TT-CVDTF-80-1200, Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) için tasarlanmış 1200°C'lik bölünmüş tüplü bir fırındır. Bu işlem, kimyasal gazların veya buharların bir alt tabakanın yüzeyinde reaksiyona girerek kaplamalar veya nanomalzemeler oluşturmasını içerir. CVD, yarı iletken endüstrisinde birçok yalıtım katmanı, metal ve metal alaşımı da dahil olmak üzere çeşitli malzemelerin biriktirilmesinde yaygın olarak kullanılır.
Yarı İletken Endüstrisi – Yarı iletken üretiminde CVD süreçleri için idealdir; yalıtım katmanlarının, metallerin ve metal alaşımlarının wafer ve alt tabakalara hassas bir şekilde biriktirilmesini sağlar. Gelişmiş cihaz üretiminde mükemmel homojenlik ve tekrarlanabilirlik sağlar.
Nanomalzeme Araştırmaları – Kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle nanoyapıların, ince filmlerin ve karbon bazlı malzemelerin (örneğin karbon nanotüpler ve grafen) sentezini destekler. Gelişmiş malzeme Ar-Ge'si için kritik öneme sahip hassas sıcaklık ve atmosfer kontrolü sağlar.
Kaplama ve Yüzey Mühendisliği – Metaller, seramikler ve kompozitler üzerine koruyucu, fonksiyonel ve katalitik kaplamaların uygulanmasını sağlar. Yüzey performansını artırmak için havacılık, otomotiv ve enerji sektörlerinde yaygın olarak kullanılır.
Gelişmiş Seramik İşleme – Kontrollü mikroyapılara sahip yüksek saflıkta seramik kaplamaların ve kompozitlerin üretimini kolaylaştırır. Endüstriyel ve araştırma uygulamaları için mükemmel ısı direnci ve mekanik özellikler sağlar.
Petrokimya ve Kataliz Çalışmaları – Kontrollü atmosfer altında katalizör hazırlama, aktivasyon ve test etme için uygundur. Yüksek sıcaklıklarda endüstriyel reaksiyon koşullarının doğru simülasyonunu sağlar.
Enerji ve Batarya Araştırmaları – Yeni nesil lityum iyon ve katı hal bataryaları için katı elektrolitlerin, elektrotların ve koruyucu kaplamaların ince film biriktirilmesinde kullanılır. Enerji malzemeleri geliştirmede tutarlılık ve güvenilirliği destekler.
Üniversiteler ve Araştırma Enstitüleri – Fizik, kimya ve malzeme biliminde deneysel araştırmalar için gelişmiş bir araç. Hem akademik çalışmalar hem de endüstriyel işbirlikleri için çok yönlü işlevsellik sunar.
Sanayi Quality Control ve Sertifikasyon – Ürün doğrulama, uyumluluk ve sertifikasyonu için güvenilir yüksek sıcaklık testi ve CVD işleme hizmeti sunar. Düzenlemeye tabi endüstriler için ISO, CE, SGS ve TÜV standartlarını karşılar.
Fırın Kabuğu
- Gövde, korozyona dayanıklı, elektrostatik kaplamalı Q235 düşük karbonlu çelikten üretilmiştir.
- Dayanıklı, çift katmanlı metal çerçeve, düşük dış yüzey sıcaklığını korumak için ısı yalıtımlı bir fan yapısıyla entegre edilmiştir.
- Yatay kullanıma uygun olarak tasarlanan fırının üstten açılan kapağı kolay erişim ve kullanım imkânı sağlıyor.
Refrakter Malzeme
- Yalıtım sistemi, hafif alüminyum seramik elyaf ve birinci sınıf yalıtım levhaları da dahil olmak üzere çok sayıda katmandan oluşuyor.
- Tamamen asbestten arındırılmış olup, minimum ısı kaybı ve azaltılmış enerji tüketimi için tasarlanmıştır.
Isıtma Sistemi
- Fırın, hazne yüzeyine güvenli bir şekilde yerleştirilmiş yüksek kaliteli HRE spiral direnç teli ısıtma elemanları kullanır.
- Bu elemanlar, tutarlı performans ve uzun hizmet ömrü için verimli, radyant ısı sağlar.
- Direnç teli halka düzeni, hazne boyunca mükemmel sıcaklık homojenliğini sağlar.
Sıcaklık Kontrol Paneli
- Hassas sıcaklık regülasyonu için PID ve SSR kontrol teknolojisine sahiptir.
- Uluslararası standartlarda N tipi nikel-krom-silikon termokupl ile donatılmış olup, 0-1300°C geniş ölçüm aralığını destekler ve dayanıklılık sağlar.
- Fırın kapağında açıldığında elektriği otomatik olarak kesen bir emniyet şalteri bulunmaktadır.
Program Denetleyicisi
- Karmaşık termal prosesleri idare edebilecek şekilde tasarlanmış, kullanıcı dostu kontrolör.
- Esnek programlama yetenekleriyle sezgisel kullanım sunar.
- Eğri başına 30'a kadar programlanabilir segmenti destekler.
- Aşırı sıcaklık koruması, arıza alarmları ve otomatik güvenlik özellikleri mevcuttur.
Vakum ve Atmosfer Yeteneği
- Vakum veya kontrollü atmosfer koşullarında çalışmaya olanak sağlayan 304 paslanmaz çelik sızdırmazlık flanşı ile birlikte gelir.
- Standart konfigürasyon, yüksek kaliteli kuvars cam çalışma borusunu içerir; özel uygulamalar için isteğe bağlı metal veya korindon borular da mevcuttur.
- Yüksek performanslı çift kademeli döner kanatlı vakum pompası, dijital vakum göstergesinde görüntülenen 5 Pa'ya kadar vakum seviyelerine ulaşır.
- Otomatik gaz akış yönetimi için isteğe bağlı 1–3 kanallı MFC (Kütle Akış Kontrolörü) sistemlerine sahip bir hava devresi kontrol ünitesi içerir.
| + | TT-CVDTF-25-12 | TT-CVDTF-40-1200 | TT-CVDTF-60-1200 | TT-CVDTF-80-1200 | TT-CVDTF-100-1200 | TT-CVDTF-120-1200 |
| tüp Boyutu | Φ25 x 800mm | Φ40 x 1000mm | Φ60 x 1000mm | Φ80 x 1000mm | Φ100 x 1000mm | Φ120 x 1000mm |
| Maksimum sıcaklık | 1200 ℃ | |||||
| Çalışma Sıcaklığı | 1100 ℃ | |||||
| Isıtma bölgesi | 440mm | |||||
| Gerilim / Güç | 220V/1.8KW (110V da mevcuttur) | 220V/1.8KW (110V da mevcuttur) | 220V/2.6KW (110V da mevcuttur) | 220V/2.6KW (110V da mevcuttur) | 220V/2.6KW (110V da mevcuttur) | 220V/5KW (110V da mevcuttur) |
| Isıtma Elemanı | HRE alaşımlı direnç teli | |||||
| Gövdesinin Malzemesi | Islak vakum filtrasyonu ile hazırlanan polikristalin inorganik alümina seramik elyaf malzemesi | |||||
| Tüp malzemesi | Kuvars Tüp | |||||
| Sıcaklık Doğruluğu | ± 1 ℃ | |||||
| ısıl çift | N tipi termokupl | |||||
| Sıcaklık kontrolörü | Akıllı mikrobilgisayar PID sıcaklık kontrol cihazı, SCR/SSR kontrolü, PID parametre otomatik ayarlama fonksiyonu; 8 program segmentinden oluşan 4 grup programlanabilir, ısıtma programı, ısı koruma programı, soğutma programı | |||||
| Isıtma Hızı | 1-25℃/dak serbestçe ayarlanabilir | |||||
| Fırın Yapısı | Fırın sıcaklık kontrolü entegre yapısı, fırın açma ve kapama; çift katmanlı gövde, hava sirkülasyonu ve ısı yalıtımı | |||||
| Sızdırmazlık Fonksiyonu | Fırın borusunun her iki ucu, vakum derecesi ≤5pa olan vakum altında çalışabilen yüksek sıcaklığa dayanıklı PTFE contalarla eşleştirilmiş paslanmaz çelik metal flanşlarla donatılmıştır (döner kanatlı vakum pompası) | |||||
| Atmosfer Performansı | Flanşın her iki ucunda hava giriş ve çıkışları bulunur. Basınç göstergesi metal flanşa monte edilmiştir. Hassas iğne valfi, hava giriş ve çıkışını ayarlayabilir ve nitrojen, argon ve hidrojen gibi koruyucu gazlarla beslenebilir. | |||||
| Ekipman Güvenliği | Modüler kontrol, çalışma sürecinde aşırı sıcaklık ve kopuk bağlantı için ses ve ışık alarm sinyali gönderilecek ve koruma eylemi otomatik olarak tamamlanacaktır. | |||||
| Güvenlik Koruma | Ekipman, kısa devre kaçağı durumunda otomatik olarak açılacak bir devre kesici ile donatılmıştır; bu, ekipmanın ve operatörlerin güvenliğini koruyabilir | |||||
| Fırın Kabuğu | Yüksek kaliteli soğuk haddelenmiş çelik sac CNC takım tezgahı kesme işlemi, kaynak, taşlama, parlatma, fosfatlama, asitleme, yüzey elektrostatik püskürtme plastik tozundan sonra | |||||
| Kalite Belgesi | ISO9001 CE SGS TÜV | |||||
| Standart Aksesuarlar | 1. Fırın Gövdesi 2. Sıcaklık Kontrol Cihazı 3. Güç Kablosu 3 metre 4. Termokupl 5. Kılavuz 6. Fırın Kancası 7. Bir çift yüksek sıcaklık eldiveni 8. İki boru tapası 9. Bir set sızdırmazlık flanşı | |||||
| Opsiyonel Aksesuarlar | 1. İsteğe bağlı döner kanatlı vakum pompası (vakum derecesi ≤ 5pa) 2. İsteğe bağlı dijital vakum göstergesi (1.0×105-1.0×10-1pa) 3. İsteğe bağlı şamandıra akış ölçer (aralığı 60-600ml/dak) 4. Kuvars tekne ile isteğe bağlı | |||||