Câmara de teste de vácuo térmico
Câmara de Teste Térmico a Vácuo - ToronTVT™ 600
A ToronTVT™ 600 é uma câmara de teste de vácuo térmico multifuncional que combina condicionamento de vácuo térmico com deposição integrada de filmes finos por PVD em um gabinete compacto de aço inoxidável 304 com portas deslizantes. A câmara de 30, 40 ou 50 cm apresenta superfícies internas e externas com acabamento eletropolido de toque suave, com conexões KF25, CF40 e de 1 polegada com anéis de vedação de Viton resistentes a 200 °C. Bombas turbomoleculares e mecânicas atingem uma pressão base de 10⁻⁸ Torr, com medição de vácuo de ampla faixa Inficon, abrangendo de 1000 a 10⁻⁸ Torr. Um ciclo de 1.5 hora a 10⁻⁷ Torr permite a realização de múltiplos experimentos diários.
Quatro fontes de evaporação térmica inorgânica e de duas a seis células de efusão orgânica controladas por PID (25 a 600 °C, ±1 °C) proporcionam capacidade de deposição juntamente com aplicações de feixe de elétrons, pulverização catódica e forno a vácuo na mesma câmara. Um controlador de espessura de canal duplo de 0.1 Å/s monitora a taxa de deposição e a espessura cumulativa do filme nas fontes ativas. A rotação da amostra de 2 a 30 rpm com um aquecedor de substrato rotativo de 100 a 600 °C promove a uniformidade do filme durante a deposição. Uma janela frontal de 100 mm com bloqueio UV e obturador de proteção rotativo permite o monitoramento visual do processo.
O controle computadorizado totalmente automático com painel touchscreen gerencia todas as funções do sistema; a alimentação monofásica de 220 VCA, 16 A, simplifica a instalação. O resfriamento automático a água em circuito fechado protege todas as fontes e componentes do plasma durante a operação. A configuração de passagem KF25, CF40 e de 1 polegada com anéis de vedação de Viton de 200 °C suporta conexões de medição e processo para testes de vácuo térmico e fluxos de trabalho de deposição. Testes de vácuo térmico e deposição de filmes finos podem ser realizados no mesmo ciclo de bombeamento, reduzindo o tempo de processo e mantendo a integridade do vácuo.
Câmara de Teste Térmico a Vácuo - Aplicações ToronTVT™ 600
O ToronTVT™ 600 atende laboratórios que necessitam tanto de testes ambientais a vácuo térmico quanto de deposição de filmes finos por PVD, sem a necessidade de ferramentas dedicadas para cada função. Seu formato de gabinete, capacidade de processo combinada e controle automatizado o tornam ideal para programas que exigem condicionamento térmico e revestimento de filmes finos no mesmo fluxo de trabalho.
- Testes ambientais de vácuo térmico: Ciclos térmicos a vácuo de componentes eletrônicos, sensores e pequenos conjuntos sob condições controladas de temperatura e vácuo para verificação de desempenho e análise de falhas
- Pesquisa sobre OLEDs e dispositivos eletrônicos orgânicos: condicionamento térmico a vácuo de estruturas de dispositivos orgânicos combinado com deposição in situ de emissores orgânicos, camadas de transporte e camadas de contato metálico sem quebra de vácuo
- Pesquisa sobre células solares de perovskita e híbridas: condicionamento a vácuo combinado com deposição de filmes finos de camadas absorvedoras, de transporte de carga e de contato de perovskita para programas de pesquisa de dispositivos fotovoltaicos
- Testes e revestimento de componentes semicondutoresTeste térmico a vácuo de componentes semicondutores seguido de deposição in situ de contato metálico ou filme de passivação no mesmo ambiente de vácuo.
- Pesquisa sobre desgaseificação de materiais e revestimento de superfíciesCondicionamento térmico a vácuo de materiais candidatos para caracterização de desgaseificação, com capacidade integrada de modificação de superfície ou revestimento de filmes finos.
- University e Programas do Laboratório de Pesquisa TVACPlataforma compacta e automatizada de vácuo térmico para programas acadêmicos que exigem tanto testes ambientais quanto revestimento de filmes finos, sem investimentos adicionais em ferramentas.
Câmara de Teste Térmico a Vácuo - ToronTVT™ 600 Principais Características
O ToronTVT™ 600 integra condicionamento térmico a vácuo, deposição PVD orgânica e inorgânica, monitoramento de termopares de 10 canais e medição de vácuo Inficon em um gabinete compacto de aço inoxidável 304 com porta deslizante e controle automatizado por tela sensível ao toque.
- Câmara prismática em aço inoxidável 304 (30/40/50 cm) com portas de correr.Formato de gabinete compacto com portas deslizantes de acesso direto para carregamento ergonômico de amostras, configuração da fonte e transferência de substrato.
- Superfícies internas e externas com acabamento eletropolido de toque suave.Superfícies limpas da câmara reduzem a emissão de gases e a contaminação por partículas, tanto em testes térmicos a vácuo quanto em processos de deposição.
- Monitoramento de temperatura por termopares de 10 canaisAté 10 canais independentes de termopares permitem o mapeamento espacial completo da temperatura dos objetos de teste e das superfícies da câmara durante testes térmicos a vácuo.
- 4 fontes de evaporação térmica inorgânica e de 2 a 6 fontes de evaporação orgânica.O acesso simultâneo a fontes térmicas inorgânicas e células de efusão orgânicas permite a deposição in situ de filmes finos dentro do mesmo ciclo de vácuo térmico.
- Células de efusão controladas por PID (25 a 600 °C, ±1 °C)Células de efusão de Knudsen para evaporação precisa de materiais orgânicos com a estabilidade de temperatura necessária para a deposição de semicondutores orgânicos e emissores OLED.
- Capacidade de deposição multimodoAplicações de evaporação térmica, feixe de elétrons, pulverização catódica e forno a vácuo em uma única câmara para configurações de processo flexíveis.
- Conjunto de bombas turbomoleculares e mecânicas, pressão base de 10⁻⁸ TorrA combinação de bombas fornece o vácuo base necessário tanto para testes de vácuo térmico quanto para a deposição de filmes finos de alta pureza.
- Medição de vácuo de ampla faixa Inficon (1000 a 10⁻⁸ Torr)Medição de vácuo Inficon, desde o vácuo atmosférico até o vácuo base, abrangendo todos os modos de operação de TVAC e deposição.
- Válvulas automáticas de ventilação, controle de fluxo e isolamentoControle abrangente de válvulas para todas as transições de pressão; a válvula de isolamento mantém o vácuo na câmara entre os experimentos.
- Medição de espessura e taxa de deformação de precisão de canal duplo de 0.1 Å/sMonitoramento simultâneo da espessura e da taxa de deposição em dois canais de fonte de deposição independentes.
- Rotação da amostra de 2 a 30 rpm com aquecedor de substrato de 100 a 600 °C: controle combinado de rotação e temperatura do substrato para deposição uniforme e condições de processo com temperatura controlada
- Janela de observação frontal de 100 mm com bloqueio UV e obturador de proteção rotativo.Acesso visual em grande formato durante testes de vácuo térmico e deposição sem risco de exposição aos raios UV
- Passagens KF25, CF40 e de 1 polegada com anéis de vedação Viton resistentes a 200 °C.Configuração de passagem de alta temperatura que suporta medições simultâneas e conexões de processo em todos os modos de operação.
- Controle computadorizado totalmente automático com painel de tela sensível ao toqueTodas as operações de TVAC e de depósito são gerenciadas automaticamente por meio de uma interface de tela sensível ao toque.
- Resfriamento automático de água em circuito fechado: gerenciamento térmico automatizado de fontes de deposição e componentes de plasma durante toda a operação
- Ciclo experimental de 1.5 horas a 10⁻⁷ Torr: bombeamento rápido e execução de processos para múltiplos testes de vácuo térmico ou deposições por dia
- Requisitos de alimentação: Monofásico 220 VCA, 16 AConexão elétrica monofásica padrão para instalação laboratorial simplificada.
- Garantia total para materiais, design e mão de obra.Cobertura abrangente para componentes do sistema, qualidade do projeto e fabricação.
Teoria e Método
O ToronTVT™ 600 combina condicionamento térmico a vácuo e deposição de filmes finos por PVD em uma única cabine de vácuo, atendendo a duas necessidades de laboratório em um único ciclo de bombeamento. Os fluxos de trabalho convencionais utilizam ferramentas separadas de condicionamento térmico a vácuo (TVAC) e deposição, exigindo exposição à atmosfera entre as etapas. O ambiente de vácuo compartilhado do ToronTVT™ 600 permite que o condicionamento térmico e a deposição do filme ocorram sequencialmente, sem necessidade de ventilação, preservando a limpeza da amostra. O design da cabine com porta deslizante proporciona acesso ergonômico para o carregamento da amostra e a configuração da fonte em ambos os modos de processo.
Os testes de vácuo térmico submetem as amostras a combinações controladas de vácuo e temperatura para verificar o desempenho em condições ambientais simuladas. O sistema de termopares suporta até 10 canais independentes, fornecendo um mapa espacial completo da temperatura durante o teste. As temperaturas da mesa e da cobertura são monitoradas independentemente por meio da interface baseada em LabVIEW, que registra os dados de nível de vácuo e temperatura a cada execução. A válvula de isolamento mantém o vácuo na câmara entre os testes, reduzindo o tempo de bombeamento entre execuções consecutivas.
A capacidade de deposição abrange evaporação térmica para filmes metálicos e orgânicos, células de efusão de Knudsen para semicondutores orgânicos e materiais OLED, além de configurações opcionais de feixe de elétrons e pulverização catódica. Quatro fontes térmicas inorgânicas e de duas a seis células de efusão orgânica controladas por PID operam no mesmo volume da câmara. O controle de temperatura das células de efusão por PID, de 25 a 600 °C com precisão de ±1 °C, mantém a estabilidade de fluxo necessária para os materiais orgânicos. Um controlador QCM de dois canais, com taxa de deposição de 0.1 Å/s e rotação do substrato de 2 a 30 rpm, completa o pacote de controle do processo de deposição.
Câmara de Teste Térmico a Vácuo - Especificações Técnicas do ToronTVT™ 600
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| material de câmara | SS304 (prismático) |
| Tamanhos de câmara | 30, 40 ou 50 cm |
| Acesso à Câmara | As portas de correr |
| Superfície da câmara | Polimento eletrolítico com toque suave (interior e exterior) |
| Pressão base | 10⁻⁸ Torr (sistema totalmente carregado) |
| Vácuo de trabalho (tempo de ciclo) | 10⁻⁷ Torr; aproximadamente 1.5 horas por experimento |
| Faixa de medição de vácuo | 1000 a 10⁻⁸ Torr (sistema Inficon) |
| Configuração da bomba | Turbomolecular + Mecânico |
| Configuração de válvula | Válvulas automáticas de ventilação, controle de fluxo e isolamento. |
| Monitorização de temperatura | Até 10 canais para termopares |
| Fontes térmicas inorgânicas | 4 |
| Fontes de evaporação orgânica | 2 a 6 células de efusão (tipo Knudsen) |
| Temperatura da célula de efusão | 25 a 600 °C (PID, ±1 °C) |
| Modos de deposição | Evaporação térmica, feixe de elétrons, pulverização catódica, forno a vácuo |
| Monitoramento de Espessura | Canal duplo; precisão de 0.1 Å/s |
| Velocidade de rotação da amostra | 2 a 30 rpm |
| Aquecedor de substrato | 100 a 600 °C (rotativo) |
| Portas de passagem | KF25, CF40, 1 polegada; anéis de vedação de viton resistentes a 200 °C |
| Janela de Observação | Janela frontal de 100 mm; proteção UV; persiana de proteção giratória |
| Sistema de Arrefecimento | Refrigeração automática de água em circuito fechado |
| Sistema de controle | Controle computadorizado totalmente automático; painel com tela sensível ao toque |
| Voltagem | Monofásico, 220 VCA, 16 A (110 V também disponível) |
| Garantia | Completo (materiais, design e mão de obra) |