Enrobeuses à centrifugation

Solutions de revêtement en couches minces

L'appareil de dépôt par centrifugation est l'un des instruments les plus utilisés en science des matériaux, en recherche sur les semi-conducteurs, en photovoltaïque et en technologie des couches minces. Ce procédé permet de déposer des couches minces très uniformes et reproductibles sur des substrats plans grâce à l'étalement centrifuge, faisant de l'appareil de dépôt par centrifugation un outil indispensable dans les laboratoires, les universités et les installations industrielles où un dépôt de couches minces contrôlé et répétable est requis.

La gamme ToronSC™ est une famille de cinq centrifugeuses certifiées CE, conçues pour couvrir l'ensemble des applications de revêtement par centrifugation : des centrifugeuses électriques d'entrée de gamme pour les laboratoires étudiants, aux modèles programmables haute vitesse pour la recherche avancée sur les semi-conducteurs et le photovoltaïque, en passant par les instruments à vide grand format pour le revêtement de plaquettes de 8 pouces. Chaque centrifugeuse ToronSC™ est conçue pour offrir précision, reproductibilité et une utilisation quotidienne pratique dans les environnements de recherche et de contrôle qualité.

Que vous ayez besoin d'une machine de revêtement par centrifugation de base pour le dépôt de films polymères, d'une machine de revêtement par centrifugation anticorrosion pour les précurseurs chimiques agressifs ou d'un instrument programmable à recettes multiples pour les séquences de revêtement multicouches complexes, la série ToronSC™ propose un modèle adapté à votre application, à la taille du substrat et aux exigences de votre processus.

 

Prêt à configurer votre solution de revêtement par centrifugation ?

La gamme ToronSC™ offre aux laboratoires de recherche, aux départements universitaires et aux centres de R&D industriels une gamme complète de centrifugeuses certifiées CE pour toutes les applications de revêtement de couches minces. Contactez Torontech pour discuter des exigences relatives aux substrats, de la chimie des procédés, des accessoires optionnels et des prix de la centrifugeuse ToronSC™ la mieux adaptée à votre flux de travail.

Applications

La série de machines à revêtement par centrifugation ToronSC™ est destinée aux applications de dépôt de couches minces dans un large éventail de domaines de recherche et industriels :

Semiconducteur et photolithographie

  • Revêtement par centrifugation de résine photosensible sur plaquettes de silicium pour la recherche et le développement de procédés de photolithographie académique et industrielle
  • Dépôt de films diélectriques et de passivation par revêtement par centrifugation sol-gel pour la recherche sur la fabrication de dispositifs semi-conducteurs
  • Application de couches antireflets et protectrices sur les substrats de dispositifs optiques et photoniques

Recherche en photovoltaïque et en énergie

  • Couche absorbante de pérovskite déposée par centrifugation pour la recherche sur les cellules solaires de nouvelle génération et l'optimisation de leur rendement
  • Dépôt de couches de transport d'électrons et de trous à partir de solutions sol-gel ou de nanoparticules pour les empilements de dispositifs photovoltaïques
  • Revêtement fonctionnel des électrodes de batterie — dépôt par centrifugation de suspensions de matériaux actifs et de revêtements protecteurs sur des substrats de collecteurs de courant

Recherche en science des matériaux et en chimie

  • Dépôt de couches minces d'oxyde métallique à partir de précurseurs sol-gel pour des applications en catalyse, détection et optoélectronique
  • Revêtement en couche mince polymère pour l'encapsulation, la recherche sur les couches diélectriques et électroactives en électronique imprimée
  • Dépôt par centrifugation de suspensions de nanoparticules pour la modification fonctionnelle de surfaces et la fabrication de films minces nanostructurés

Revêtements spéciaux et sous atmosphère contrôlée

  • Revêtement anticorrosion par centrifugation avec des solutions acides et alcalines fortes à l'aide des modèles ToronSC™ 2000C et ToronSC™ 1000P à chambre PP
  • Dépôt par centrifugation sous atmosphère inerte d'argon en boîte à gants pour le dépôt de films de matériaux organiques, pérovskites et de batteries sensibles à l'air
  • Revêtement de substrat grand format (jusqu'à 8 pouces de plaquette ou 5 pouces × 5 pouces de panneau) à l'aide du ToronSC™ 350P pour la recherche avancée sur les dispositifs

Pourquoi choisir la série ToronSC™ pour votre revêtement en couche mince ?

Le choix d'une centrifugeuse est une décision cruciale qui influe sur la qualité du film, la reproductibilité du procédé, la sécurité d'utilisation et la productivité à long terme du laboratoire. La gamme de centrifugeuses ToronSC™ a été conçue pour répondre à tous ces besoins, quel que soit l'usage prévu ou le budget.

1. Une centrifugeuse adaptée à chaque application et à chaque taille de substrat

La plupart des fournisseurs de machines de dépôt par centrifugation proposent un ou deux modèles, laissant aux chercheurs le soin d'adapter leur procédé aux limitations de l'instrument. La gamme ToronSC™ comprend cinq machines de dépôt par centrifugation spécialement conçues à cet effet — d'une machine électrique sans vide de 10 cm (4 pouces) à un modèle programmable grand format de 20 cm (8 pouces) avec mandrin à vide — vous permettant ainsi de choisir l'instrument parfaitement adapté à votre substrat, à votre chimie de procédé et à vos exigences de programmation, sans aucun compromis.

2. Conception anticorrosion pour les milieux chimiques agressifs

Les centrifugeuses classiques utilisent des chambres en aluminium qui se corrodent rapidement au contact d'acides et de bases forts, ainsi que de précurseurs sol-gel réactifs. Les ToronSC™ 2000C et ToronSC™ 1000P, quant à elles, sont dotées de chambres entièrement en polypropylène, chimiquement inertes aux solutions de revêtement agressives, notamment aux précurseurs acides et basiques forts utilisés dans la recherche sur les couches minces de pérovskite, d'oxyde métallique et d'électrolyte.

3. Compatibilité avec les boîtes à gants et les atmosphères inertes

Plusieurs modèles de la gamme ToronSC™ sont conçus pour une utilisation en boîte à gants sous atmosphère d'argon ou d'azote, permettant le dépôt par centrifugation de matériaux sensibles à l'air et à l'humidité sans exposer le substrat ou la solution à l'humidité ambiante ni à l'oxygène. Le ToronSC™ 1000P est également doté d'un orifice d'entrée de gaz intégré sur le couvercle pour un contrôle de l'atmosphère sans nécessiter une enceinte à gants complète.

4. Recettes de revêtement par centrifugation programmables en plusieurs étapes

La ToronSC™ 1000P offre les capacités de programmation les plus avancées de la gamme : 12 programmes enregistrés, chacun comportant jusqu’à 6 segments de vitesse/temps indépendants. Ce niveau de mémorisation des recettes et de contrôle multi-étapes est essentiel pour la réalisation de dépôts multicouches par centrifugation reproductibles, l’optimisation du profil de la résine photosensible et les séquences complexes de procédés sol-gel qui nécessitent plus qu’un simple protocole de dépôt et d’étalement en deux étapes.

5. Fixation par mandrin à vide pour l'uniformité du film

Quatre des cinq modèles ToronSC™ utilisent un système de fixation du substrat par vide, maintenant fermement le substrat centré sur le mandrin pendant toute la durée du cycle de rotation. Cette fixation par vide élimine tout mouvement du substrat, réduit sa déformation due à la force centrifuge et garantit son horizontalité pendant le dépôt par centrifugation, ce qui améliore directement l'uniformité de l'épaisseur du film sur toute la surface du substrat.

6. Certification CE pour l'ensemble de la gamme

Chaque enrobeuse par centrifugation ToronSC™ est certifiée CE, attestant de sa conformité aux normes européennes de sécurité, de compatibilité électromagnétique et de protection de l'environnement. La certification CE autorise son utilisation dans les laboratoires et les environnements industriels réglementés d'Amérique du Nord, d'Europe et du monde entier, et garantit la qualité et la conformité du produit aux normes de conception.

7. Kits complets prêts à l'emploi

Chaque machine de revêtement par centrifugation ToronSC™ est livrée complète : pompe à vide sans huile, mandrins à vide adaptés, seringue de 20 ml, filtre à eaux usées et tous les raccords nécessaires – prête à l’emploi immédiatement, sans accessoires supplémentaires. Des accessoires optionnels, tels que des couvercles chauffants, des mandrins de tailles différentes et des outils de centrage, permettent d’étendre les capacités de l’instrument en fonction de l’évolution de vos besoins.

Comparaison de produits

Le tableau ci-dessous compare les cinq modèles d'enducteurs centrifuges ToronSC™. Utilisez la colonne « Idéal pour » pour choisir l'enducteur centrifuge le mieux adapté à votre application.

ModèleNom du produitSubstrat MaxPlage de vitesseProgrammesChambreIdéal pourCE
ToronSC™ 100Enrobeuse à centrifugeuse électrique4 "(100 mm)500 à 8,000 tr / minAjustableDisque en aluminium/PPEntrée de gamme ; sans aspirateur ; boîte à gants ; utilisation de l'air comprimé✓
ToronSC™ 350Enrobeuse centrifuge sous vide4 "(100 mm)500 à 8,000 tr / minSegments 2Disque en aluminium moulé / PPRevêtement par centrifugation sous vide standard en laboratoire ; sol-gel et photorésine✔
ToronSC™ 350PEnrobeuse centrifuge sous vide programmable8" (200 mm) / 5"×5"500 à 6,000 tr / minSegments 2Polypropylène (PP): Revêtement de grandes plaquettes et panneaux ; sol-gel ; chauffage en option✔
ToronSC™ 1000PEnrobeuse centrifuge programmable à haute vitesse5 "(127 mm)500 à 10,000 tr / min12 programmes × 6 segmentsPolypropylène (PP): Recettes complexes en plusieurs étapes ; recherche sur les semi-conducteurs et le photovoltaïque✔
ToronSC™ 2000CRevêtement par centrifugation anticorrosion6 "(152 mm)500 à 8,000 tr / minSegments 2Polypropylène (PP): Revêtements acides/alcalins corrosifs ; utilisation en boîte à gants sous atmosphère modifiée✔

Choisissez le bon applicateur à centrifugation ToronSC™

Utilisez le guide de sélection rapide ci-dessous pour choisir l'enrobeuse centrifuge adaptée à votre application :

ToronSC™ 100 — Enrobeuse à centrifugeuse électrique d'entrée de gamme

  • Choisissez ce modèle si vous avez besoin d'une machine de revêtement par centrifugation simple et abordable, sans infrastructure de vide.
  • Idéal pour : les laboratoires étudiants, les utilisateurs débutants de la technique de revêtement par centrifugation et l'utilisation de boîtes à gants pour le revêtement sous atmosphère inerte

ToronSC™ 350 — Machine d'enduction sous vide

  • Choisissez ce modèle pour le dépôt par centrifugation standard de sol-gel et de résine photosensible sur des substrats de 4 pouces et moins, avec une précision de mandrin à vide.
  • Idéal pour : les laboratoires de recherche généralistes, les groupes universitaires et les flux de travail de dépôt de couches minces de routine.

ToronSC™ 350P — Machine d'enduction sous vide programmable

  • Choisissez ce modèle pour le revêtement par centrifugation grand format sur des plaquettes de 8 pouces ou des panneaux de 5 pouces × 5 pouces avec des solutions de revêtement sol-gel et fonctionnelles.
  • Idéal pour : la recherche à grande échelle sur les couches minces, l'évaluation de la production pilote et le revêtement de grands substrats avec chauffage in situ optionnel

ToronSC™ 1000P — Enrobeuse centrifuge programmable à haute vitesse

  • Choisissez ce modèle si votre procédé nécessite une programmation multi-étapes, des vitesses allant jusqu'à 10 000 tr/min ou une chimie de revêtement corrosive.
  • Idéal pour : la recherche avancée sur les semi-conducteurs, les couches absorbantes photovoltaïques et le revêtement multicouche par centrifugation avec des formulations complexes.

ToronSC™ 2000C — Machine de revêtement anticorrosion par centrifugation

  • Choisissez ce modèle lorsque les solutions de revêtement sont fortement acides, alcalines ou nécessitent une utilisation en boîte à gants sous atmosphère d'argon.
  • Idéal pour : la recherche sur les pérovskites, les procédés sol-gel d'oxydes métalliques, le revêtement d'électrodes de batteries et d'autres applications en chimie corrosive.

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