Programlanabilir Vakumlu Döndürme Kaplayıcı – ToronSC™ 350P
ToronSC™ 350P, 8 inç (200 mm) çapa veya 5" × 5" kareye kadar olan yüzeylere sol-jel ve diğer sıvı kaplama çözeltileriyle kolay, hızlı ve tekrarlanabilir ince film kaplama için tasarlanmış programlanabilir bir vakumlu aynalı kaplama cihazıdır. ToronSC™ serisinin en büyük formatlı aynalı kaplama cihazı olarak, geniş bir yüzey alanında düzgün kaplama gerektiren tam boyutlu yarı iletken gofretler, büyük cam yüzeyler ve kare panel numuneleriyle çalışan araştırma grupları ve geliştirme ekipleri için tercih edilen seçenektir.
CE sertifikalı ve laboratuvar, üniversite ve hafif endüstriyel kullanım için tasarlanmış olan ToronSC™ 350P spin kaplama cihazı, 6 inçlik vakum tutucusu (anında 6" ve 8" wafer kullanımı için, düzensiz şekilli veya küçük boyutlu substratların kaplanması için yapışkan bant, yağsız vakum pompası ve 20 mL'lik şırınga ile eksiksiz, kullanıma hazır bir spin kaplama makinesi paketi sunmaktadır. İsteğe bağlı olarak, (100°C'ye kadar) ısıtma kapağı da mevcuttur; bu kapak, substratı cihazdan çıkarmadan spin kaplamadan hemen sonra kaplamanın yerinde termal tavlanmasını veya kurutulmasını sağlar.
Programlanabilir Vakumlu Spin Kaplayıcı – ToronSC™ 350P Uygulamaları
ToronSC™ 350P programlanabilir vakumlu spin kaplama cihazı, kimyasal olarak agresif çözeltiler içeren spin kaplama uygulamaları için tasarlanmıştır:
- Geniş formatlı gofret döndürme kaplama: Yarı iletken ve ileri malzeme araştırmaları için 6" ve 8" silikon gofretler üzerine sol-jel ve fonksiyonel film biriktirme.
- Kare ve dikdörtgen yüzey kaplama: Düz panel ve güneş enerjisi araştırmalarında cam, polimer ve metal folyo yüzeyler için 5" × 5" panel döndürme kaplama yöntemi.
- Fotovoltaik araştırma: Geniş alt tabakalara perovskit, organik ve inorganik soğurucu, taşıyıcı ve temas katmanlarının spin kaplama yöntemiyle uygulanması.
- Sol-jel fonksiyonel film kaplama: sol-jel öncü çözeltilerinden metal oksit, seramik ve hibrit organik-inorganik kaplama.
- Düzensiz şekilli yüzey kaplaması: Standart dışı yüzey şekilleri ve küçük numune parçaları için yapışkan bant tutucu kullanımı
- Yerinde kaplama sonrası tavlama (isteğe bağlı ısıtma kapağı ile): kaplamadan hemen sonra spin kaplama yöntemiyle elde edilen filmin termal kurutulması veya kristalleştirilmesi.
- University ve endüstriyel Ar-Ge laboratuvarları: çok malzemeli ince film araştırma programları için genel amaçlı geniş alt tabakalı spin kaplama makinesi
Programlanabilir Vakumlu Spin Kaplayıcı – ToronSC™ 350P Temel Özellikler
1. Serinin En Büyük Boyutu — 8" İnce Dilim / 5"×5" Kare
ToronSC™ 350P, ToronSC™ spin kaplama serisindeki en geniş alt tabaka yelpazesini destekler: 8" (200 mm) çapa kadar yuvarlak alt tabakalar ve 5" × 5" (127 mm × 127 mm) ölçülerine kadar kare paneller, yaygın araştırma ve pilot üretim alt tabaka boyutlarının tamamını kapsar.
2. İki Segmentli Programlanabilir Dijital Kontrol
Dijital kontrol paneli, iki bağımsız olarak programlanabilir hız ve zaman dilimi sunarak, standart iki aşamalı santrifüj kaplama dizisinin tamamen otomatik, tek tuşla başlatılan bir döngüde gerçekleştirilmesini sağlar.
3. Düzensiz ve Küçük Boyutlu Yüzeyler İçin Yapışkan Bant
Birlikte verilen yapışkan bant (6 cm genişlik × 24 cm uzunluk), 6 cm'den küçük alt tabakaların veya düzensiz şekilli numunelerin, tam olarak eşleşen bir vakum tutucu boyutuna ihtiyaç duymadan tutucuya sabitlenmesini sağlar ve böylece cihazın işleyebileceği alt tabaka yelpazesini genişletir.
4. Ayarlanabilir Döner Şırınga Tutucu
Şırınga tutucunun yüksekliği ayarlanabilir ve destek çubuğu boyunca serbestçe dönebilir; bu sayede dağıtım ucu, substratın merkezine veya herhangi bir başka dağıtım pozisyonuna tam olarak yerleştirilebilir ve farklı boyutlardaki şırıngalar kullanılabilir.
5. Polipropilen Kimyasal Dirençli Oda
Döndürme haznesi, ince film kaplama araştırmalarında kullanılan çoğu sol-jel çözücüye, aside ve alkaliye karşı kimyasal direnç göstermesi için PP malzemeden üretilmiştir ve çözücü ile durulama yoluyla kolayca temizlenebilir.
6. Yağsız Vakum Pompası ve 20 ml Şırınga Dahildir
Komple bir spin kaplama makinesi paketi: temiz alt tabaka sabitlemesi için yağsız vakum pompası, çözelti dağıtımı için 20 mL şırınga ve pompa koruması için bir atık su filtresi - hepsi hemen kullanıma hazır olarak dahildir.
7. İsteğe bağlı Isıtma Kapağı (100°C'ye kadar)
İsteğe bağlı olarak, 100°C'ye kadar dijital sıcaklık kontrol cihazına sahip bir ısıtma kapağı mevcuttur; bu sayede, alt tabakayı cihazdan çıkarmaya gerek kalmadan, spin kaplama yöntemiyle elde edilen filmin kaplamadan hemen sonra yerinde termal kurutulması veya yumuşak tavlanması mümkün olur.
8. CE Sertifikalı
Avrupa güvenlik ve elektromanyetik uyumluluk standartlarına uygunluğu onaylanmıştır.
Teori ve Yöntem
ToronSC™ 350P, geniş düz yüzeylere sıvı çözeltilerden homojen ince filmler biriktirmek için santrifüjlü döndürme kaplama yöntemini kullanır. Yüzey, birlikte verilen 6 inçlik vakum tutucu üzerinde vakum emme ile tutulur. 6 inçten küçük yüzeyler veya düzensiz şekilli numuneler için, birlikte verilen yapışkan bant tutucuya yerleştirilir ve yüzey bant üzerine konumlandırılır; vakum bandı, bant da yüzeyi tutar, böylece özel tutuculara gerek kalmadan çok çeşitli numune geometrilerinin kaplanması mümkün olur.
İki bölmeli programlanabilir dijital kontrol paneli, operatörün iki ardışık döndürme adımı için döndürme hızını ve süresini bağımsız olarak ayarlamasına olanak tanıyarak standart dağıtım ve yayma döndürme kaplama protokolünü destekler. PP haznesi çoğu sol-jel çözücüye karşı kimyasal olarak dirençlidir ve arka tahliye çıkışı temiz sıvı yönetimi sağlar. Şırınga tutucunun yüksekliği ayarlanabilir ve destek çubuğu boyunca serbestçe dönebilir, bu da çözelti dağıtım noktasının alt tabakanın herhangi bir alanı üzerinde hassas bir şekilde konumlandırılmasına olanak tanır.
Programlanabilir Vakumlu Döner Kaplama Cihazı – ToronSC™ 350P Teknik Özellikleri
| Parametre | Özellikler |
|---|---|
| Model | ToronSC™ 350P |
| Maksimum Yüzey Boyutu | 8" (200 mm) yuvarlak veya 5" × 5" (127 × 127 mm) kare |
| Sıkma Hızı Aralığı | 500 - 6,000 dev / dak |
| Programlanabilir Segmentler | 2 bölüm (her biri hız + süre) |
| Yüzey Sabitleme | Vakumlu mandren (6 inçlik mandren dahildir) |
| Düzensiz Yüzey Tutucu | Yapışkan bant (6 cm genişlik × 24 cm uzunluk) dahildir. |
| Hazne Çapı | 250 mm |
| Gövdesinin Malzemesi | Polipropilen (PP) — kimyasallara dayanıklı |
| Şırınga tutucu | Destek çubuğunun yüksekliği ve dönüşü ayarlanabilir. |
| Kaplama Çözümü | 20 ml'lik şırınga (dahil) |
| Vakum pompası | Yağsız vakum pompası (dahil) |
| Opsiyonel Aksesuar | Dijital kontrol panelli ısıtma kapağı (100°C'ye kadar) |
| Gerilim | AC 110/220V, 50/60Hz |
| Sertifikalar | CE |