso del substrato sul mandrino prima di ogni ciclo, riducendo le vibrazioni e il rischio di distacco causati da substrati disallineati ad alte velocità di rotazione.
7. Diverse misure di mandrino: facile sostituzione
Sono incluse di serie due misure di mandrino a vuoto per un utilizzo immediato su substrati di diverse dimensioni. Sono disponibili mandrini di dimensioni aggiuntive e la sostituzione del mandrino è semplice e veloce, senza bisogno di attrezzi.
8. Progettazione certificata CE
La centrifuga ToronSC™ 1000P è certificata CE, a conferma della conformità ai requisiti europei in materia di sicurezza, salute e tutela ambientale.
Teoria e metodo
Il ToronSC™ 1000P funziona secondo il principio del rivestimento per centrifugazione, utilizzando profili di rotazione multistadio programmati per depositare film sottili precisi e riproducibili. Il substrato viene fissato al mandrino a vuoto tramite aspirazione generata dalla pompa a vuoto senza olio inclusa. La soluzione di rivestimento viene erogata al centro del substrato e il motore CC senza spazzole esegue la sequenza di velocità programmata: in genere una fase di stesura a bassa velocità, seguita da una o più fasi di assottigliamento ad alta velocità e, facoltativamente, da una lenta fase di decelerazione.
L'architettura a 6 segmenti e 12 programmi consente all'operatore di sviluppare e memorizzare ricette complete per la deposizione per centrifugazione, adatte a diversi materiali, substrati e spessori di film desiderati. All'interno di ciascun programma, ognuno dei 6 segmenti controlla in modo indipendente la velocità di rotazione (giri/min), il tempo di rotazione (secondi) e il tasso di accelerazione. Il display LCD fornisce un feedback in tempo reale sulla velocità di rotazione corrente, sul tempo trascorso e sulla fase del programma attiva. La camera in polipropilene (PP) offre resistenza chimica alle soluzioni di rivestimento corrosive, e una porta di ingresso del gas inerte sul coperchio consente di eseguire il processo di rivestimento in atmosfera inerte.
Macchina per rivestimento rotante ad alta velocità programmabile – Specifiche tecniche ToronSC™ 1000P
| Parametro | Specificazione |
|---|---|
| Modello | ToronSC™ 1000P |
| Dimensione massima del substrato | Diametro 5" (127 mm). |
| Gamma di velocità di centrifuga | 500-10,000 giri al minuto |
| Tipo di motore | Servomotore CC senza spazzole da 24 V |
| Programmi | 12 programmi, 6 segmenti per programma |
| Display | Display LCD con interfaccia tastiera |
| camera Materiale | Polipropilene (PP) — anticorrosione |
| Controllo dell'atmosfera | Porta di ingresso del gas inerte sul coperchio (compatibile con N₂ / Ar) |
| Fissazione del substrato | Mandrino a vuoto |
| Mandrini per aspirazione inclusi | 2 misure (standard) |
| Strumento di centraggio | Inclusi |
| Pompa a vuoto | Pompa per vuoto senza olio (inclusa) |
| Tensione | CA 110/220 V, 50/60 Hz |
| Certificazione | CE |