Machine de revêtement sous vide – ToronSC™ 350
La ToronSC™ 350 est une centrifugeuse sous vide compacte conçue pour le dépôt fiable et uniforme de couches minces sur des substrats jusqu'à 100 mm de diamètre. Destinée aux laboratoires de recherche, aux universités et aux applications de revêtement industrielles légères, la centrifugeuse ToronSC™ 350 permet d'obtenir des couches minces reproductibles à partir de solutions sol-gel, de résines photosensibles, de solutions polymères et d'autres revêtements liquides, grâce à une fixation du substrat par mandrin sous vide garantissant une rotation stable et centrée.
Le boîtier en aluminium moulé assure une rigidité structurelle et un fonctionnement à faibles vibrations, garantissant ainsi une uniformité de revêtement constante. Le disque liquide en polypropylène, situé à l'intérieur de la chambre, résiste chimiquement à la plupart des solvants de revêtement, permettant un nettoyage aisé entre les cycles. L'appareil comprend une pompe à vide sans huile et un ensemble complet d'accessoires pour une mise en service immédiate, faisant du ToronSC™ 350 l'une des centrifugeuses sous vide les plus performantes de sa catégorie.
Machine de revêtement sous vide – Applications ToronSC™ 350
L'appareil de revêtement par centrifugation sous vide ToronSC™ 350 est conçu pour les applications de revêtement par centrifugation impliquant des solutions chimiquement agressives :
- Dépôt de couches minces sol-gel : revêtement uniforme de solutions d’oxyde métallique et de précurseurs fonctionnels sur des substrats de silicium et de verre de 4 pouces et moins.
- Revêtement par centrifugation de résine photosensible : application standard de résine photosensible pour la photolithographie sur des plaquettes de semi-conducteurs pour les procédés académiques et de R&D
- Revêtement de films polymères : dépôt par centrifugation de solutions polymères pour des applications de films diélectriques, d’encapsulation ou électroactifs dans la recherche
- Revêtement par suspension de nanoparticules : dépôt de solutions chargées de nanoparticules pour la recherche sur les revêtements fonctionnels sur des substrats plats
- Laboratoires de recherche et universités : machine à revêtement par centrifugation sous vide fiable pour les groupes de recherche en science des matériaux, chimie, physique et ingénierie
- Recherche sur les revêtements optiques : dépôt de couches minces antireflets, filtrantes ou optiques fonctionnelles sur des substrats plats en verre ou en plaquettes.
Enrobeuse centrifuge sous vide – ToronSC™ 350 : Principales caractéristiques
1. Fixation du substrat par mandrin à vide
Les substrats sont maintenus par aspiration sous vide pour un positionnement stable et centré pendant la rotation. Ceci évite les mouvements, les vibrations et le décentréement du revêtement qui peuvent survenir avec des supports mécaniques, assurant ainsi une uniformité de film supérieure sur toute la surface du substrat.
2. Commande de vitesse programmable à deux segments
Deux segments programmables indépendamment — chacun avec sa propre vitesse et durée de rotation — permettent le protocole standard de revêtement par centrifugation en deux phases (dépôt à basse vitesse, étalement à haute vitesse) en un seul cycle automatisé.
3. Boîtier en aluminium moulé pour un fonctionnement à faibles vibrations
Le boîtier en aluminium moulé assure la rigidité et la stabilité mécanique de l'enducteur centrifuge à haute vitesse, minimisant ainsi les vibrations qui pourraient compromettre l'uniformité du film sur le substrat.
4. Disque liquide en polypropylène résistant aux produits chimiques
Le disque liquide à l'intérieur de la chambre est en polypropylène, ce qui lui confère une résistance chimique à la plupart des solvants de revêtement par centrifugation courants et permet un rinçage complet au solvant entre les cycles de revêtement.
5. Pompe à vide sans huile avec filtre à eaux usées
La pompe à vide sans huile fournie assure une aspiration propre et sans huile pour la fixation du substrat. Un filtre placé entre l'enrobeuse et la pompe empêche tout liquide de pénétrer et d'endommager cette dernière.
6. Sortie de drainage et connexions du panneau arrière
L'orifice de drainage et le connecteur de la pompe à vide sont positionnés sur le panneau arrière, ce qui permet de garder la zone de travail propre et organisée pour les flux de travail de revêtement par centrifugation de routine en laboratoire.
Théorie et méthode
Le ToronSC™ 350 fonctionne selon le principe du dépôt de couches minces par centrifugation. Le substrat est maintenu sur le porte-substrat à vide par aspiration grâce à une pompe à vide sans huile, ce qui garantit son centrage et sa fixation pendant toute la durée du cycle de rotation. La solution de revêtement est déposée sur le substrat, immobile ou en rotation lente, et le moteur accélère jusqu'à la vitesse programmée. La force centrifuge répartit le liquide uniformément à partir du centre du substrat, l'excédent de solution étant expulsé dans le disque de polypropylène environnant.
La commande programmable à deux segments permet une étape de dépôt à basse vitesse suivie d'une étape d'étalement à haute vitesse : le protocole standard de revêtement par centrifugation en deux phases utilisé pour la plupart des applications de photorésine et de sol-gel. L'orifice de drainage sur le panneau arrière et le connecteur de la pompe à vide assurent un fonctionnement propre et une récupération aisée du solvant. Un filtre placé entre la pompe et l'applicateur empêche les eaux usées de pénétrer dans la pompe à vide, prolongeant ainsi sa durée de vie.
Spécifications techniques de l'enrobeuse centrifuge sous vide ToronSC™ 350
| Paramètre | Spécifications |
|---|---|
| Modèle | ToronSC™ 350 |
| Taille maximale du substrat | 4" (100 mm) de diamètre |
| Plage de vitesse d'essorage | 500 à 8,000 XNUMX tr / min |
| Segments programmables | 2 segments (vitesse + temps chacun) |
| Fixation du substrat | Mandrin à vide |
| chambre Matériel | Boîtier en aluminium moulé ; disque liquide en polypropylène |
| Pompe à vide | Pompe à vide sans huile (incluse) |
| Filtre à eaux usées | Inclus (protection de la pompe) |
| Drainage | Évacuation arrière |
| Tension | CA 110/220 V, 50/60 Hz |
| Certifications | CE |