Programlanabilir Yüksek Hızlı Döner Kaplama Cihazı – ToronSC™ 1000P
ToronSC™ 1000P, 10,000 rpm'ye kadar hızlarda 5 inç (127 mm) çapa kadar olan alt tabakalara hassas ince film kaplama için tasarlanmış programlanabilir yüksek hızlı vakumlu spin kaplama cihazıdır. Temel iki segmentli spin kaplama cihazlarından bir adım öteye geçmek üzere tasarlanan ToronSC™ 1000P spin kaplama makinesi, her biri 6 bağımsız olarak programlanabilir hız segmentinden oluşan 12 adede kadar eksiksiz kaplama programını saklayabilir; bu da karmaşık çok katmanlı spin kaplama dizileri, fotorezist profil optimizasyonu ve araştırma sınıfı sol-jel kaplama protokolleri için gereken çok adımlı işlem esnekliğini sağlar.
Hassas 24V fırçasız DC servo motorla çalışan ToronSC™ 1000P, düşük gürültü ve düşük titreşimle hedef hıza hızlı ve istikrarlı bir şekilde ulaşır; bu da yüksek hızlı spin kaplama sırasında tüm alt tabaka yüzeyinde film homojenliğini korumak için kritik öneme sahiptir. CE sertifikalı tasarımı ve LCD kontrol arayüzü, bu cihazı yarı iletken araştırmaları, fotovoltaik ince film geliştirme, üniversite laboratuvarları ve endüstriyel Ar-Ge ortamları için güvenilir bir seçim haline getirir. Standart olarak iki vakum tutucu boyutu dahildir ve alt tabaka esnekliği için ek tutucu boyutları da mevcuttur.
Programlanabilir Yüksek Hızlı Döner Kaplama Cihazı – ToronSC™ 1000P Uygulamaları
ToronSC™ 1000P programlanabilir yüksek hızlı spin kaplama cihazı, kimyasal olarak agresif çözeltiler içeren spin kaplama uygulamaları için tasarlanmıştır:
- Yarı iletken proses araştırması: 5 inç'e kadar çapta ve 10,000 rpm'ye kadar hızda wafer'lar üzerine fotorezist döndürme kaplama ve sol-jel dielektrik film biriktirme.
- Fotovoltaik ince film araştırması: güneş pili araştırma ve geliştirme çalışmaları için perovskit, organik ve inorganik soğurucu tabaka biriktirme.
- Optik kaplama: Çok adımlı kalınlık kontrolü ile yansıma önleyici, filtre ve fonksiyonel optik ince filmlerin biriktirilmesi.
- Çok katmanlı film kaplama: Tekrarlanabilir katman katman kaplama için adlandırılmış programlar olarak saklanan karmaşık çok adımlı döndürme kaplama dizileri.
- Organik elektronik: OLED ve organik fotovoltaik araştırmaları için aktif katman, taşıma katmanı ve kapsülleme malzemesinin spin kaplaması.
- Seramik ve cam alt tabaka kaplama: Fonksiyonel film uygulamaları için silikon içermeyen alt tabakalara sol-jel ve nanopartikül süspansiyon kaplama.
- Endüstriyel Ar-Ge ve üniversite laboratuvarları: Çok malzemeli, çok işlemli ince film araştırma programları için genel amaçlı programlanabilir spin kaplama cihazı
Programlanabilir Yüksek Hızlı Döner Kaplama Makinesi – ToronSC™ 1000P Temel Özellikleri
1. 12 Program × 6 Bölüm — Gelişmiş Tarif Saklama
Her biri 6 adede kadar bağımsız olarak programlanabilir aşamaya (segment başına hız, süre ve ivme) sahip 12 adede kadar eksiksiz spin kaplama programını saklar. Bu, karmaşık, çok adımlı spin kaplama protokollerinin kaydedilmesini, geri çağrılmasını ve farklı operatörler tarafından yeniden programlamaya gerek kalmadan tekrarlanabilir şekilde yürütülmesini sağlar.
2. 10,000 devir/dakika Yüksek Hızlı Fırçasız DC Servo Motor
24V fırçasız DC servo motor, yüksek güvenilirlik, düşük gürültü ve minimum titreşimle 10,000 rpm'ye kadar hızlarda hızlı, istikrarlı ve hassas ivme sağlar. İvme boyunca ve hedef hızda istikrarlı çalışma, alt tabaka üzerinde film homojenliğini garanti eder.
3. Kullanıcı Dostu Arayüzlü LCD Ekran
Arkadan aydınlatmalı LCD ekran, dönüş hızı, geçen süre, mevcut program adımı ve program parametrelerinin gerçek zamanlı gösterimini sağlar. Klavye arayüzü, sezgisel program girişi, değiştirme ve seçim olanağı sunar.
4. Korozyon Önleyici Polipropilen Hazne
Döner kaplama haznesi PP malzemeden üretilmiştir ve bu sayede asidik, alkali ve organik çözücü bazlı kaplama çözeltileriyle kullanımda hazne bozulması olmadan kimyasal direnç sağlar.
5. Atmosfer Kontrolü için İnert Gaz Giriş Portu
Kapak üzerindeki bir gaz giriş portu, kaplama işlemi sırasında inert gazın (nitrojen veya argon) verilmesine olanak tanıyarak, tam bir eldiven kutusuna gerek kalmadan neme veya oksijene duyarlı spin kaplama işlemlerinde atmosferik kontrol sağlar.
6. Numune Merkezleme Konumlandırma Aleti
Hassas altlık yerleşimini sağlamak ve yüksek dönüş hızlarında yanlış hizalanmış altlıklardan kaynaklanan titreşimi ve fırlama riskini azaltmak için, her çalıştırmadan önce altlığın aynaya tam olarak yerleştirilmesini sağlayan bir merkezleme konumlandırma aracı dahildir.
7. Çeşitli Mandren Boyutları — Kolay Değişim
Farklı malzeme boyutlarında anında kullanım için standart olarak iki farklı vakumlu mandren boyutu dahildir. Ek mandren boyutları da mevcuttur ve mandren değişimi alet gerektirmeden kolay ve hızlı bir şekilde yapılabilir.
8. CE Sertifikalı Tasarım
ToronSC™ 1000P spin kaplama cihazı, Avrupa güvenlik, sağlık ve çevre koruma gerekliliklerine uygunluğunu teyit eden CE sertifikasına sahiptir.
Teori ve Yöntem
ToronSC™ 1000P, programlanmış çok aşamalı döndürme profilleri kullanarak hassas ve tekrarlanabilir ince filmler biriktirmek için santrifüjlü döndürme kaplama prensibiyle çalışır. Alt tabaka, birlikte verilen yağsız vakum pompasından gelen vakum emme ile vakum tutucuya sabitlenir. Kaplama çözeltisi alt tabakanın merkezine püskürtülür ve fırçasız DC motor, programlanmış hız dizisini yürütür; bu genellikle düşük hızlı bir yayılma adımı, ardından bir veya daha fazla yüksek hızlı inceltme adımı ve isteğe bağlı olarak yavaş bir düşüş adımıdır.
12 programlı, 6 segmentli mimari, operatörün farklı malzemeler, alt tabakalar ve hedef film kalınlıkları için eksiksiz spin kaplama reçeteleri geliştirmesine ve saklamasına olanak tanır. Her program içinde, 6 segmentin her biri bağımsız olarak dönme hızını (rpm), dönme süresini (saniye) ve ivme oranını kontrol eder. LCD ekran, mevcut dönme hızı, geçen süre ve aktif program adımı hakkında gerçek zamanlı geri bildirim sağlar. Polipropilen (PP) hazne, aşındırıcı kaplama çözeltilerine karşı kimyasal direnç sağlar ve kapaktaki inert gaz giriş portu, kaplamanın inert bir atmosfer altında gerçekleştirilmesine olanak tanır.
Programlanabilir Yüksek Hızlı Döner Kaplama Makinesi – ToronSC™ 1000P Teknik Özellikleri
| Parametre | Özellikler |
|---|---|
| Model | ToronSC™ 1000P |
| Maksimum Yüzey Boyutu | 5" (127 mm) çap |
| Sıkma Hızı Aralığı | 500 - 10,000 dev / dak |
| Motor Tipi | 24V Fırçasız DC servo motor |
| Programlar | 12 program, program başına 6 bölüm |
| ekran | Klavyeli arayüzlü LCD ekran |
| Gövdesinin Malzemesi | Polipropilen (PP) — korozyon önleyici |
| Atmosfer Kontrolü | Kapak üzerinde inert gaz giriş portu (N₂ / Ar uyumlu) |
| Yüzey Sabitleme | vakum aynası |
| Vakum Mandrenleri Dahil | 2 beden (standart) |
| Merkezleme Aracı | Dahil |
| Vakum pompası | Yağsız vakum pompası (dahil) |
| Gerilim | AC 110/220V, 50/60Hz |
| Sertifikalar | CE |