TT-CVDTF-100-1400, kimyasal gazların veya buharların bir alt tabakanın yüzeyinde reaksiyona girerek kaplama veya nanomalzemeler ürettiği bir işlem olan Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) için tasarlanmış 1400°C'lik bir tüp fırındır. Bu teknik, yarı iletken endüstrisinde çok sayıda yalıtım katmanı, metal ve metal alaşımı da dahil olmak üzere çeşitli malzemelerin biriktirilmesinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Yarı İletken Üretimi – Yarı iletken levhalar üzerine yalıtım katmanlarının, metallerin ve metal alaşımlarının yüksek sıcaklıkta CVD yöntemiyle biriktirilmesini sağlar. Gelişmiş mikroelektronik ve optoelektronik cihazlar için kritik öneme sahip olağanüstü homojenlik ve hassas termal kontrol sunar.
Nanomalzeme Geliştirme – Yüksek sıcaklıklarda grafen, karbon nanotüpler ve gelişmiş nanoyapıların kontrollü sentezini destekler. Yeni nesil nanoteknoloji araştırmaları ve uygulamaları için tekrarlanabilirlik ve istikrar sağlar.
Gelişmiş Seramikler ve Refrakterler – Seramik alt tabakaların vakum altında veya kontrollü atmosferde sinterlenmesini ve kaplanmasını kolaylaştırır. Yüksek talep gören endüstriyel ve havacılık uygulamaları için termal direnci, kimyasal dayanıklılığı ve mekanik performansı artırır.
İnce Film Araştırması – Özel bileşim ve morfolojiye sahip yüksek saflıkta ince filmlerin biriktirilmesini sağlar. Elektronik, optik ve yüzey mühendisliği için dielektrik kaplamalar, koruyucu filmler ve çok katmanlı yapılar için uygundur.
Kataliz ve Kimya Mühendisliği – Katalizör aktivasyonu, kaplama ve malzeme modifikasyonu için hassas termal ve atmosferik koşullar sağlar. Kimya, petrokimya ve çevre uygulamalarında Ar-Ge çalışmalarında yaygın olarak kullanılır.
Enerji ve Batarya Malzemeleri – Lityum iyon ve yeni nesil bataryalar için elektrot kaplamalarının, katı elektrolitlerin ve koruyucu katmanların biriktirilmesini ve ısıl işlem görmesini destekler. Yüksek enerjili sistemlerde kararlılık, iletkenlik ve performans sağlar.
Havacılık ve Savunma Malzemeleri – Havacılık ve savunma uygulamalarında kullanılan yüksek performanslı alaşımların, seramiklerin ve kaplamaların işlenmesini sağlar. Aşırı ortamlarda oksidasyon direncini, mekanik dayanıklılığı ve termal kararlılığı garanti eder.
Üniversiteler ve Araştırma Enstitüleri – Fizik, kimya, malzeme bilimi ve nanoteknoloji alanlarında ileri düzey akademik araştırmalar için idealdir. Laboratuvar inovasyonu için esnek programlama, hassas sıcaklık kontrolü ve sağlam güvenlik özellikleri sunar.
Sanayi Quality Control ve Sertifikasyon – Doğrulama, uyumluluk doğrulaması ve ürün sertifikasyonu için güvenilir yüksek sıcaklık CVD prosesleri sunar. Dünya çapındaki düzenlenmiş endüstriler için ISO9001, CE, SGS ve TÜV standartlarını karşılar.
Fırın Kabuğu
- Gövde, korozyona dayanıklı, elektrostatik işlem görmüş yüzeye sahip Q235 düşük karbonlu çelikten üretilmiştir.
- Dış yüzey sıcaklığını düşük tutmak için ısı yalıtımlı fan yapısıyla bütünleştirilmiş sağlam, çift katmanlı metal çerçeve kullanılmıştır.
- Fırın yatay kullanıma uygun olarak tasarlanmış olup, üstten açılan yapısıyla rahat kullanım imkanı sağlamaktadır.
Refrakter Malzeme
- Yalıtım, hafif alüminyum oksit seramik elyaf ve yüksek kaliteli yalıtım levhası desteğinden oluşan çok katmanlı bir tasarıma sahiptir.
- Asbest içermez ve minimum ısı kaybı ve enerji tüketimi için tasarlanmıştır.
Isıtma Sistemi
- Premium SiC spiral direnç telli ısıtma elemanları fırın duvarlarına güvenli bir şekilde yerleştirilmiştir ve hazne içerisinde serbestçe ısı yayar.
- Bu tasarım enerji verimliliği, yüksek termal performans ve uzun kullanım ömrü sağlar.
- Direnç teli, hazne içerisinde mükemmel sıcaklık homojenliğini sağlamak için halka ısıtması sağlar.
Sıcaklık Kontrol Paneli
- Doğru sıcaklık yönetimi için PID ve SSR kontrolünü kullanır.
- 0°C ile 1400°C arasındaki sıcaklıkları güvenilir uzun ömürlülükle ölçebilen, uluslararası standartlara sahip S tipi nikel-krom-silikon termokupl ile donatılmıştır.
- Fırın kapağında, kapak açıldığında elektriği kesen dahili bir emniyet şalteri bulunmaktadır.
Program Denetleyicisi
- Gelişmiş kontrolör, geniş yelpazede işlem gereksinimlerini destekler.
- Esnek programlama seçenekleriyle kullanıcı dostu arayüz.
- Tek bir sıcaklık eğrisinde 30'a kadar programlanabilir segmenti saklama kapasitesine sahiptir.
- Otomatik emniyet koruması ile aşırı sıcaklık ve arıza alarmlarına sahiptir.
Vakum ve Atmosfer Yeteneği
- Vakum veya kontrollü atmosfer koşullarında çalışmaya olanak sağlamak için 304 paslanmaz çelik sızdırmazlık flanşı içerir.
- Yüksek saflıkta kuvars çalışma borusuyla standart olarak gelir; çeşitli uygulama ihtiyaçlarını karşılamak için isteğe bağlı metal veya korindon borular mevcuttur.
- Sistem, gerçek zamanlı vakum seviyesi gösterimi için dijital göstergeye sahip, 5 Pa'ya ulaşabilen yüksek performanslı çift kademeli döner kanatlı vakum pompası içerir.
- Entegre hava devresi kontrol ünitesi 1 ila 3 kanallı MFC tabanlı otomatik gaz akış kontrolünü destekler.
| + | TT-CVDTF-25-1400 | TT-CVDTF-40-1400 | TT-CVDTF-60-1400 | TT-CVDTF-80-1400 | TT-CVDTF-100-1400 | TT-CVDTF-120-1400 |
| tüp Boyutu | Φ25 x 800mm | Φ40 x 1000mm | Φ60 x 1000mm | Φ80 x 1000mm | Φ100 x 1000mm | Φ120 x 1000mm |
| Maksimum sıcaklık | 1400 ℃ | |||||
| Çalışma Sıcaklığı | 1300 ℃ | |||||
| Isıtma bölgesi | 440mm | |||||
| Gerilim / Güç | 220V/2KW (110V da mevcuttur) | 220V/2KW (110V da mevcuttur) | 220V/3KW (110V da mevcuttur) | 220V/4KW (110V da mevcuttur) | 220V/5KW (110V da mevcuttur) | 220V/5KW (110V da mevcuttur) |
| Isıtma Elemanı | Silisyum Karbür Çubuk (SIC) Isıtıcı | |||||
| Gövdesinin Malzemesi | Islak vakum filtrasyonu ile hazırlanan polikristalin inorganik alümina seramik elyaf malzemesi | |||||
| Tüp malzemesi | Alümina Tüp | |||||
| Sıcaklık Doğruluğu | ± 1 ℃ | |||||
| ısıl çift | S tipi termokupl | |||||
| Sıcaklık kontrolörü | Akıllı mikrobilgisayar PID sıcaklık kontrol cihazı, SCR/SSR kontrolü, PID parametre otomatik ayarlama fonksiyonu; programlanabilir 30 program segmenti, program ısıtma, program ısı koruma, program soğutma | |||||
| Isıtma Hızı | 1-25℃/dak serbestçe ayarlanabilir | |||||
| Fırın Yapısı | Fırın sıcaklık kontrolü entegre yapısı, fırın açma ve kapama; çift katmanlı gövde, hava sirkülasyonu ve ısı yalıtımı | |||||
| Sızdırmazlık Fonksiyonu | Fırın borusunun her iki ucu, vakum derecesi ≤5pa olan vakum altında çalışabilen yüksek sıcaklığa dayanıklı PTFE contalarla eşleştirilmiş paslanmaz çelik metal flanşlarla donatılmıştır (döner kanatlı vakum pompası) | |||||
| Atmosfer Performansı | Flanşın her iki ucunda hava giriş ve çıkışları bulunur. Basınç göstergesi metal flanşa monte edilmiştir. Hassas iğne valfi, hava giriş ve çıkışını ayarlayabilir ve nitrojen, argon ve hidrojen gibi koruyucu gazlarla beslenebilir. | |||||
| Ekipman Güvenliği | Modüler kontrol, çalışma sürecinde aşırı sıcaklık ve kopuk bağlantı için ses ve ışık alarm sinyali gönderilecek ve koruma eylemi otomatik olarak tamamlanacaktır. | |||||
| Güvenlik Koruma | Ekipman, kısa devre kaçağı durumunda otomatik olarak açılacak bir devre kesici ile donatılmıştır; bu, ekipmanın ve operatörlerin güvenliğini koruyabilir | |||||
| Fırın Kabuğu | Yüksek kaliteli soğuk haddelenmiş çelik sac CNC takım tezgahı kesme işlemi, kaynak, taşlama, parlatma, fosfatlama, asitleme, yüzey elektrostatik püskürtme plastik tozundan sonra | |||||
| Kalite Belgesi | ISO9001 CE SGS TÜV | |||||
| Standart Aksesuarlar | 1. Fırın Gövdesi 2. Sıcaklık Kontrol Cihazı 3. Güç Kablosu 3 metre 4. Termokupl 5. Kılavuz 6. Fırın Kancası 7. Bir çift yüksek sıcaklık eldiveni 8. İki boru tapası 9. Bir set sızdırmazlık flanşı | |||||
| Opsiyonel Aksesuarlar | 1. İsteğe bağlı döner kanatlı vakum pompası (vakum derecesi ≤ 5pa) 2. İsteğe bağlı dijital vakum göstergesi (1.0×105-1.0×10-1pa) 3. İsteğe bağlı şamandıra akış ölçer (aralığı 60-600ml/dak) 4. Kuvars tekne ile isteğe bağlı | |||||