Machine de couchage électrique – ToronSC™ 100
La ToronSC™ 100 est une centrifugeuse électrique compacte d'entrée de gamme, conçue pour la formation rapide et simple de couches minces sur des substrats plans à l'aide de solutions de revêtement liquides ou sol-gel. Contrairement aux centrifugeuses à mandrin sous vide, la ToronSC™ 100 utilise un porte-substrat mécanique direct plutôt qu'une aspiration sous vide, ce qui en fait une machine de centrifugation plus simple et plus accessible pour les applications où l'infrastructure sous vide n'est pas disponible ou n'est pas requise. Elle est compatible avec une utilisation en boîte à gants sous atmosphère d'argon, permettant ainsi des flux de travail de centrifugation sous atmosphère inerte.
Avec une vitesse de rotation maximale de 8 000 tr/min et un diamètre de substrat maximal de 100 mm (4 pouces), la ToronSC™ 100 offre un contrôle précis de la vitesse de rotation pour le dépôt uniforme de couches minces sur des plaquettes de silicium, des lames de verre et autres substrats plats similaires. Son format compact et sa simplicité d'utilisation en font la centrifugeuse idéale pour les laboratoires universitaires, les groupes de recherche et développement et les environnements d'enseignement débutant des programmes de recherche sur les couches minces.
Machine de revêtement par rotation électrique – Applications ToronSC™ 100
L'enrobeuse à centrifugation électrique ToronSC™ 100 est conçue pour les applications d'enduction par centrifugation impliquant des solutions chimiquement agressives :
- Dépôt de couches minces sol-gel : revêtement par centrifugation de solutions précurseurs d'oxyde métallique sur des plaquettes de silicium et des substrats de verre pour la recherche sur les films fonctionnels
- Application de résine photosensible : application de couches de résine photosensible sur des plaquettes jusqu’à 4 pouces pour la recherche et le développement de procédés de photolithographie académique
- Revêtement de couches minces polymères : dépôt par centrifugation de solutions polymères pour des applications d’encapsulation, de diélectrique ou de films fonctionnels.
- Environnements d'enseignement et de formation : machine à revêtement par centrifugation d'entrée de gamme pour les travaux pratiques étudiants en sciences des matériaux, physique et chimie
- Revêtement par centrifugation en boîte à gants : revêtement sous atmosphère inerte de matériaux organiques ou pérovskites sensibles à l’air sous argon
- Criblage sur petits substrats : essais de revêtement par centrifugation rapide sur de petits substrats (lames de verre, petits fragments de plaquettes) pour le développement de formulations
Enrobeuse centrifuge électrique – ToronSC™ 100 : Principales caractéristiques
1. Porte-substrat mécanique sans vide
Le ToronSC™ 100 utilise un porte-substrat mécanique plutôt qu'une aspiration sous vide, ce qui élimine le besoin d'une pompe à vide. Cela simplifie l'installation de l'instrument et le rend accessible aux laboratoires ne disposant pas d'infrastructure de vide.
2. Compatible avec les boîtes à gants sous atmosphère d'argon
Compatible avec une atmosphère de gaz argon pour une utilisation à l'intérieur d'une boîte à gants étanche, permettant le revêtement par centrifugation sous atmosphère inerte de matériaux sensibles à l'humidité et à l'oxygène.
3. Vitesse variable de 500 à 8 000 tr/min avec contrôle précis
Vitesse de rotation variable en continu de 500 à 8 000 tr/min avec un contrôle précis de la vitesse du moteur électrique pour une épaisseur de film reproductible lors de cycles de revêtement par centrifugation successifs.
4. Encombrement réduit sur le plan de travail
Conçue comme une machine de revêtement par centrifugation compacte de table, adaptée aux environnements de laboratoire à petite paillasse, aux hottes aspirantes et à l'intégration dans une boîte à gants sans nécessiter un grand espace de travail dédié.
5. Supports jusqu'à 4" (100 mm)
Accepte les substrats plats jusqu'à 4 pouces (100 mm) de diamètre, couvrant les tailles de plaquettes et de substrats les plus couramment utilisées dans les applications de revêtement par centrifugation académiques et de R&D.
6. Fonctionnement direct simple
Réglage simple de la vitesse et du temps via l'interface de commande numérique, rendant cette enrobeuse centrifuge facile à utiliser pour les utilisateurs ayant une formation minimale sur l'équipement.
Théorie et méthode
L'enducteur centrifuge ToronSC™ 100 dépose des couches minces par étalement centrifuge de solutions de revêtement liquides sur un substrat en rotation. Le substrat est placé sur le porte-substrat et fixé mécaniquement, puis la solution de revêtement est déposée au centre du substrat à l'aide d'une seringue. Le moteur accélère le substrat à la vitesse de rotation programmée, et la force centrifuge étale la solution radialement sur toute la surface du substrat, éliminant l'excédent de liquide sur les bords et laissant une couche de revêtement mince et uniforme.
L'épaisseur du film est déterminée par la vitesse de rotation, l'accélération, la durée de rotation et les propriétés de la solution (viscosité et concentration). Le moteur électrique à courant continu du ToronSC™ 100 assure un contrôle précis et constant de la vitesse de rotation, garantissant ainsi une excellente reproductibilité de l'épaisseur du film d'un cycle à l'autre. Sa conception sans vide simplifie son utilisation en éliminant le besoin d'une pompe à vide, tandis que sa compatibilité avec l'argon permet son utilisation en boîte à gants pour le revêtement de matériaux sensibles à l'air.
Spécifications techniques de l'enrobeuse centrifuge électrique ToronSC™ 100
| Paramètre | Spécifications |
|---|---|
| Modèle | ToronSC™ 100 |
| Méthode de maintien du substrat | Support mécanique (sans vide) |
| Taille maximale du substrat | 4" (100 mm) de diamètre |
| Plage de vitesse d'essorage | 500 à 8,000 XNUMX tr / min |
| Type de moteur | Moteur électrique à courant continu de précision |
| Compatibilité atmosphérique | Gaz argon (compatible avec les boîtes à gants) |
| Pompe à vide requise | Non (conception sans vide) |
| Tension | CA 110/220 V, 50/60 Hz |
| Certifications | CE |