CVD Tüp Fırını – TT-CVDTF-80-1200, kimyasal gazların veya buharların bir alt tabakanın yüzeyinde reaksiyona girerek kaplamalar veya nanomalzemeler oluşturduğu bir işlem olan Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) için tasarlanmış 1200°C'lik bir sistemdir. Yarı iletken endüstrisinde, yalıtım katmanları, metaller ve metal alaşımları dahil olmak üzere çeşitli malzemelerin biriktirilmesinde yaygın olarak kullanılır.
Yarı İletken Üretimi – Yığınlar, metaller ve alaşımların ince film halinde levhalar ve alt tabakalar üzerine biriktirilmesinde kullanılır. Gelişmiş yarı iletken üretiminde gerekli olan hassasiyeti, tekrarlanabilirliği ve homojenliği sağlar.
Nanomalzeme Sentezi – CVD yöntemiyle karbon nanotüplerin (CNT'ler), grafenin ve diğer nanoyapıların büyümesini sağlar. Kontrollü morfolojiye sahip yüksek performanslı nanomalzemelerin araştırma ve geliştirilmesini destekler.
Koruyucu ve Fonksiyonel Kaplamalar – Metaller, seramikler ve kompozitler üzerine aşınmaya dayanıklı, korozyona dayanıklı ve katalitik kaplamalar uygulamak için uygundur. Havacılık, otomotiv ve enerji sektörlerinde yaygın olarak kullanılır.
Gelişmiş Seramikler ve Kompozitler – Geliştirilmiş termal ve mekanik performans için özel mikro yapılar içeren seramik katmanların ve kompozitlerin biriktirilmesini kolaylaştırır.
Katalizör Hazırlama ve Petrokimya Araştırmaları – Vakum veya kontrollü gaz atmosferlerinde katalizör üretimi, modifikasyonu ve testini destekler. Petrokimya ve kimya mühendisliği laboratuvarlarında endüstriyel simülasyonlar için kullanılır.
Enerji ve Batarya Teknolojisi – Lityum iyon ve katı hal bataryaları için elektrotların, elektrolitlerin ve koruyucu katmanların kaplanmasında kullanılır. Malzeme stabilitesini ve performansını artırır.
Üniversiteler ve Araştırma Enstitüleri – Fizik, kimya ve malzeme biliminde akademik ve endüstriyel Ar-Ge için çok yönlü bir platform. Öğretim laboratuvarlarında ve ileri araştırma projelerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Endüstriyel Test ve Quality Control – Düzenlemeye tabi endüstrilerde (ISO, CE, SGS, TÜV sertifikalı) doğrulama, sertifikasyon ve pilot ölçekli üretim için güvenilir yüksek sıcaklık CVD işlemi sağlar.
Fırın Kabuğu
Fırın gövdesi, elektrostatik ve korozyona dayanıklı bir kaplamaya sahip Q235 düşük karbonlu çelikten üretilmiştir. Sağlam, çift katmanlı metal çerçeve, ısı yalıtımlı bir fan yapısıyla entegre edilmiştir ve düşük dış yüzey sıcaklığının korunmasına yardımcı olur. Yatay çalışma için tasarlanan fırın, kolay erişim ve kullanım için üstten açılan bir kapağa sahiptir.
Refrakter Malzeme
Çok katmanlı yalıtım sistemi, hafif alüminyum oksit seramik elyaf ve yüksek kaliteli yalıtım levhası desteğinden oluşur. Bu tasarım asbest içermez, düşük ısı kaybı sağlar ve enerji verimliliğini destekler.
Isıtma Sistemi
Isıtma sistemi, fırın duvarlarına güvenli bir şekilde yerleştirilmiş yüksek kaliteli HRE spiral rezistans teli elemanları kullanır. Isıtma, haznenin içine serbest ısı yayılımı yoluyla sağlanır ve bu da yüksek verimlilik ve uzun kullanım ömrü sağlar. Rezistans teli ile dairesel ısıtma, hazne genelinde mükemmel bir sıcaklık homojenliği sağlar.
Sıcaklık Kontrol Paneli
PID ve SSR kontrol modlarıyla donatılmış sistem, hassas sıcaklık regülasyonu sağlar. 0-1300°C arasındaki sıcaklıkları uzun süreli güvenilirlikle ölçebilen standart bir N tipi nikel-krom-silikon termokupl kullanır. Fırın kapağı açıldığında, emniyet kilidi anahtarı elektriği keser.
Program Denetleyicisi
Zorlu termal işlemlere uygun gelişmiş bir kontrolöre sahiptir. Kullanıcı dostu kullanım ve esnek programlama sunar. Tek bir termal eğri için 30'a kadar programlanabilir segment ayarlanabilir. Sistem, otomatik korumalı aşırı sıcaklık ve arıza alarmları içerir.
Vakum ve Atmosfer Kontrolü
Tüpün içinde vakum veya kontrollü atmosfer oluşturmak için 304 paslanmaz çelik sızdırmazlık flanşı ile birlikte gelir. Standart kurulum, yüksek kaliteli kuvars cam çalışma tüpü içerir ve çeşitli proses ihtiyaçları için isteğe bağlı metal veya korindon tüpler mevcuttur. Yüksek performanslı çift kademeli döner kanatlı vakum pompası, izleme için dijital vakum göstergesi ile 5 Pa'ya kadar vakum seviyelerine ulaşır. Entegre gaz akış kontrol ünitesi, 1 ila 3 kanallı MFC tabanlı otomatik gaz akış sistemlerini destekler.
| + | TT-CVDTF-25-1200 | TT-CVDTF-40-1200 | TT-CVDTF-60-1200 | TT-CVDTF-80-1200 | TT-CVDTF-100-1200 | TT-CVDTF-120-1200 |
| tüp Boyutu | Φ25 x 800mm | Φ40 x 1000mm | Φ60 x 1000mm | Φ80 x 1000mm | Φ100 x 1000mm | Φ120 x 1000mm |
| Maksimum sıcaklık | 1200 ℃ | |||||
| Çalışma Sıcaklığı | 1100 ℃ | |||||
| Isıtma bölgesi | 440mm | |||||
| Gerilim / Güç | 220V/1.8KW (110V da mevcuttur) | 220V/1.8KW (110V da mevcuttur) | 220V/2.6KW (110V da mevcuttur) | 220V/2.6KW (110V da mevcuttur) | 220V/2.6KW (110V da mevcuttur) | 220V/5KW (110V da mevcuttur) |
| Isıtma Elemanı | HRE alaşımlı direnç teli | |||||
| Gövdesinin Malzemesi | Islak vakum filtrasyonu ile hazırlanan polikristalin inorganik alümina seramik elyaf malzemesi | |||||
| Tüp malzemesi | Kuvars Tüp | |||||
| Sıcaklık Doğruluğu | ± 1 ℃ | |||||
| ısıl çift | N tipi termokupl | |||||
| Sıcaklık kontrolörü | Akıllı mikrobilgisayar PID sıcaklık kontrol cihazı, SCR/SSR kontrolü, PID parametre otomatik ayarlama fonksiyonu; 8 program segmentinden oluşan 4 grup programlanabilir, ısıtma programı, ısı koruma programı, soğutma programı | |||||
| Isıtma Hızı | 1-25℃/dak serbestçe ayarlanabilir | |||||
| Fırın Yapısı | Fırın sıcaklık kontrolü entegre yapısı, fırın açma ve kapama; çift katmanlı gövde, hava sirkülasyonu ve ısı yalıtımı | |||||
| Sızdırmazlık Fonksiyonu | Fırın borusunun her iki ucu, vakum derecesi ≤5pa olan vakum altında çalışabilen yüksek sıcaklığa dayanıklı PTFE contalarla eşleştirilmiş paslanmaz çelik metal flanşlarla donatılmıştır (döner kanatlı vakum pompası) | |||||
| Atmosfer Performansı | Flanşın her iki ucunda hava giriş ve çıkışları bulunur. Basınç göstergesi metal flanşa monte edilmiştir. Hassas iğne valfi, hava giriş ve çıkışını ayarlayabilir ve nitrojen, argon ve hidrojen gibi koruyucu gazlarla beslenebilir. | |||||
| Ekipman Güvenliği | Modüler kontrol, çalışma sürecinde aşırı sıcaklık ve kopuk bağlantı için ses ve ışık alarm sinyali gönderilecek ve koruma eylemi otomatik olarak tamamlanacaktır. | |||||
| Güvenlik Koruma | Ekipman, kısa devre kaçağı durumunda otomatik olarak açılacak bir devre kesici ile donatılmıştır; bu, ekipmanın ve operatörlerin güvenliğini koruyabilir | |||||
| Fırın Kabuğu | Yüksek kaliteli soğuk haddelenmiş çelik sac CNC takım tezgahı kesme işlemi, kaynak, taşlama, parlatma, fosfatlama, asitleme, yüzey elektrostatik püskürtme plastik tozundan sonra | |||||
| Kalite Belgesi | ISO9001 CE SGS TÜV | |||||
| Standart Aksesuarlar | 1. Fırın Gövdesi 2. Sıcaklık Kontrol Cihazı 3. Güç Kablosu 3 metre 4. Termokupl 5. Kılavuz 6. Fırın Kancası 7. Bir çift yüksek sıcaklık eldiveni 8. İki boru tapası 9. Bir set sızdırmazlık flanşı | |||||
| Opsiyonel Aksesuarlar | 1. İsteğe bağlı döner kanatlı vakum pompası (vakum derecesi ≤ 5pa) 2. İsteğe bağlı dijital vakum göstergesi (1.0×105-1.0×10-1pa) 3. İsteğe bağlı şamandıra akış ölçer (aralığı 60-600ml/dak) 4. Kuvars tekne ile isteğe bağlı | |||||