TT-CVDTF-60-1700, kimyasal gazların veya buharların bir alt tabakanın yüzeyinde reaksiyona girerek kaplamalar veya nanomalzemeler oluşturduğu bir işlem olan Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) için tasarlanmış 1700°C'lik bir tüp fırındır. Bu teknik, yarı iletken endüstrisinde çok sayıda yalıtım bileşiği, metal ve metal alaşımı dahil olmak üzere çeşitli malzemelerin biriktirilmesinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Yarı İletken Üretimi – Yarı iletken alt tabakalara yalıtkan bileşiklerin, iletken metallerin ve alaşımların ultra yüksek sıcaklıkta CVD biriktirilmesini sağlar. Yeni nesil mikroelektronik ve optoelektronik için gerekli olan mükemmel termal kararlılık ve homojenliği sunar.
Nanomalzeme Araştırmaları – 1700°C'ye kadar sıcaklıklarda grafen, karbon nanotüpler ve diğer gelişmiş nanoyapıların kontrollü sentezini destekler. En ileri nanoteknoloji Ar-Ge çalışmaları için tekrarlanabilirlik ve hassasiyet sağlar.
Gelişmiş Seramikler ve Refrakterler – Seramiklerin ve yüksek erime noktalı malzemelerin sinterlenmesini, kaplanmasını ve ısıl işlenmesini kolaylaştırır. Havacılık ve endüstriyel uygulamalar için yapısal bütünlüğü, ısı direncini ve kimyasal dayanıklılığı artırır.
İnce Film Mühendisliği – Kontrollü morfoloji, saflık ve kalınlığa sahip yüksek performanslı ince filmlerin biriktirilmesini sağlar. Elektronik ve optikte dielektrik kaplamalar, koruyucu filmler ve fonksiyonel çok katmanlı yapılar için idealdir.
Enerji ve Batarya Malzemeleri – Katı hal elektrolitlerinin, elektrot malzemelerinin ve koruyucu filmlerin ısıl işlem görmesini ve CVD kaplamasını sağlar. Lityum iyon ve gelişmiş enerji depolama sistemlerinde kararlılık, iletkenlik ve uzun çevrim ömrü sağlar.
Kataliz ve Kimya Mühendisliği – Kontrollü vakum veya atmosfer altında katalizör aktivasyonu, fonksiyonel film kaplama ve termal reaksiyon çalışmaları için uygundur. Kimya ve petrokimya Ar-Ge'si için tekrarlanabilir sonuçlar sunar.
Havacılık ve Savunma Malzemeleri – Havacılık ve savunma sanayileri için yüksek performanslı alaşımlar, seramikler ve koruyucu kaplamalar üretir. Oksidasyon direnci, mekanik dayanıklılık ve aşırı koşullar altında güvenilirlik garantisi sunar.
Üniversiteler ve Araştırma Enstitüleri – Fizik, kimya, nanoteknoloji ve malzeme bilimi alanlarında ileri düzey akademik çalışmalar için çok yönlü, yüksek sıcaklıkta CVD yetenekleri sunar. Eğitim ve araştırma laboratuvarları için güvenlik, hassasiyet ve esnek programlamayı bir araya getirir.
Sanayi Quality Control ve Sertifikasyon – Uygunluk doğrulaması ve ürün sertifikasyonu için güvenilir yüksek sıcaklık testi ve doğrulaması sağlar. Dünya çapındaki düzenlenmiş endüstriler için ISO9001, CE, SGS ve TÜV standartlarına uygundur.
Fırın Kabuğu
- Gövde, mükemmel korozyon direnci sağlayan elektrostatik kaplamaya sahip Q235 düşük karbonlu çelikten üretilmiştir.
- Dayanıklı çift katmanlı metal çerçeve, ısı yalıtımlı fan yapısıyla birleşerek dış yüzey sıcaklığını düşük tutuyor.
- Üstten açılan yapısıyla yatay kullanıma uygun olarak tasarlanmış olup, rahat erişim ve kullanıcı dostu kullanım imkanı sunmaktadır.
Refrakter Malzeme
- Fırında hafif alüminyum oksit seramik elyaf ve yüksek kaliteli yalıtım levhasından oluşan çok katmanlı bir yalıtım sistemi kullanılıyor.
- Asbest içermediği için güvenli kullanım sağlarken, ısı kaybını en aza indirir ve enerji tüketimini azaltır.
Isıtma Sistemi
- Yüksek kaliteli MoSi₂ spiral direnç telleri fırının iç yüzeyine güvenli bir şekilde yerleştirilerek verimli, radyant ısıtma sağlanır.
- Enerji tasarrufu sağlayan bu kurulum, dairesel direnç teli ısıtması sayesinde uzun kullanım ömrü ve tutarlı sıcaklık dağılımı sağlar.
Sıcaklık Kontrol Paneli
- Hassas sıcaklık regülasyonu için PID ve SSR kontrolüne sahiptir.
- 0-1600°C sıcaklık aralığına sahip standart B tipi nikel-krom-silikon termokupl kullanır, güvenilirlik ve uzun kullanım ömrü sunar.
- Fırın kapağı açıldığında emniyet şalteri otomatik olarak elektriği keser.
Program Denetleyicisi
- Karmaşık termal proseslere uygun gelişmiş kontrollerle donatılmıştır.
- Esnek programlama seçenekleriyle basit, sezgisel arayüz.
- Tek eğrili profiller için 30'a kadar programlanabilir segmenti destekler.
- Aşırı sıcaklık ve arıza alarmlarının yanı sıra otomatik güvenlik özellikleri de mevcuttur.
Vakum ve Atmosfer Yeteneği
- Tüp içerisinde vakum veya atmosfer koşullarında çalışabilmesi için 304 paslanmaz çelik sızdırmazlık flanşı ile donatılmıştır.
- Uygulama ihtiyaçlarına göre metal veya korindon tüp seçenekleriyle birlikte yüksek kaliteli kuvars cam tüp içerir.
- Yüksek performanslı çift kademeli döner kanatlı vakum pompası, 5 Pa'ya kadar vakum seviyeleri sağlar.
- Sistem, gerçek zamanlı basınç izleme için dijital vakum göstergesi ve otomatik gaz akış kontrolü için 1–3 MFC (Kütle Akış Kontrolörü) kanallı opsiyonel hava devresi kontrol ünitesi içerir.
| + | TT-CVDTF-25-1700 | TT-CVDTF-40-1700 | TT-CVDTF-60-1700 | TT-CVDTF-80-1700 | TT-CVDTF-100-1700 | TT-CVDTF-120-1700 |
| tüp Boyutu | Φ25 x 800mm | Φ40 x 1000mm | Φ60 x 1000mm | Φ80 x 1000mm | Φ100 x 1000mm | Φ120 x 1000mm |
| Maksimum sıcaklık | 1700 ℃ | |||||
| Çalışma Sıcaklığı | 1600 ℃ | |||||
| Isıtma bölgesi | 300mm | |||||
| Gerilim / Güç | 220V/3KW (110V da mevcuttur) | 220V/3KW (110V da mevcuttur) | 220V/4KW (110V da mevcuttur) | 220V/5KW (110V da mevcuttur) | 220V/5KW (110V da mevcuttur) | 220V/5KW (110V da mevcuttur) |
| Isıtma Elemanı | Molibden Disilisit (MoSi2) Isıtıcı | |||||
| Gövdesinin Malzemesi | Islak vakum filtrasyonu ile hazırlanan polikristalin inorganik alümina seramik elyaf malzemesi | |||||
| Tüp malzemesi | Alümina Tüp | |||||
| Sıcaklık Doğruluğu | ± 1 ℃ | |||||
| ısıl çift | B tipi termokupıl | |||||
| Sıcaklık kontrolörü | Akıllı mikrobilgisayar PID sıcaklık kontrol cihazı, SCR/SSR kontrolü, PID parametre otomatik ayarlama fonksiyonu; programlanabilir 30 program segmenti, program ısıtma, program ısı koruma, program soğutma | |||||
| Isıtma Hızı | 1-25℃/dak serbestçe ayarlanabilir | |||||
| Fırın Yapısı | Fırın sıcaklık kontrolü entegre yapısı, fırın açma ve kapama; çift katmanlı gövde, hava sirkülasyonu ve ısı yalıtımı | |||||
| Sızdırmazlık Fonksiyonu | Fırın borusunun her iki ucu, vakum derecesi ≤5pa olan vakum altında çalışabilen yüksek sıcaklığa dayanıklı PTFE contalarla eşleştirilmiş paslanmaz çelik metal flanşlarla donatılmıştır (döner kanatlı vakum pompası) | |||||
| Atmosfer Performansı | Flanşın her iki ucunda hava giriş ve çıkışları bulunur. Basınç göstergesi metal flanşa monte edilmiştir. Hassas iğne valfi, hava giriş ve çıkışını ayarlayabilir ve nitrojen, argon ve hidrojen gibi koruyucu gazlarla beslenebilir. | |||||
| Ekipman Güvenliği | Modüler kontrol, çalışma sürecinde aşırı sıcaklık ve kopuk bağlantı için ses ve ışık alarm sinyali gönderilecek ve koruma eylemi otomatik olarak tamamlanacaktır. | |||||
| Güvenlik Koruma | Ekipman, kısa devre kaçağı durumunda otomatik olarak açılacak bir devre kesici ile donatılmıştır; bu, ekipmanın ve operatörlerin güvenliğini koruyabilir | |||||
| Fırın Kabuğu | Yüksek kaliteli soğuk haddelenmiş çelik sac CNC takım tezgahı kesme işlemi, kaynak, taşlama, parlatma, fosfatlama, asitleme, yüzey elektrostatik püskürtme plastik tozundan sonra | |||||
| Kalite Belgesi | ISO9001 CE SGS TÜV | |||||
| Standart Aksesuarlar | 1. Fırın Gövdesi 2. Sıcaklık Kontrol Cihazı 3. Güç Kablosu 3 metre 4. Termokupl 5. Kılavuz 6. Fırın Kancası 7. Bir çift yüksek sıcaklık eldiveni 8. İki boru tapası 9. Bir set sızdırmazlık flanşı | |||||
| Opsiyonel Aksesuarlar | 1. İsteğe bağlı döner kanatlı vakum pompası (vakum derecesi ≤ 5pa) 2. İsteğe bağlı dijital vakum göstergesi (1.0×105-1.0×10-1pa) 3. İsteğe bağlı şamandıra akış ölçer (aralığı 60-600ml/dak) 4. Kuvars tekne ile isteğe bağlı | |||||