Revestimento por pulverização catódica de alvo duplo-magnetron de alto vácuo/ ThermalEvaporator-DST2-TG
O revestidor por pulverização catódica de alto vácuo e duplo magnetron/ ThermalEvaporator-DST2-TG, ou revestidor por pulverização catódica Turbo Pumped de alvo duplo e evaporador térmico, é um sistema de revestimento de última geração que combina perfeitamente evaporação térmica e revestimento por pulverização catódica em uma única unidade de mesa compacta . Esta tecnologia versátil oferece controle remoto do sistema por meio de uma conexão Wi-Fi conveniente, permitindo aos usuários gerenciar operações sem esforço por meio de uma tela sensível ao toque de fácil utilização ou de seu PC.
O DST2-TG, um moderno sistema de deposição por pulverização catódica de mesa com magnetron, possui uma câmara espaçosa (300 mm de diâmetro) e dois cátodos refrigerados a água de 2 polegadas de diâmetro, tornando-o ideal para longos períodos de deposição. Este sistema versátil serve como uma plataforma única para pulverização catódica, deposição de fibra de carbono e evaporação de metal.
Projetado especificamente para uso em câmara de luvas, o revestidor por pulverização catódica de mesa pode pulverizar com eficiência semicondutores, dielétricos e alvos metálicos. Os usuários têm a flexibilidade de instalar cátodos de pulverização catódica e barcos de evaporação térmica de forma intercambiável ou simultânea, proporcionando acesso a um total de três fontes de deposição.
Além disso, a deposição de carbono é possível através da utilização de fibra de carbono, ampliando a gama de materiais de deposição disponíveis.
Este sistema de revestimento a vácuo de alta precisão foi projetado para ser semi/totalmente automatizado, apresentando um painel touchscreen colorido de 7 polegadas fácil de usar para controlar e ajustar os dados do processo de deposição. A interface intuitiva do software simplifica a operação. Os usuários também podem acessar a janela do painel de controle em seus PCs por meio de uma conexão Wi-Fi.
O sistema permite monitorar os níveis de vácuo e as informações da sequência de revestimento, que podem ser exibidas como dados digitais ou curvas na tela sensível ao toque. Além disso, os últimos 300 revestimentos são salvos e acessíveis na página de histórico do sistema.
Produto: Revestidora a vácuo com tela sensível ao toque DST2-TG A revestidora por pulverização catódica e o evaporador térmico para aplicações em caixa de luvas podem ser aprimorados com recursos opcionais, incluindo:
- Fonte de alimentação de RF com uma caixa de correspondência autoajustável para minimizar a potência refletida no processo de pulverização catódica de RF.
- Limpador de plasma para remover efetivamente matéria orgânica da superfície do substrato antes da deposição de filme fino.
- Fusão de um revestidor por pulverização catódica e um evaporador térmico projetado para montagem em porta-luvas
- Equipado com uma bomba turbomolecular integrada para desempenho de vácuo eficiente
- Câmara espaçosa com diâmetro de 30 cm e altura de 20 a 25 cm
- Instalação do alvo facilitada e rápida; não é necessário titular de alvo
- Condução de calor aprimorada facilitada por alvos com placas de apoio
- Porta-amostras projetado para rotação, promovendo revestimento uniforme
- Passagens KF40 montadas no porta-luvas para fontes de alimentação (CC, RF, alta corrente), mangueira de bomba de vácuo, resfriamento de água, conexões de argônio/gás reativo e conexões elétricas
- Controle preciso de injeção de gás através de controladores de fluxo de massa (MFCs)
- Incorpora dois sensores de espessura de cristal de quartzo de alta precisão para monitoramento preciso da espessura do filme
- Os produtos Vac Coat são globalmente cobertos por um seguro abrangente de responsabilidade civil e de produto, fornecendo garantia contra danos materiais ou pessoais resultantes do uso de sistemas Vac Coat.
Recursos de automação:
- Processo de revestimento semi-totalmente automático (opcional): O sistema oferece a flexibilidade de processos de revestimento automatizados ou semiautomáticos, permitindo aos usuários escolher o nível de automação com base em suas necessidades.
- Entrada e armazenamento eficiente de dados: Entrada rápida de dados para parâmetros do processo de deposição, aumentando a eficiência do fluxo de trabalho. Armazenamento seguro de dados do processo de deposição para fácil recuperação e referência.
- Controle Remoto de Processo: O processo de deposição pode ser controlado e monitorado remotamente através de um PC através de uma conexão Wi-Fi, oferecendo comodidade e flexibilidade.
- Armazenamento de receitas de revestimento: Capacidade de armazenar receitas de revestimento, permitindo a replicação de processos de deposição específicos para resultados consistentes e repetíveis.
- Persianas Eletrônicas: Incorporação de obturadores eletrônicos para controle preciso do processo de revestimento e gerenciamento da exposição do substrato durante a deposição.
- Seleção automatizada de cátodo: Seleção automatizada de cátodos, agilizando o processo e garantindo condições ideais de deposição com base nos requisitos do material.
Instalações opcionais:
- Sputtering de RF para deposição de alvos não condutores (opcional): Integração da capacidade de pulverização catódica de RF para facilitar a deposição de alvos não condutores, ampliando a gama de materiais que podem ser revestidos.
- Limpador de Plasma (Opcional): Opção de incluir um limpador de plasma para remoção eficaz de matéria orgânica da superfície do substrato antes da deposição do filme fino, garantindo um substrato limpo para qualidade de revestimento superior.
Projetado para operar em um ambiente de alto vácuo, este sistema está preparado para depositar uma ampla variedade de materiais, tornando-o uma escolha ideal para diversas aplicações de revestimento. O revestidor por pulverização catódica de mesa com alvo duplo de magnetron oferece a flexibilidade de alternar perfeitamente entre a evaporação e a deposição por pulverização catódica, facilitando a criação de revestimentos multicamadas complexos.
Experimente o epítome da eficiência e precisão com o DST2-TG – uma solução completa que revoluciona os processos de revestimento em um ambiente de porta-luvas.
Os sistemas de porta-luvas criam um ambiente seguro para materiais delicados, evitando a exposição ao ar, umidade e interações indesejadas. O sistema de revestimento de alto vácuo DST2-TG integrado a um porta-luvas garante um manuseio seguro e limpo dos substratos antes ou depois do processo de deposição, tudo dentro de uma atmosfera de gás inerte. Esta configuração fornece um ambiente de câmara controlado com precisão, permitindo a deposição precisa de camadas finas ultrapuras em condições de alto vácuo.
