Machine de couchage sous vide programmable – ToronSC™ 350P
Le ToronSC™ 350P est un système de revêtement par centrifugation programmable sous vide, conçu pour le dépôt facile, rapide et reproductible de couches minces par voie sol-gel ou autres solutions de revêtement liquides sur des substrats jusqu'à 200 mm de diamètre ou de forme carrée de 12,7 cm × 12,7 cm. Modèle le plus grand de la gamme ToronSC™, il est le choix privilégié des groupes de recherche et des équipes de développement travaillant avec des plaquettes de semi-conducteurs de grande taille, de grands substrats en verre et des échantillons carrés nécessitant un revêtement uniforme sur une large surface.
Certifié CE et conçu pour une utilisation en laboratoire, en milieu universitaire et en industrie légère, le système de revêtement par centrifugation ToronSC™ 350P comprend un mandrin à vide de 6 cm pour une utilisation immédiate avec des plaquettes de 6 et 20 cm, un ruban adhésif pour le revêtement de substrats de forme irrégulière ou de dimensions réduites, une pompe à vide sans huile et une seringue de 8 ml, offrant ainsi une solution complète et prête à l'emploi. Un couvercle chauffant optionnel (jusqu'à 100 °C) permet un recuit thermique ou un séchage in situ du revêtement immédiatement après la centrifugation, sans avoir à retirer le substrat de l'appareil.
Machine de couchage sous vide programmable – Applications ToronSC™ 350P
L'appareil de revêtement par centrifugation sous vide programmable ToronSC™ 350P est conçu pour les applications de revêtement par centrifugation impliquant des solutions chimiquement agressives :
- Revêtement par centrifugation de plaquettes grand format : dépôt de films sol-gel et fonctionnels sur des plaquettes de silicium de 6 et 8 pouces pour la recherche sur les semi-conducteurs et les matériaux avancés
- Revêtement de substrats carrés et rectangulaires : revêtement par centrifugation de panneaux de 5 pouces × 5 pouces pour substrats en verre, polymère et feuille métallique dans la recherche sur les panneaux plats et l’énergie solaire
- Recherche photovoltaïque : dépôt par centrifugation de couches absorbantes, de transport et de contact en pérovskite, organiques et inorganiques sur de grands substrats
- Dépôt de films fonctionnels par voie sol-gel : revêtements d’oxyde métallique, de céramique et hybrides organiques-inorganiques à partir de solutions précurseurs sol-gel
- Revêtement de substrat de forme irrégulière : utilisation d’un porte-ruban adhésif pour les substrats de formes non standard et les petits échantillons.
- Recuit post-dépôt in situ (avec couvercle chauffant en option) : séchage thermique ou cristallisation du film déposé par centrifugation immédiatement après le dépôt.
- University et laboratoires de R&D industriels : machine de revêtement par centrifugation à usage général pour grands substrats destinée aux programmes de recherche sur les couches minces multi-matériaux
Machine de couchage sous vide programmable – ToronSC™ 350P Principales caractéristiques
1. Le plus grand format de la série — Plaquette de 8 pouces / Carré de 5 pouces × 5 pouces
Le ToronSC™ 350P accepte la plus large gamme de substrats de la série de revêtements par centrifugation ToronSC™ : des substrats ronds jusqu'à 8" (200 mm) de diamètre et des panneaux carrés jusqu'à 5" × 5" (127 mm × 127 mm), couvrant toute la gamme des tailles de substrats courantes pour la recherche et la production pilote.
2. Commande numérique programmable à deux segments
Le panneau de commande numérique offre deux segments de vitesse et de temps programmables indépendamment, permettant la séquence standard de revêtement par centrifugation en deux étapes dans un cycle de démarrage entièrement automatisé par un seul bouton.
3. Ruban adhésif pour supports irréguliers et de dimensions insuffisantes
Le ruban adhésif inclus (6" L × 24" L) permet de fixer sur le mandrin des substrats plus petits que 6" ou des échantillons de forme irrégulière sans avoir besoin d'un mandrin à vide de taille précisément adaptée, élargissant ainsi la gamme de substrats que l'instrument peut traiter.
4. Porte-seringue rotatif réglable
La hauteur du porte-seringue est réglable et pivote librement le long de la tige de support, permettant ainsi de positionner précisément l'embout de distribution au-dessus du centre du substrat ou à n'importe quelle autre position de distribution, et d'accueillir des seringues de différentes tailles.
5. Chambre en polypropylène résistant aux produits chimiques
La chambre de rotation est fabriquée en matériau PP pour une résistance chimique à la plupart des solvants sol-gel, acides et alcalis utilisés dans la recherche sur les revêtements en couches minces, et est facile à nettoyer par rinçage au solvant.
6. Pompe à vide sans huile et seringue de 20 ml incluses
Un ensemble complet de machine de revêtement par centrifugation : pompe à vide sans huile pour une fixation propre du substrat, seringue de 20 mL pour la distribution de la solution et un filtre à eaux usées pour la protection de la pompe — le tout inclus pour une utilisation immédiate.
7. Couvercle chauffant en option (jusqu'à 100 °C)
Un couvercle chauffant optionnel avec régulateur de température numérique jusqu'à 100 °C est disponible, permettant un séchage thermique in situ ou un recuit doux du film déposé par centrifugation immédiatement après le dépôt sans retirer le substrat de l'instrument.
8. Certifié CE
Certifié conforme aux normes européennes de sécurité et de compatibilité électromagnétique.
Théorie et méthode
La ToronSC™ 350P utilise la technique de dépôt par centrifugation pour former des films minces et uniformes à partir de solutions liquides sur de grands substrats plats. Le substrat est maintenu par aspiration grâce au mandrin à vide de 15 cm (6 pouces) fourni. Pour les substrats de moins de 15 cm ou les échantillons de forme irrégulière, le ruban adhésif fourni est placé sur le mandrin, puis le substrat est positionné sur le ruban. L'aspiration maintient le ruban, et le ruban maintient le substrat, permettant ainsi de revêtir une grande variété d'échantillons sans mandrin spécifique.
Le panneau de commande numérique programmable à deux segments permet à l'opérateur de régler indépendamment la vitesse et la durée de rotation pour deux étapes de rotation successives, compatible avec le protocole standard de dépôt et d'étalement par centrifugation. La chambre en polypropylène (PP) est chimiquement résistante à la plupart des solvants sol-gel, et l'orifice de drainage arrière assure une gestion propre du liquide. La hauteur du porte-seringue est réglable et il peut pivoter librement le long de la tige de support, permettant un positionnement précis du point de dépôt de la solution sur toute la surface du substrat.
Spécifications techniques de l'enrobeuse à vide programmable ToronSC™ 350P
| Paramètre | Spécifications |
|---|---|
| Modèle | ToronSC™ 350P |
| Taille maximale du substrat | Rond de 200 mm (8 po) ou carré de 127 × 127 mm (5 po × 5 po) |
| Plage de vitesse d'essorage | 500 à 6,000 XNUMX tr / min |
| Segments programmables | 2 segments (vitesse + temps chacun) |
| Fixation du substrat | Mandrin à vide (mandrin de 6 pouces inclus) |
| Support de substrat irrégulier | Ruban adhésif (6 cm de largeur × 24 cm de longueur) inclus |
| Diamètre de la chambre | 250 mm |
| chambre Matériel | Polypropylène (PP) — résistant aux produits chimiques |
| Porte-seringue | Hauteur et rotation réglables sur la tige de support |
| Solution de revêtement | Seringue de 20 mL (incluse) |
| Pompe à vide | Pompe à vide sans huile (incluse) |
| Accessoire optionnel | Couvercle chauffant avec contrôleur numérique (jusqu'à 100°C) |
| Tension | CA 110/220 V, 50/60 Hz |
| Certifications | CE |